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磁控溅射Fe靶的溅射电压范围 已有3人参与
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| 各位虫友，我目前做的是Fe-si-Al吸波材料，采用的是磁控溅射的方法，但是问现在这方面的讲述比较少，我采用的是Fe靶和Si-Al靶，想问一下Fe靶和Si-Al靶的溅射电压和电流是多少？我目前在Fe靶和Si-Al靶上施加的电压最多不超过400V，这时候的电流已经很大了，为2A左右，想继续增大电压机器就会响，所以400V以下的电压能够溅射出来东西吗？请各位大神帮助，急用，不甚感激！ |
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甲子湖
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