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cromwellking

木虫 (小有名气)


[交流] 【求助】问问Ni的磁控溅射和Fe一样需要强磁靶才难有高的溅射速率么??

问问Ni的磁控溅射和Fe一样需要强磁靶才难有高的溅射速率么?
Fe因为其导磁性最强,采用强磁靶进行溅射。不知道有没有人溅射过Ni材料。
Ni的导磁性弱于Fe,一般是采用强磁靶溅射呢,还是普通靶也能进行溅射?问问有经验的各位好心人了
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reagan251

新虫 (小有名气)



小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖
我正在做磁控溅射铁,工作气体用氮气,昨天失败了,用的是永磁靶,今天用强磁靶试试,如果可以再回复你!
2楼2011-10-11 13:51:17
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cromwellking

木虫 (小有名气)


引用回帖:
2楼: Originally posted by reagan251 at 2011-10-11 13:51:17:
我正在做磁控溅射铁,工作气体用氮气,昨天失败了,用的是永磁靶,今天用强磁靶试试,如果可以再回复你!

一定要用强磁靶的朋友,我已经试过了,你用强磁靶溅射铁肯定能成功的!
3楼2011-10-13 21:01:49
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Maxthonhua

新虫 (正式写手)



小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖
铁一定要用强磁靶,镍不用
4楼2011-11-14 22:22:00
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