应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 基础研究 » 【求助】射频溅射反射功率过高，不起辉，无自偏压
131/2返回列表12下一页
查看: 3566  |  回复: 12
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

bsjia

木虫 (正式写手)

屁虫

[交流] 【求助】射频溅射反射功率过高，不起辉，无自偏压 已有7人参与

射频溅射过程中反射功率升高而没有注意到，现在不能起辉了，自偏压也没有，是不是设备坏了啊？怎么维修啊，请高手指点！！
急！还没有跟老板说呢！谢谢
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

呵呵

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
谁能把我领上道，我感谢他八辈祖宗！
1楼 2010-10-25 20:35:37
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

cord

铁杆木虫 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
通过手动调节电源功率,匹配器是自动的，反射功率过高时，通过调节c1,c2来调低反射功率，

这个匹配器到底是自动还是手动啊? 自动的话, 发射功率过高时匹配器会自己来调节, 而不需要手动.
估计不是你的电缆短路了就是你的溅射阴极(靶位短路了), 国产电源是有坏的问题, 但是还是先排除其它问题吧.
用万用表测试同轴电缆线两端看是否断路, 以及测试中心线跟绝缘层直接是否短路, 测试电缆线两端都从设备上拆下来.
赞一下(1人) 回复此楼
12楼2014-07-06 11:48:44
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
普通回帖

cord

铁杆木虫 (著名写手)
bsjia(金币+2):需要怎么处理啊，新手，不太明白啊 2010-10-25 21:12:52
bsjia(金币+1): 是电源还是匹配器的问题啊？ 2010-10-25 21:15:53
很有可能是连接线或者电极短路了。
射频电源都有自保护功能，不容易坏的。
赞一下 回复此楼
2楼2010-10-25 20:45:39
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

cord

铁杆木虫 (著名写手)
bsjia(金币+1):， 2010-10-26 20:37:14
请详细描述你的电源以及出现的问题，光凭上面的描述很难推断具体的问题。
电源是国产的还是进口的？匹配器是手动还是自动的？腔室中的电缆以及电源到匹配器，匹配器到腔室中的电缆是否都没有问题？腔室的功率连接口是否有问题？
这些都可以用万用表快速、简单的检测出来。
有没有标准负载，用它可以测试电源和匹配器是否工作正常。
赞一下 回复此楼
3楼2010-10-26 00:24:57
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

bsjia

木虫 (正式写手)

屁虫
引用回帖:
Originally posted by cord at 2010-10-26 00:24:57:
请详细描述你的电源以及出现的问题，光凭上面的描述很难推断具体的问题。
电源是国产的还是进口的？匹配器是手动还是自动的？腔室中的电缆以及电源到匹配器，匹配器到腔室中的电缆是否都没有问题？腔室的功率连接 ...

我使用的射频电源和射频匹配器都是国产的（北京泰科诺科技JCP-350磁控溅射镀膜机），通过手动调节电源功率,匹配器是自动的，反射功率过高时，通过调节c1,c2来调低反射功率，上次做实验时反射功率过大一段时间没有注意到，发现时，发现自偏压变为零，调整电源功率自偏压也不出现了。在再次开机做实验时，始终没有自偏压，但是调整电源功率，射频匹配器上前级功率和反射功率都有，但靶上不起辉。 今天一直没有空，没有去按您说的去检查电缆线。 以上描述不知道能否判断故障在哪里？

[ Last edited by bsjia on 2010-10-26 at 21:04 ]
赞一下 回复此楼
谁能把我领上道，我感谢他八辈祖宗！
4楼2010-10-26 20:46:03
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

tonylei1990

银虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
我的反射功率怎么也很高，但是正常起辉。。。。
赞一下 回复此楼
5楼2013-12-09 09:38:07
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

遮天绿叶

银虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
5楼: Originally posted by tonylei1990 at 2013-12-09 09:38:07
我的反射功率怎么也很高，但是正常起辉。。。。

反射功率高了，溅射的速率会减小很多啊
赞一下 回复此楼
天生乐观，自由奋斗。
6楼2013-12-10 13:42:46
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

tonylei1990

银虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
6楼: Originally posted by 遮天绿叶 at 2013-12-10 13:42:46
反射功率高了，溅射的速率会减小很多啊...

太巧了，今天我调了下协调，我的反射功率就降下来了。。。原来怎么调也降不下来，好奇怪啊~
赞一下 回复此楼
7楼2013-12-12 16:28:25
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

swxby

木虫 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
反射功率要控制在两个刻度之内，否者太浪费了。
把腔室开清理一下，靶托打磨一下。
一般是短路，先换个靶材试试。不行就看看电源箱里面那些插指电容一样的东西有没有晒坏，烧穿。
赞一下 回复此楼
喵了个咪的~
8楼2013-12-12 21:27:11
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

dai087320

金虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
4楼: Originally posted by bsjia at 2010-10-26 20:46:03
我使用的射频电源和射频匹配器都是国产的（北京泰科诺科技JCP-350磁控溅射镀膜机），通过手动调节电源功率,匹配器是自动的，反射功率过高时，通过调节c1,c2来调低反射功率，上次做实验时反射功率过大一段时间没 ...

请问该问题怎么解决的？在线等，谢谢
赞一下 回复此楼
9楼2014-07-01 19:37:34
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

碳工

新虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
3楼: Originally posted by cord at 2010-10-26 00:24:57
请详细描述你的电源以及出现的问题，光凭上面的描述很难推断具体的问题。
电源是国产的还是进口的？匹配器是手动还是自动的？腔室中的电缆以及电源到匹配器，匹配器到腔室中的电缆是否都没有问题？腔室的功率连接口 ...

求问怎么用万用表测的？
赞一下 回复此楼
10楼2014-07-06 10:19:59
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 bsjia 的主题更新
131/2返回列表12下一页
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[硕博家园] 深圳大学硕士招生（2026秋，传感器方向，仅录取第一志愿） +4 xujiaoszu 2026-03-11 8/400 2026-03-16 09:45 by xujiaoszu
[考研] 290求调剂 +5 孔志浩 2026-03-12 10/500 2026-03-16 09:01 by 余晖&
[基金申请] NSFC申报书里申请人简历中代表性论著还需要在申报书最后的附件里面再上传一遍吗 20+5 NSFC2026我来了 2026-03-10 14/700 2026-03-15 23:53 by 不负韶华的虎
[考博] 东华理工大学化材专业26届硕士博士申请 +6 zlingli 2026-03-13 6/300 2026-03-15 20:00 by ryzcf
[考研] 290求调剂 +4 @将就将就看 2026-03-10 8/400 2026-03-14 14:23 by 千千运气
[考研] 211本，11408一志愿中科院277分，曾在中科院自动化所实习 +3 Losir 2026-03-12 3/150 2026-03-14 12:11 by 热情沙漠
[考研] 266求调剂 +4 学员97LZgn 2026-03-13 4/200 2026-03-14 08:37 by zhukairuo
[考研] 288求调剂 +14 王晓阳- 2026-03-09 19/950 2026-03-14 02:05 by JourneyLucky
[考研] 085600求调剂 +3 a邵星池 2026-03-09 3/150 2026-03-14 01:32 by JourneyLucky
[考研] 279求调剂 +3 抓着星星的女孩 2026-03-10 3/150 2026-03-13 23:47 by userper
[考研] 279求调剂 +3 Dizzy123@ 2026-03-10 3/150 2026-03-13 23:02 by JourneyLucky
[考研] 一志愿中科院，化学方向，295求调剂 +4 一氧二氮 2026-03-11 4/200 2026-03-13 22:35 by JourneyLucky
[考研] 材料工程调剂 +4 咪咪空空 2026-03-11 4/200 2026-03-13 19:57 by JourneyLucky
[考研] 293求调剂 +3 世界首富 2026-03-11 3/150 2026-03-13 16:27 by JourneyLucky
[考研] 314求调剂 +7 无懈可击的巨人 2026-03-12 7/350 2026-03-13 15:40 by JourneyLucky
[考博] 读博申请 +5 感dd 2026-03-10 7/350 2026-03-11 17:02 by QGZDSYS
[考研] 279求调剂 +3 莫xiao 2026-03-10 4/200 2026-03-11 08:06 by 斩魂滴兔子！
[考研] 0856材料与化工353分求调剂 +11 NIFFFfff 2026-03-09 11/550 2026-03-10 18:36 by suyuanhai
[考研] 求调剂材料专硕293 +6 段_(:з」∠)_ 2026-03-10 6/300 2026-03-10 18:22 by ms629
[硕博家园] 木虫好像不热闹了，是不是？ +4 偏振片 2026-03-10 4/200 2026-03-10 09:51 by longwave
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭