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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 金属 » 交流互助 » 【求助】问问Ni的磁控溅射和Fe一样需要强磁靶才难有高的溅射速率么？？
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cromwellking

木虫 (小有名气)

[交流] 【求助】问问Ni的磁控溅射和Fe一样需要强磁靶才难有高的溅射速率么？？

问问Ni的磁控溅射和Fe一样需要强磁靶才难有高的溅射速率么？
Fe因为其导磁性最强，采用强磁靶进行溅射。不知道有没有人溅射过Ni材料。
Ni的导磁性弱于Fe,一般是采用强磁靶溅射呢，还是普通靶也能进行溅射?问问有经验的各位好心人了
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1楼 2011-03-01 09:52:55
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reagan251

新虫 (小有名气)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
我正在做磁控溅射铁，工作气体用氮气，昨天失败了，用的是永磁靶，今天用强磁靶试试，如果可以再回复你！
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2楼2011-10-11 13:51:17
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cromwellking

木虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by reagan251 at 2011-10-11 13:51:17:
我正在做磁控溅射铁，工作气体用氮气，昨天失败了，用的是永磁靶，今天用强磁靶试试，如果可以再回复你！

一定要用强磁靶的朋友，我已经试过了，你用强磁靶溅射铁肯定能成功的！
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3楼2011-10-13 21:01:49
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Maxthonhua

新虫 (正式写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
铁一定要用强磁靶，镍不用
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4楼2011-11-14 22:22:00
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