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looor木虫 (小有名气)
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射频磁控溅射陶瓷靶材开裂
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现在做的是铁氧体薄膜，用的是射频磁控溅射，铁氧体陶瓷靶3in,厚度2-3mm，功率60-100W，但是溅射几分钟后，靶就裂了，其熔点是1500+，烧结温度是1400℃，自然降温，密度测得是98%左右，请问是什么原因会导致靶材开裂，现在很急啊，马上就要出数据了，现在一无所获啊！ |
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 磁控溅射靶材资料大全 | PVD镀膜类技术资料 |
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