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looor

木虫 (小有名气)

应助: 2 (幼儿园)
金币: 3112.5
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帖子: 142
在线: 82.2小时
虫号: 2051086
注册: 2012-10-09
性别: GG
专业: 集成电路制造与封装

[求助] 射频磁控溅射陶瓷靶材开裂

现在做的是铁氧体薄膜，用的是射频磁控溅射，铁氧体陶瓷靶3in,厚度2-3mm，功率60-100W，但是溅射几分钟后，靶就裂了，其熔点是1500+，烧结温度是1400℃，自然降温，密度测得是98%左右，请问是什么原因会导致靶材开裂，现在很急啊，马上就要出数据了，现在一无所获啊！

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安心工作

1楼 2013-03-12 20:41:02

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wangbo1966

新虫 (小有名气)

应助: 25 (小学生)
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帖子: 66
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虫号: 1302153
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专业: 等离子体物理

【答案】应助回帖

★ ★
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looor: 金币+2 2013-07-13 09:26:21

如果靶是在下面，样品在上面，那么裂了也无所谓，只要不散就可继续用。
靶后面可考虑垫块薄铁，以防缝隙太大，把后面靶头的铜溅出来产生污染。
如果功率不大，靶温度升高不多的话，铁氧体可能应该会被靶头的磁场吸住吧。这样的话，靶在上面的也可以试一下。

4楼2013-03-13 18:37:18

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