| 查看: 2727 | 回复: 10 | ||
| 本帖产生 1 个 博学EPI ，点击这里进行查看 | ||
reggiehu木虫 (正式写手)
|
[求助]
射频磁控溅射ZAO陶瓷靶时遇到的一些问题
|
|
|
最近用ZnO,Al2O3粉末自己压制烧结了ZAO陶瓷靶，因为没有相应的条件，只在普通空气炉内烧结，烧结温度1100度。靶烧出来已经陶瓷化了，稍微用下就能发现上面有很多微小的空洞的。 问题来了： 1. 射频溅射，功率从80W到160W，只通Ar，基片玻璃（载玻片），镀出来的膜都不是透明的，呈淡黄色，明显的颜色较重，跟以前金属靶反应共溅射是的几乎透明完全不一样；膜侧看呈红色、绿色。为什么呢？氧化锌膜一般是透明的，几乎看不出颜色，我是要做透明膜，现在调节功率和气压（0.5-1.5Pa）都没有做出透明膜。 2. 以前用金属靶反应共溅射做ZAO膜，挡板上的膜很容易用砂纸擦掉（镀膜1h），而现在改用陶瓷靶后，每次清理都很困难，挡板上的膜很难擦（每次镀膜30min），而且预溅射处和挡板孔处的膜像彩虹一样，黄、绿、红圈交替出现的，基片上的膜也能看出这样的情况，这是为什么？是什么原因造成的？ 欢迎回答，非常感谢！ |
回复此楼» 猜你喜欢
308求调剂
已经有4人回复
-
NSFC申报书里申请人简历中代表性论著还需要在申报书最后的附件里面再上传一遍吗
已经有14人回复
-
材料与化工一志愿南昌大学327求调剂推荐
已经有6人回复
-
化学调剂0703
已经有7人回复
-
327求调剂
已经有11人回复
-
调剂
已经有8人回复
-
梁成伟老师课题组欢迎你的加入
已经有7人回复
-
伙伴们，祝我生日快乐吧
已经有24人回复
-
中科院材料273求调剂
已经有3人回复
-
材料工程专硕274一志愿211求调剂
已经有5人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 求助：反应磁控溅射制备氮化铬薄膜，靶电源用DC还是RF好呢？
已经有9人回复
- 射频磁控溅射镀金属靶材如何建立自偏压？
已经有5人回复
- 射频磁控溅射镀膜都可以通入哪些气体
已经有11人回复
- 万分火急：求助射频溅射镀膜问题
已经有3人回复
- 磁控溅射出问题了大虾们帮帮忙
已经有6人回复
- 【求助】请教为什么有人用磁控溅射金属膜用的是射频电源
已经有21人回复
- 【求助】请教磁控溅射金属膜问题
已经有23人回复
- 磁控溅射射频功率源的问题
已经有4人回复
- 【求助】磁控溅射时的基板问题
已经有4人回复
qfw_68
版主 (文坛精英)
有尾巴的青蛙
- 博学EPI: 2910
- 应助: 120 (高中生)
- 贵宾: 0.414
- 金币: 85720.6
- 散金: 3020
- 红花: 212
- 沙发: 7684
- 帖子: 39484
- 在线: 4852.6小时
- 虫号: 797958
- 注册: 2009-06-24
- 性别: GG
- 专业: 自然语言理解与机器翻译
- 管辖: 有奖问答
2楼2012-05-03 11:22:31
reggiehu
木虫 (正式写手)
- 应助: 2 (幼儿园)
- 金币: 1879.9
- 红花: 2
- 帖子: 737
- 在线: 201.9小时
- 虫号: 1338210
- 注册: 2011-07-05
- 性别: GG
- 专业: 机械工程
3楼2012-05-03 12:17:06
qfw_68
版主 (文坛精英)
有尾巴的青蛙
- 博学EPI: 2910
- 应助: 120 (高中生)
- 贵宾: 0.414
- 金币: 85720.6
- 散金: 3020
- 红花: 212
- 沙发: 7684
- 帖子: 39484
- 在线: 4852.6小时
- 虫号: 797958
- 注册: 2009-06-24
- 性别: GG
- 专业: 自然语言理解与机器翻译
- 管辖: 有奖问答
5楼2012-05-03 12:25:37
reggiehu
木虫 (正式写手)
- 应助: 2 (幼儿园)
- 金币: 1879.9
- 红花: 2
- 帖子: 737
- 在线: 201.9小时
- 虫号: 1338210
- 注册: 2011-07-05
- 性别: GG
- 专业: 机械工程
4楼2012-05-03 12:20:26
reggiehu
木虫 (正式写手)
- 应助: 2 (幼儿园)
- 金币: 1879.9
- 红花: 2
- 帖子: 737
- 在线: 201.9小时
- 虫号: 1338210
- 注册: 2011-07-05
- 性别: GG
- 专业: 机械工程
6楼2012-05-03 12:40:06
qfw_68
版主 (文坛精英)
有尾巴的青蛙
- 博学EPI: 2910
- 应助: 120 (高中生)
- 贵宾: 0.414
- 金币: 85720.6
- 散金: 3020
- 红花: 212
- 沙发: 7684
- 帖子: 39484
- 在线: 4852.6小时
- 虫号: 797958
- 注册: 2009-06-24
- 性别: GG
- 专业: 自然语言理解与机器翻译
- 管辖: 有奖问答
7楼2012-05-03 12:43:44
reggiehu
木虫 (正式写手)
- 应助: 2 (幼儿园)
- 金币: 1879.9
- 红花: 2
- 帖子: 737
- 在线: 201.9小时
- 虫号: 1338210
- 注册: 2011-07-05
- 性别: GG
- 专业: 机械工程
8楼2012-05-03 13:54:57
mbsnow
木虫 (初入文坛)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 3887
- 帖子: 15
- 在线: 79.1小时
- 虫号: 553906
- 注册: 2008-05-05
- 性别: GG
- 专业: 金属材料表面科学与工程
9楼2012-05-03 16:41:01
reggiehu
木虫 (正式写手)
- 应助: 2 (幼儿园)
- 金币: 1879.9
- 红花: 2
- 帖子: 737
- 在线: 201.9小时
- 虫号: 1338210
- 注册: 2011-07-05
- 性别: GG
- 专业: 机械工程
10楼2012-05-04 08:14:34
