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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 工艺技术 » 膜技术 » 万分火急：求助射频溅射镀膜问题
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土豆十四

木虫 (小有名气)

[求助] 万分火急：求助射频溅射镀膜问题

我用的是北京蒙泰的磁控溅射仪，在开分子泵的时候，分子泵转速正在上升的时候突然分子泵自己听了，分子泵的整个控制面板都灭了，再开就开不开了，连指示灯都不亮了，有没有人遇到这样的情况，这是怎么回事啊？？
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1楼2011-10-08 14:09:24
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holypapa

木虫 (职业作家)
出问题了。电话厂家，维修吧。
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Aappleadaykeepsdoctoraway.
2楼2011-10-08 17:31:28
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土豆十四

木虫 (小有名气)
土豆十四: 回帖置顶 2012-06-01 10:13:38
问题已经解决了，还好不用大修，一身的冷汗
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3楼2011-10-09 21:12:43
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jiajia1106

禁虫 (小有名气)
感谢参与，应助指数 +1
本帖内容被屏蔽
4楼2012-04-19 18:00:50
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