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土豆十四

木虫 (小有名气)

[求助] 万分火急:求助射频溅射镀膜问题

我用的是北京蒙泰的磁控溅射仪,在开分子泵的时候,分子泵转速正在上升的时候突然分子泵自己听了,分子泵的整个控制面板都灭了,再开就开不开了,连指示灯都不亮了,有没有人遇到这样的情况,这是怎么回事啊??
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jiajia1106

禁虫 (小有名气)

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4楼2012-04-19 18:00:50
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holypapa

木虫 (职业作家)

出问题了。电话厂家,维修吧。



Aappleadaykeepsdoctoraway.
2楼2011-10-08 17:31:28
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土豆十四

木虫 (小有名气)

土豆十四: 回帖置顶 2012-06-01 10:13:38
问题已经解决了,还好不用大修,一身的冷汗
3楼2011-10-09 21:12:43
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