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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » 射频磁控溅射陶瓷靶材开裂
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looor

木虫 (小有名气)

[求助] 射频磁控溅射陶瓷靶材开裂

现在做的是铁氧体薄膜，用的是射频磁控溅射，铁氧体陶瓷靶3in,厚度2-3mm，功率60-100W，但是溅射几分钟后，靶就裂了，其熔点是1500+，烧结温度是1400℃，自然降温，密度测得是98%左右，请问是什么原因会导致靶材开裂，现在很急啊，马上就要出数据了，现在一无所获啊！
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安心工作
1楼2013-03-12 20:41:02
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匿名

用户注销 (正式写手)
★ ★
感谢参与，应助指数 +1
looor: 金币+2, ★★★很有帮助 2013-07-13 09:26:07
本帖仅楼主可见
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2楼2013-03-13 10:39:24
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dearhanzi

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
陶瓷靶材一定要做bonding的，你如果买靶材别人一定会给你提供的。
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3楼2013-03-13 14:06:44
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wangbo1966

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
looor: 金币+2 2013-07-13 09:26:21
如果靶是在下面，样品在上面，那么裂了也无所谓，只要不散就可继续用。
靶后面可考虑垫块薄铁，以防缝隙太大，把后面靶头的铜溅出来产生污染。
如果功率不大，靶温度升高不多的话，铁氧体可能应该会被靶头的磁场吸住吧。这样的话，靶在上面的也可以试一下。
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4楼2013-03-13 18:37:18
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lsx2121

捐助贵宾 (小有名气)
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5楼2013-03-20 23:54:16
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83145321
6楼2013-03-21 15:03:08
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huihui1991

铜虫 (小有名气)
本帖内容被屏蔽
7楼2013-03-22 17:20:21
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huihui1991

铜虫 (小有名气)
本帖内容被屏蔽
8楼2013-03-22 17:23:16
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多多余余

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★
looor: 金币+1 2013-07-13 09:26:35
首先陶瓷靶材必须绑定，最好选用紫铜背板，有利于冷却水循环散热。另外，这种情况应该还是靶材本身有问题，需要检测原始靶材的晶粒度，还有可以把一整块陶瓷靶材做成几小块拼接起来，减小热应力。
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9楼2013-03-23 12:10:30
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dearhanzi

金虫 (小有名气)
引用回帖:
8楼: Originally posted by huihui1991 at 2013-03-22 17:23:16
你们用的哪家的靶材啊，其实绑定背靶的一般都是用无氧铜的，很少用不锈钢吧？...

不锈钢也有用的，还是看热膨胀系数的，有些陶瓷靶材和Cu的热膨胀系数差别比较大的，会用到不锈钢的。另外还有两者混合的一种背板。
不过大部分我们日常用的O free 的Cu 是足够的了。
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10楼2013-03-26 16:25:57
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