| 查看: 3160 | 回复: 10 | ||
| 本帖产生 1 个 博学EPI ，点击这里进行查看 | ||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | ||
reggiehu木虫 (正式写手)
|
[求助]
射频磁控溅射ZAO陶瓷靶时遇到的一些问题
|
|
|
最近用ZnO,Al2O3粉末自己压制烧结了ZAO陶瓷靶，因为没有相应的条件，只在普通空气炉内烧结，烧结温度1100度。靶烧出来已经陶瓷化了，稍微用下就能发现上面有很多微小的空洞的。 问题来了： 1. 射频溅射，功率从80W到160W，只通Ar，基片玻璃（载玻片），镀出来的膜都不是透明的，呈淡黄色，明显的颜色较重，跟以前金属靶反应共溅射是的几乎透明完全不一样；膜侧看呈红色、绿色。为什么呢？氧化锌膜一般是透明的，几乎看不出颜色，我是要做透明膜，现在调节功率和气压（0.5-1.5Pa）都没有做出透明膜。 2. 以前用金属靶反应共溅射做ZAO膜，挡板上的膜很容易用砂纸擦掉（镀膜1h），而现在改用陶瓷靶后，每次清理都很困难，挡板上的膜很难擦（每次镀膜30min），而且预溅射处和挡板孔处的膜像彩虹一样，黄、绿、红圈交替出现的，基片上的膜也能看出这样的情况，这是为什么？是什么原因造成的？ 欢迎回答，非常感谢！ |
回复此楼» 猜你喜欢
国自然评审意见
已经有7人回复
-
系统查不到
已经有11人回复
-
有多少人是今天查系统知道结果的？
已经有18人回复
-
为什么资助数各大高校都创新高，自己申请怎么就这么难
已经有12人回复
-
有没有仍没收到信息的
已经有3人回复
-
导师吐槽：我怎么摊上了这么个极品研究生！
已经有8人回复
-
基金不中，共勉
已经有11人回复
-
麻烦专家们看看评委们的意见（F口面上）
已经有9人回复
-
2026年叶企孙基金
已经有6人回复
-
国自然面上复盘~欢迎讨论
已经有13人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 求助：反应磁控溅射制备氮化铬薄膜，靶电源用DC还是RF好呢？
已经有9人回复
- 射频磁控溅射镀金属靶材如何建立自偏压？
已经有5人回复
- 射频磁控溅射镀膜都可以通入哪些气体
已经有11人回复
- 万分火急：求助射频溅射镀膜问题
已经有3人回复
- 磁控溅射出问题了大虾们帮帮忙
已经有6人回复
- 【求助】请教为什么有人用磁控溅射金属膜用的是射频电源
已经有21人回复
- 【求助】请教磁控溅射金属膜问题
已经有23人回复
- 磁控溅射射频功率源的问题
已经有4人回复
- 【求助】磁控溅射时的基板问题
已经有4人回复
qfw_68
版主 (文坛精英)
有尾巴的青蛙
- 博学EPI: 2910
- 应助: 120 (高中生)
- 贵宾: 0.414
- 金币: 85739.6
- 散金: 3020
- 红花: 212
- 沙发: 7686
- 帖子: 39490
- 在线: 4852.7小时
- 虫号: 797958
- 注册: 2009-06-24
- 性别: GG
- 专业: 自然语言理解与机器翻译
- 管辖: 有奖问答
5楼2012-05-03 12:25:37
qfw_68
版主 (文坛精英)
有尾巴的青蛙
- 博学EPI: 2910
- 应助: 120 (高中生)
- 贵宾: 0.414
- 金币: 85739.6
- 散金: 3020
- 红花: 212
- 沙发: 7686
- 帖子: 39490
- 在线: 4852.7小时
- 虫号: 797958
- 注册: 2009-06-24
- 性别: GG
- 专业: 自然语言理解与机器翻译
- 管辖: 有奖问答
2楼2012-05-03 11:22:31
reggiehu
木虫 (正式写手)
- 应助: 2 (幼儿园)
- 金币: 1879.9
- 红花: 2
- 帖子: 737
- 在线: 201.9小时
- 虫号: 1338210
- 注册: 2011-07-05
- 性别: GG
- 专业: 机械工程
3楼2012-05-03 12:17:06
reggiehu
木虫 (正式写手)
- 应助: 2 (幼儿园)
- 金币: 1879.9
- 红花: 2
- 帖子: 737
- 在线: 201.9小时
- 虫号: 1338210
- 注册: 2011-07-05
- 性别: GG
- 专业: 机械工程
4楼2012-05-03 12:20:26
30