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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 金属 » 表面处理 » 求助哪可查到各种材料的相对溅射速率值
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robin_xmu

金虫 (小有名气)

[求助] 求助哪可查到各种材料的相对溅射速率值

RT。。用磁控溅射镀膜，请教各位大神哪里可查到？比如Cr、Zr、Al、Zn、Y

先谢过各位关注以及路过的大神。。
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1楼 2012-03-07 20:57:55
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robin_xmu

金虫 (小有名气)
求大神帮忙啊。。
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2楼2012-03-08 12:53:47
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wanyue1111

木虫 (著名写手)
这个溅射速率和你的仪器有很大关系吧，不过一般金属的成膜速度应该比较大。最好在做完膜以后，再测量厚度，就能知道速度了。
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天空飘来五个字，这都不叫事！
3楼2012-03-25 14:12:10
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wanyue1111

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
youmengren: 金币+1, 感谢交流 2012-03-25 15:24:00
robin_xmu: 金币+1, ★有帮助, 谢谢，主要想做个对比，看看合金靶溅射出的各元素比例是否跟溅射率有关 2012-03-25 23:05:45
这个溅射速率和你的仪器有很大关系吧，不过一般金属的成膜速度应该比较大。最好在做完膜以后，再测量厚度，就能知道速度了。
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天空飘来五个字，这都不叫事！
4楼2012-03-25 14:12:26
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reagan251

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
robin_xmu: 金币+1, ★★★很有帮助 2012-04-10 22:23:37
robin_xmu: 金币+8, ★★★很有帮助 2012-05-14 18:45:26
貌似溅射速率是和仪器有有很大关系的！功率，气压，貌似也有影响的吧！而且磁控溅射也有铁磁靶和强磁靶等不同靶的吧！
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5楼2012-04-05 09:55:36
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