| 查看: 4209 | 回复: 18 | ||||
looor木虫 (小有名气)
|
[求助]
射频磁控溅射陶瓷靶材开裂
|
现在做的是铁氧体薄膜，用的是射频磁控溅射，铁氧体陶瓷靶3in,厚度2-3mm，功率60-100W，但是溅射几分钟后，靶就裂了，其熔点是1500+，烧结温度是1400℃，自然降温，密度测得是98%左右，请问是什么原因会导致靶材开裂，现在很急啊，马上就要出数据了，现在一无所获啊！ |
回复此楼» 收录本帖的淘帖专辑推荐
 磁控溅射靶材资料大全 | PVD镀膜类技术资料 |
» 猜你喜欢
材料成型及控制工程 材料加工工程
已经有4人回复
-
材料成型及控制工程 材料加工工程
已经有5人回复
-
金属材料论文润色/翻译怎么收费?
已经有291人回复
-
材料成型及控制工程 材料加工工程
已经有5人回复
-
材料成型及控制工程 材料加工工程
已经有0人回复
-
华北理工大学-矿业工程学院接收调剂研究生
已经有0人回复
-
集成电路封装材料与工艺方向
已经有18人回复
-
欢迎调剂河北建筑工程学院机械工程学院
已经有5人回复
-
求助磷酸铁锂cif#81-1173
已经有0人回复
-
论文投稿期刊
已经有4人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 哪家公司卖的用于磁控溅射镀膜的MgO靶材比较好，希望有经验者推荐一下，
已经有12人回复
- 射频磁控溅射法制备MgO薄膜
已经有7人回复
- 做射频磁控溅射的金属铟靶材短路，融化了
已经有9人回复
- 国内哪家做磁控溅射靶材做的最好？？
已经有37人回复
- 急问：磁控溅射生长NiO薄膜，测不出XRD？ 多谢！
已经有16人回复
- 请教一个关于磁控溅射的问题 在靶材上贴片
已经有16人回复
- 磁控溅射二氧化硅靶材的过程中会有氧产生吗
已经有4人回复
- 请教一个磁控溅射制备薄膜的问题，用相同功率的直流和射频溅射金属靶效果有什么不同？
已经有13人回复
- 射频磁控溅射后为什么靶材表面有黑膜和彩色光圈
已经有33人回复
- 磁控溅射腔室内的铝靶变质了 急！急！急！
已经有6人回复
- 关于磁控溅射靶材的颗粒
已经有10人回复
- 射频磁控溅射ZAO陶瓷靶时遇到的一些问题
已经有10人回复
- 陶瓷靶材开裂怎么破？？？？
已经有27人回复
- 直流磁控溅射 溅射无法起弧 靶材刻蚀严重
已经有13人回复
- 射频磁控溅射镀金属靶材如何建立自偏压？
已经有5人回复
- 磁控溅射靶材bondig
已经有14人回复
- 【求助】射频磁控溅射的靶材一般能用几次？或者多久？
已经有9人回复
- 【资源】推荐一批磁控溅射靶材相关的论坛or网站
已经有6人回复
匿名
用户注销 (正式写手)
- 应助: 71 (初中生)
- 金币: 1669.8
- 散金: 406
- 红花: 34
- 帖子: 700
- 在线: 137小时
- 虫号: 0
- 注册: 2011-06-02
- 性别: GG
- 专业: 机械工程
2楼2013-03-13 10:39:24
3楼2013-03-13 14:06:44
wangbo1966
新虫 (小有名气)
- 应助: 25 (小学生)
- 金币: 907.2
- 帖子: 66
- 在线: 24.8小时
- 虫号: 1302153
- 注册: 2011-05-21
- 性别: GG
- 专业: 等离子体物理
4楼2013-03-13 18:37:18
|
本帖内容被屏蔽 |
5楼2013-03-20 23:54:16
 |
6楼2013-03-21 15:03:08
huihui1991 
铜虫 (小有名气)
|
本帖内容被屏蔽 |
7楼2013-03-22 17:20:21
huihui1991
铜虫 (小有名气)
|
本帖内容被屏蔽 |
8楼2013-03-22 17:23:16
多多余余
木虫 (正式写手)
- 应助: 20 (小学生)
- 金币: 4095.3
- 红花: 6
- 帖子: 550
- 在线: 121.5小时
- 虫号: 1866852
- 注册: 2012-06-22
- 性别: MM
- 专业: 金属材料表面科学与工程
9楼2013-03-23 12:10:30
10楼2013-03-26 16:25:57