应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台» 网络生活区» 有奖问答 » 有奖问答完结子版 » 射频磁控溅射ZAO陶瓷靶时遇到的一些问题
111/2返回列表12下一页
查看: 3248  |  回复: 10
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
本帖产生 1 个 博学EPI ，点击这里进行查看

reggiehu

木虫 (正式写手)

[求助] 射频磁控溅射ZAO陶瓷靶时遇到的一些问题

最近用ZnO,Al2O3粉末自己压制烧结了ZAO陶瓷靶，因为没有相应的条件，只在普通空气炉内烧结，烧结温度1100度。靶烧出来已经陶瓷化了，稍微用下就能发现上面有很多微小的空洞的。
问题来了：
1. 射频溅射，功率从80W到160W，只通Ar，基片玻璃（载玻片），镀出来的膜都不是透明的，呈淡黄色，明显的颜色较重，跟以前金属靶反应共溅射是的几乎透明完全不一样；膜侧看呈红色、绿色。为什么呢？氧化锌膜一般是透明的，几乎看不出颜色，我是要做透明膜，现在调节功率和气压（0.5-1.5Pa）都没有做出透明膜。
2. 以前用金属靶反应共溅射做ZAO膜，挡板上的膜很容易用砂纸擦掉（镀膜1h），而现在改用陶瓷靶后，每次清理都很困难，挡板上的膜很难擦（每次镀膜30min），而且预溅射处和挡板孔处的膜像彩虹一样，黄、绿、红圈交替出现的，基片上的膜也能看出这样的情况，这是为什么？是什么原因造成的？

欢迎回答，非常感谢！
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
1楼 2012-05-03 11:00:22
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

qfw_68

版主 (文坛精英)

有尾巴的青蛙

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
reggiehu: 金币+5, 博学EPI+1, ★★★★★最佳答案, 谢谢 2012-05-03 12:19:42
reggiehu: 金币+10, ★★★★★最佳答案 2012-05-04 08:15:39
应该是烧结的靶材中氧含量偏少，并且溅射是不存在氧气氛围，使得溅射出来的薄膜中氧含量进一步减少造成的。
薄膜颜色反应了一定的薄膜厚度。这是由于薄膜干涉而造成的。薄膜干涉的颜色与薄膜的厚度和折射率相关，薄膜颜色不同的主要原因是薄膜厚度不均匀而产生的。
赞一下(2人) 回复此楼
没有困难创造困难也要上网。
2楼2012-05-03 11:22:31
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

reggiehu

木虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by qfw_68 at 2012-05-03 11:22:31:
应该是烧结的靶材中氧含量偏少，并且溅射是不存在氧气氛围，使得溅射出来的薄膜中氧含量进一步减少造成的。
薄膜颜色反应了一定的薄膜厚度。这是由于薄膜干涉而造成的。薄膜干涉的颜色与薄膜的厚度和折射率相关， ...

谢谢你的回答，薄膜干涉的说法受教了，很惭愧没有想到这个。
你是说膜的颜色较深是因为氧含量、膜厚的影响？
关于是否通氧的问题，之前我做过一组不同氧氩比的样品，（O2 ：1%-25%），膜的颜色没有明显改善；现在镀膜30min，自认为已经很短了，看文献别人都镀1h左右，功率（功率密度）也比我用的大，困惑。
薄膜的干涉影响（还是造成？）了膜直视时的颜色？这会影响可见光的透过率吗？如果是这样的话，控制膜厚颜色就变化了？
现在还没有测膜厚，只能提供这些条件了。或者应该看什么方面的资料充实下理论？谢谢你
赞一下(1人) 回复此楼
3楼2012-05-03 12:17:06
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

qfw_68

版主 (文坛精英)

有尾巴的青蛙

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
reggiehu: 金币+5, ★★★很有帮助, 谢谢 2012-05-03 12:37:47
透过率应该是因为氧含量和膜后的影响。可能是薄膜中的氧含量还没提上来吧。楼主对靶材和薄膜测试一下氧含量不就知道了。
薄膜干涉不但表现在直视时的颜色（如：肥皂泡的颜色就是这个原理），也会影响透过率（表现在透过率曲线是震荡曲线，根据震荡峰位可以模拟出薄膜的厚度和折射率。楼主自己百度一下相关资料吧。）。控制薄膜可以控制薄膜的颜色。但楼主所说的淡黄色应该与薄膜吸收有关。
赞一下(1人) 回复此楼
没有困难创造困难也要上网。
5楼2012-05-03 12:25:37
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
普通回帖

reggiehu

木虫 (正式写手)
欢迎各位继续回答，谢谢
赞一下 回复此楼
4楼2012-05-03 12:20:26
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

reggiehu

木虫 (正式写手)
引用回帖:
5楼: Originally posted by qfw_68 at 2012-05-03 12:25:37:
透过率应该是因为氧含量和膜后的影响。可能是薄膜中的氧含量还没提上来吧。楼主对靶材和薄膜测试一下氧含量不就知道了。
薄膜干涉不但表现在直视时的颜色（如：肥皂泡的颜色就是这个原理），也会影响透过率（表现 ...

氧含量用X射线荧光光谱测定量？还是用电子探针X射线微分析（EPMA）？我再查查资料。谢谢你
赞一下 回复此楼
6楼2012-05-03 12:40:06
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

qfw_68

版主 (文坛精英)

有尾巴的青蛙

【答案】应助回帖

EPMA可以测试氧含量。
.
赞一下 回复此楼
没有困难创造困难也要上网。
7楼2012-05-03 12:43:44
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

reggiehu

木虫 (正式写手)
欢迎各位继续讨论
赞一下 回复此楼
8楼2012-05-03 13:54:57
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

mbsnow

木虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

烧结陶瓷靶材一般要采用热压法，你做靶材时没有用高压，靶材的致密度不够，当然做不出好的薄膜了。
赞一下 回复此楼
9楼2012-05-03 16:41:01
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

reggiehu

木虫 (正式写手)
引用回帖:
9楼: Originally posted by mbsnow at 2012-05-03 16:41:01:
烧结陶瓷靶材一般要采用热压法，你做靶材时没有用高压，靶材的致密度不够，当然做不出好的薄膜了。

条件太有限了
回复此楼
10楼2012-05-04 08:14:34
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 reggiehu 的主题更新
111/2返回列表12下一页
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[硕博家园] 极限拉扯，如何抉择 +6 Isak0320 2026-10-12 8/400 2026-10-12 20:09 by caixiaoye1
[基金申请] 入职后第一次管课题组的专利缴费，对账才发现官费比别人多掏了一倍 +6 13108017953 2026-10-08 6/300 2026-10-12 20:07 by w3w3y3
[有机交流] OpenAI又攻克数学难题了，离AI做有机合成还有多远？ +4 wangyl_123 2026-10-10 8/400 2026-10-12 18:09 by wangyl_123
[教师之家] 课题组会帮你通过考核么？ +3 好运来～9527 2026-10-10 6/300 2026-10-12 14:55 by 简单化xn
[公派出国] 售一区SCI文章T0P，我:8O.551.O54,科目全,可十急 +5 qR2AdCWTVtkw 2026-10-09 9/450 2026-10-11 22:34 by XQNyDCa1Tk5n
[找工作] 售SCI一区T0P文章，我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急 +5 qR2AdCWTVtkw 2026-10-09 8/400 2026-10-11 22:26 by XQNyDCa1Tk5n
[公派出国] 售SCI一区文章，我:8O5.5.1.O5.4,科目全,可伽急 +5 qR2AdCWTVtkw 2026-10-09 10/500 2026-10-11 22:26 by XQNyDCa1Tk5n
[考博] 售SCI一区文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可伽急 +3 qR2AdCWTVtkw 2026-10-09 7/350 2026-10-11 22:11 by XQNyDCa1Tk5n
[教师之家] 售SCI文章，我:8O5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 (EPI+-1)(金币-50) +5 qR2AdCWTVtkw 2026-10-09 10/500 2026-10-11 22:06 by XQNyDCa1Tk5n
[基金申请] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急 +5 qR2AdCWTVtkw 2026-10-09 9/450 2026-10-11 22:06 by XQNyDCa1Tk5n
[教师之家] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急 (EPI+-1)(金币-50) +5 qR2AdCWTVtkw 2026-10-09 10/500 2026-10-11 14:25 by VOMexwnDzOFZ
[教师之家] 售SCI文章，我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急 (EPI+-1)(金币-50) +4 qR2AdCWTVtkw 2026-10-09 7/350 2026-10-11 14:05 by VOMexwnDzOFZ
[考研] 售SCI文章，我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急 +5 qR2AdCWTVtkw 2026-10-09 8/400 2026-10-11 13:51 by VOMexwnDzOFZ
[硕博家园] 售SCI-T0P文章，我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +5 qR2AdCWTVtkw 2026-10-09 8/400 2026-10-11 13:45 by VOMexwnDzOFZ
[找工作] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +3 qR2AdCWTVtkw 2026-10-09 7/350 2026-10-11 10:54 by VOMexwnDzOFZ
[找工作] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +4 qR2AdCWTVtkw 2026-10-09 7/350 2026-10-11 10:34 by VOMexwnDzOFZ
[考博] 招收博士生一名 +3 mandolin 2026-10-10 3/150 2026-10-11 10:21 by 不是山谷！
[公派出国] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.54,科目全,可伽急 +4 qR2AdCWTVtkw 2026-10-09 4/200 2026-10-11 03:14 by M0zrYVSAnxpE
[有机交流] 各位大佬，路线设计求助 +6 zapen 2026-10-08 8/400 2026-10-10 15:59 by zapen
[有机交流] 我应该选哪条合成路线让实验成功率高一些？ +5 jing816y 2026-10-08 9/450 2026-10-10 09:05 by zapen
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭