应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » 射频磁控溅射陶瓷靶材开裂
北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
191/2返回列表12下一页
查看: 4056  |  回复: 18
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

looor

木虫 (小有名气)

[求助] 射频磁控溅射陶瓷靶材开裂

现在做的是铁氧体薄膜，用的是射频磁控溅射，铁氧体陶瓷靶3in,厚度2-3mm，功率60-100W，但是溅射几分钟后，靶就裂了，其熔点是1500+，烧结温度是1400℃，自然降温，密度测得是98%左右，请问是什么原因会导致靶材开裂，现在很急啊，马上就要出数据了，现在一无所获啊！
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

磁控溅射靶材资料大全 PVD镀膜类技术资料

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
安心工作
1楼 2013-03-12 20:41:02
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

匿名

用户注销 (正式写手)
★ ★
感谢参与，应助指数 +1
looor: 金币+2, ★★★很有帮助 2013-07-13 09:26:07
本帖仅楼主可见
赞一下
2楼2013-03-13 10:39:24
已阅   申请MEPI   回复此楼   编辑   查看我的主页

dearhanzi

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
陶瓷靶材一定要做bonding的，你如果买靶材别人一定会给你提供的。
赞一下 回复此楼
3楼2013-03-13 14:06:44
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wangbo1966

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
looor: 金币+2 2013-07-13 09:26:21
如果靶是在下面，样品在上面，那么裂了也无所谓，只要不散就可继续用。
靶后面可考虑垫块薄铁，以防缝隙太大，把后面靶头的铜溅出来产生污染。
如果功率不大，靶温度升高不多的话，铁氧体可能应该会被靶头的磁场吸住吧。这样的话，靶在上面的也可以试一下。
赞一下 回复此楼
4楼2013-03-13 18:37:18
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

lsx2121

捐助贵宾 (小有名气)
本帖内容被屏蔽
5楼2013-03-20 23:54:16
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

83145321
6楼2013-03-21 15:03:08
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

huihui1991

铜虫 (小有名气)
本帖内容被屏蔽
7楼2013-03-22 17:20:21
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

huihui1991

铜虫 (小有名气)
本帖内容被屏蔽
8楼2013-03-22 17:23:16
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

多多余余

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★
looor: 金币+1 2013-07-13 09:26:35
首先陶瓷靶材必须绑定，最好选用紫铜背板，有利于冷却水循环散热。另外，这种情况应该还是靶材本身有问题，需要检测原始靶材的晶粒度，还有可以把一整块陶瓷靶材做成几小块拼接起来，减小热应力。
赞一下 回复此楼
9楼2013-03-23 12:10:30
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

dearhanzi

金虫 (小有名气)
引用回帖:
8楼: Originally posted by huihui1991 at 2013-03-22 17:23:16
你们用的哪家的靶材啊，其实绑定背靶的一般都是用无氧铜的，很少用不锈钢吧？...

不锈钢也有用的，还是看热膨胀系数的，有些陶瓷靶材和Cu的热膨胀系数差别比较大的，会用到不锈钢的。另外还有两者混合的一种背板。
不过大部分我们日常用的O free 的Cu 是足够的了。
赞一下 回复此楼
10楼2013-03-26 16:25:57
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 looor 的主题更新
191/2返回列表12下一页
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 377求调剂 +6 by.ovo 2026-04-05 6/300 2026-04-05 22:18 by dongzh2009
[考研] 329求调剂 +17 miaodesi 2026-04-02 20/1000 2026-04-05 18:33 by 蓝云思雨
[考研] 0860 求调剂 一志愿国科大 348 分 +3 WiiiP 2026-04-03 3/150 2026-04-05 17:43 by Ecowxq666！
[考研] 282求调剂 +3 aaa车辆 2026-04-01 3/150 2026-04-05 17:03 by yulian1987
[考研] 工科277分求调剂材料 +8 上了上了上哦 2026-04-05 9/450 2026-04-05 13:05 by wwytracy
[考研] 化学357分，考研调剂 +10 .Starry. 2026-04-04 11/550 2026-04-05 10:57 by cql1109
[考研] 求生物学学硕调剂——364分 +7 云朵遛弯指南 2026-04-04 7/350 2026-04-04 22:49 by zhyzzh
[考研] 材料科学与工程调剂 +19 深V宿舍吧 2026-03-30 20/1000 2026-04-04 22:13 by hemengdong
[考研] 331求调剂 +3 niby 2026-04-02 3/150 2026-04-04 19:56 by 蓝云思雨
[考研] 11408 一志愿西电，277分求调剂 +4 zhouzhen654 2026-04-03 4/200 2026-04-04 18:10 by 猪会飞
[考研] 一志愿武理材料工程302调剂环化或化工 +19 Doleres 2026-03-31 20/1000 2026-04-04 16:44 by 啊俊！
[考研] 化学调剂求助 +6 LULONG1 2026-04-03 6/300 2026-04-03 23:13 by qzxyhcsy
[考研] 288求调剂 一志愿哈工大 材料与化工 +39 洛神哥哥 2026-03-31 41/2050 2026-04-03 21:51 by qlm5820
[考研] 292求调剂 +21 是妍子也是研子 2026-03-30 22/1100 2026-04-03 21:44 by qlm5820
[考研] 初试成绩337找调剂 +3 ??? ?. ? 2026-04-03 3/150 2026-04-03 11:43 by 土木硕士招生
[考研] 288资源与环境专硕求调剂，不限专业，有学上就行 +25 lllllos 2026-03-30 26/1300 2026-04-01 09:52 by 一只好果子?
[考研] 【调剂】一志愿厦大生物与医药调剂 +3 Echo虾米 2026-03-31 3/150 2026-04-01 08:40 by JourneyLucky
[考研] 本2一志愿C9-333分，材料科学与工程，求调剂 +9 升升不降 2026-03-31 9/450 2026-03-31 18:01 by 无际的草原
[考研] 085404 22408 315分 +5 zhuangyan123 2026-03-31 6/300 2026-03-31 13:48 by limeifeng
[考研] 一志愿大连理工大学，机械工程学硕，341 +3 西瓜田的守望者 2026-03-30 3/150 2026-03-31 11:08 by asdfzly
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭