应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 凝聚态物理 » 磁控溅射镀镍，出现起辉两分钟后，自动电压、电流跳零，这是为什么？
71/1返回列表
查看: 2710  |  回复: 6
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

11lhuang1

新虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射镀镍，出现起辉两分钟后，自动电压、电流跳零，这是为什么？

运用Ar气进行磁控溅射Ni靶，Ni靶放在强磁靶上，打开电源，成功起辉，辉光呈现一点点泛红，辉光微微波动，基本稳定，但是过了两分钟左右，电源的电压和电流自动跳零，辉光消失，和电源关闭相同效果。等待几秒重启电源也是相同的情况。不知道这是为什么会发生这种情况？之前没有注意时间的时候试镀过1分钟，没有什么问题，可以在衬底上镀上Ni膜。
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
1楼 2012-11-28 19:18:10
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

leongoall

专家顾问 (知名作家)

P-M-I之初生牛犊

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
11lhuang1: 金币+1, ★有帮助 2012-11-30 13:12:26
Ar溅射Ni靶，如果没有估计错误应该使用的是直流源，但是不太明白开始一点泛红是什么原因，因为氩的颜色应该是蓝色发白的颜色，不知道Ni的光谱是否泛红。

2分钟就灭辉是否是因为Ni靶本身对磁场位型的影响呢？没做过磁性材料的靶，不清楚！
赞一下 回复此楼

» 本帖已获得的红花（最新10朵）

11lhuang1
趁年轻，多折腾！曾年轻，折腾过？！
2楼2012-11-30 03:05:38
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

11lhuang1

新虫 (初入文坛)
送鲜花一朵
引用回帖:
2楼: Originally posted by leongoall at 2012-11-30 03:05:38
Ar溅射Ni靶，如果没有估计错误应该使用的是直流源，但是不太明白开始一点泛红是什么原因，因为氩的颜色应该是蓝色发白的颜色，不知道Ni的光谱是否泛红。

2分钟就灭辉是否是因为Ni靶本身对磁场位型的影响呢？没做 ...

泛红，可能是腔体内还有少量的氧气。因为我做的本底真空是1.4*10-3Pa，工作压强选的1Pa。可能本底真空度不够。而只是不知道为什么会突然跳零，因为我这已经是强磁靶了，专门对应有磁性的材料镀膜问题
赞一下 回复此楼
3楼2012-11-30 13:11:58
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

leongoall

专家顾问 (知名作家)

P-M-I之初生牛犊
引用回帖:
3楼: Originally posted by 11lhuang1 at 2012-11-30 13:11:58
泛红，可能是腔体内还有少量的氧气。因为我做的本底真空是1.4*10-3Pa，工作压强选的1Pa。可能本底真空度不够。而只是不知道为什么会突然跳零，因为我这已经是强磁靶了，专门对应有磁性的材料镀膜问题...

恩，照你这个本底真空泛红应该是杂质气体，但不应该是氧气，因为氧气也不是泛红的，氮气电离倒是泛红！

请问功率多大？是否预溅射？一起前面电源正常的2分钟内是否出现闪烁现象？
赞一下(1人) 回复此楼

» 本帖已获得的红花（最新10朵）

11lhuang1
趁年轻，多折腾！曾年轻，折腾过？！
4楼2012-11-30 15:16:42
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

11lhuang1

新虫 (初入文坛)
送鲜花一朵
引用回帖:
4楼: Originally posted by leongoall at 2012-11-30 15:16:42
恩，照你这个本底真空泛红应该是杂质气体，但不应该是氧气，因为氧气也不是泛红的，氮气电离倒是泛红！

请问功率多大？是否预溅射？一起前面电源正常的2分钟内是否出现闪烁现象？...

功率100W，预溅射了，光出现微微波动，后期电压电流会不是很稳定会晃动，电流会增加一点，但是电压会减小，功率变化不大
赞一下 回复此楼
5楼2012-12-07 09:43:30
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

leongoall

专家顾问 (知名作家)

P-M-I之初生牛犊
引用回帖:
5楼: Originally posted by 11lhuang1 at 2012-12-07 09:43:30
功率100W，预溅射了，光出现微微波动，后期电压电流会不是很稳定会晃动，电流会增加一点，但是电压会减小，功率变化不大...

后期指的是啥意思，现在2分钟不会灭辉了吗？
赞一下 回复此楼
趁年轻，多折腾！曾年轻，折腾过？！
6楼2012-12-07 14:48:51
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

P3HT:PCBM

木虫 (初入文坛)
请问楼主这个问题的原因查不来了没有，现在我也遇到相似的问题！
赞一下 回复此楼
7楼2014-03-07 10:28:27
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 11lhuang1 的主题更新
71/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 东南大学364求调剂 +4 JasonYuiui 2026-03-15 4/200 2026-03-16 08:36 by Linda Hu
[考研] 材料与化工一志愿南昌大学327求调剂推荐 +6 Ncdx123456 2026-03-13 7/350 2026-03-16 07:44 by L135790
[考研] 化学调剂0703 +7 啊我我的 2026-03-11 7/350 2026-03-15 23:03 by 凌千颂111
[基金申请] 现在如何回避去年的某一个专家，不知道名字 +3 zk200107 2026-03-12 6/300 2026-03-14 17:13 by zk200107
[考研] 255求调剂 +3 李嘉慧， 2026-03-12 4/200 2026-03-14 16:58 by 有只狸奴
[考研] 267一志愿南京工业大学0817化工求调剂 +5 SUICHILD 2026-03-12 5/250 2026-03-14 14:53 by jean5056
[考研] 297求调剂 +4 学海漂泊 2026-03-13 4/200 2026-03-14 11:51 by 热情沙漠
[考研] 学硕285求调剂 +13 Wisjxn 2026-03-12 46/2300 2026-03-14 10:33 by JourneyLucky
[考研] 266求调剂 +4 学员97LZgn 2026-03-13 4/200 2026-03-14 08:37 by zhukairuo
[考研] 环境调剂 +6 晓看天暮看云 2026-03-09 6/300 2026-03-14 01:16 by JourneyLucky
[考研] 308求调剂 +5 是Lupa啊 2026-03-11 5/250 2026-03-13 22:13 by JourneyLucky
[考研] 求材料调剂 +5 隔壁陈先生 2026-03-12 5/250 2026-03-13 22:03 by 星空星月
[硕博家园] 085600 260分求调剂 +3 天空还下雨么 2026-03-13 5/250 2026-03-13 18:46 by 天空还下雨么
[考研] 308求调剂 +3 是Lupa啊 2026-03-12 3/150 2026-03-13 14:30 by 求调剂zz
[论文投稿] 投稿问题 5+4 星光灿烂xt 2026-03-12 6/300 2026-03-13 14:17 by god_tian
[考研] 0856化学工程280分求调剂 +4 shenzxsn 2026-03-11 4/200 2026-03-13 11:55 by ymwdoctor
[考研] 289求调剂 +3 李政莹 2026-03-12 3/150 2026-03-13 11:02 by 求调剂zz
[考研] 0817化学工程与技术考研312分调剂 +3 T123 tt 2026-03-12 3/150 2026-03-13 10:49 by houyaoxu
[考研] 270求调剂 085600材料与化工专硕 +3 YXCT 2026-03-11 3/150 2026-03-13 10:13 by houyaoxu
[考研] 求调剂材料专硕293 +6 段_(:з」∠)_ 2026-03-10 6/300 2026-03-10 18:22 by ms629
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭