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磁控溅射镀镍，出现起辉两分钟后，自动电压、电流跳零，这是为什么？
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| 运用Ar气进行磁控溅射Ni靶，Ni靶放在强磁靶上，打开电源，成功起辉，辉光呈现一点点泛红，辉光微微波动，基本稳定，但是过了两分钟左右，电源的电压和电流自动跳零，辉光消失，和电源关闭相同效果。等待几秒重启电源也是相同的情况。不知道这是为什么会发生这种情况？之前没有注意时间的时候试镀过1分钟，没有什么问题，可以在衬底上镀上Ni膜。 |
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