24小时热门版块排行榜    

查看: 3962  |  回复: 18

looor

木虫 (小有名气)

[求助] 射频磁控溅射陶瓷靶材开裂

现在做的是铁氧体薄膜,用的是射频磁控溅射,铁氧体陶瓷靶3in,厚度2-3mm,功率60-100W,但是溅射几分钟后,靶就裂了,其熔点是1500+,烧结温度是1400℃,自然降温,密度测得是98%左右,请问是什么原因会导致靶材开裂,现在很急啊,马上就要出数据了,现在一无所获啊!
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

磁控溅射靶材资料大全 PVD镀膜类技术资料

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐,对您同样有帮助:

安心工作
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

匿名

用户注销 (正式写手)

★ ★
感谢参与,应助指数 +1
looor: 金币+2, ★★★很有帮助 2013-07-13 09:26:07
本帖仅楼主可见
2楼2013-03-13 10:39:24
已阅   申请MEPI   回复此楼   编辑   查看我的主页

dearhanzi

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
陶瓷靶材一定要做bonding的,你如果买靶材别人一定会给你提供的。
3楼2013-03-13 14:06:44
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wangbo1966

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与,应助指数 +1
looor: 金币+2 2013-07-13 09:26:21
如果靶是在下面,样品在上面,那么裂了也无所谓,只要不散就可继续用。
靶后面可考虑垫块薄铁,以防缝隙太大,把后面靶头的铜溅出来产生污染。
如果功率不大,靶温度升高不多的话,铁氧体可能应该会被靶头的磁场吸住吧。这样的话,靶在上面的也可以试一下。
4楼2013-03-13 18:37:18
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

lsx2121

捐助贵宾 (小有名气)

本帖内容被屏蔽

5楼2013-03-20 23:54:16
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
6楼2013-03-21 15:03:08
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

huihui1991

铜虫 (小有名气)

本帖内容被屏蔽

7楼2013-03-22 17:20:21
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

huihui1991

铜虫 (小有名气)

本帖内容被屏蔽

8楼2013-03-22 17:23:16
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

多多余余

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖


looor: 金币+1 2013-07-13 09:26:35
首先陶瓷靶材必须绑定,最好选用紫铜背板,有利于冷却水循环散热。另外,这种情况应该还是靶材本身有问题,需要检测原始靶材的晶粒度,还有可以把一整块陶瓷靶材做成几小块拼接起来,减小热应力。
9楼2013-03-23 12:10:30
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

dearhanzi

金虫 (小有名气)

引用回帖:
8楼: Originally posted by huihui1991 at 2013-03-22 17:23:16
你们用的哪家的靶材啊,其实绑定背靶的一般都是用无氧铜的,很少用不锈钢吧?...

不锈钢也有用的,还是看热膨胀系数的,有些陶瓷靶材和Cu的热膨胀系数差别比较大的,会用到不锈钢的。另外还有两者混合的一种背板。
不过大部分我们日常用的O free 的Cu 是足够的了。
10楼2013-03-26 16:25:57
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 looor 的主题更新
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 085600材料与化工 求调剂 +12 enenenhui 2026-03-13 13/650 2026-03-16 08:30 by Linda Hu
[基金申请] NSFC申报书里申请人简历中代表性论著还需要在申报书最后的附件里面再上传一遍吗 20+5 NSFC2026我来了 2026-03-10 14/700 2026-03-15 23:53 by 不负韶华的虎
[考研] 化学调剂0703 +7 啊我我的 2026-03-11 7/350 2026-03-15 23:03 by 凌千颂111
[考博] 东华理工大学化材专业26届硕士博士申请 +6 zlingli 2026-03-13 6/300 2026-03-15 20:00 by ryzcf
[考研] 求调剂,药学 +3 归零lbm 2026-03-09 5/250 2026-03-14 02:21 by JourneyLucky
[考研] 301求调剂 +3 归零lbm 2026-03-09 3/150 2026-03-14 02:20 by JourneyLucky
[考研] 0805,333求调剂 +3 112253525 2026-03-10 3/150 2026-03-13 23:42 by JourneyLucky
[考研] 0703,333分求调剂 一志愿郑州大学-物理化学 +3 李魔女斗篷 2026-03-11 3/150 2026-03-13 22:24 by JourneyLucky
[考研] 工科,求调剂 +3 我887 2026-03-11 3/150 2026-03-13 21:39 by JourneyLucky
[考研] 281求调剂 +9 Koxui 2026-03-12 11/550 2026-03-13 20:50 by Koxui
[考研] 301求调剂 +6 Liyouyumairs 2026-03-11 6/300 2026-03-13 20:11 by JourneyLucky
[考研] 293求调剂 +3 世界首富 2026-03-11 3/150 2026-03-13 16:27 by JourneyLucky
[考研] 求调剂 +3 程雨杭 2026-03-12 3/150 2026-03-13 15:06 by JourneyLucky
[考研] 一志愿山大07化学 332分 四六级已过 本科山东双非 求调剂! +3 不想理你 2026-03-12 3/150 2026-03-13 14:18 by JourneyLucky
[考研] 277求调剂 +4 anchor17 2026-03-12 4/200 2026-03-13 11:15 by 白夜悠长
[考研] 289求调剂 +3 李政莹 2026-03-12 3/150 2026-03-13 11:02 by 求调剂zz
[考研] 270求调剂 085600材料与化工专硕 +3 YXCT 2026-03-11 3/150 2026-03-13 10:13 by houyaoxu
[基金申请] 提交后的基金本子,已让学校撤回了,可否换口子提交 +3 dut_pfx 2026-03-10 3/150 2026-03-11 08:38 by kudofaye
[考研] 求调剂材料专硕293 +6 段_(:з」∠)_ 2026-03-10 6/300 2026-03-10 18:22 by ms629
[考研] 数二英二309分请求调剂 +3 dtdxzxx 2026-03-09 4/200 2026-03-09 19:56 by yuningshan
信息提示
请填处理意见