应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 凝聚态物理 » 磁控溅射镀镍，出现起辉两分钟后，自动电压、电流跳零，这是为什么？
71/1返回列表
查看: 2709  |  回复: 6
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

11lhuang1

新虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射镀镍，出现起辉两分钟后，自动电压、电流跳零，这是为什么？

运用Ar气进行磁控溅射Ni靶，Ni靶放在强磁靶上，打开电源，成功起辉，辉光呈现一点点泛红，辉光微微波动，基本稳定，但是过了两分钟左右，电源的电压和电流自动跳零，辉光消失，和电源关闭相同效果。等待几秒重启电源也是相同的情况。不知道这是为什么会发生这种情况？之前没有注意时间的时候试镀过1分钟，没有什么问题，可以在衬底上镀上Ni膜。
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
1楼 2012-11-28 19:18:10
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

leongoall

专家顾问 (知名作家)

P-M-I之初生牛犊

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
11lhuang1: 金币+1, ★有帮助 2012-11-30 13:12:26
Ar溅射Ni靶，如果没有估计错误应该使用的是直流源，但是不太明白开始一点泛红是什么原因，因为氩的颜色应该是蓝色发白的颜色，不知道Ni的光谱是否泛红。

2分钟就灭辉是否是因为Ni靶本身对磁场位型的影响呢？没做过磁性材料的靶，不清楚！
赞一下 回复此楼

» 本帖已获得的红花（最新10朵）

11lhuang1
趁年轻，多折腾！曾年轻，折腾过？！
2楼2012-11-30 03:05:38
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

11lhuang1

新虫 (初入文坛)
送鲜花一朵
引用回帖:
2楼: Originally posted by leongoall at 2012-11-30 03:05:38
Ar溅射Ni靶，如果没有估计错误应该使用的是直流源，但是不太明白开始一点泛红是什么原因，因为氩的颜色应该是蓝色发白的颜色，不知道Ni的光谱是否泛红。

2分钟就灭辉是否是因为Ni靶本身对磁场位型的影响呢？没做 ...

泛红，可能是腔体内还有少量的氧气。因为我做的本底真空是1.4*10-3Pa，工作压强选的1Pa。可能本底真空度不够。而只是不知道为什么会突然跳零，因为我这已经是强磁靶了，专门对应有磁性的材料镀膜问题
赞一下 回复此楼
3楼2012-11-30 13:11:58
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

leongoall

专家顾问 (知名作家)

P-M-I之初生牛犊
引用回帖:
3楼: Originally posted by 11lhuang1 at 2012-11-30 13:11:58
泛红，可能是腔体内还有少量的氧气。因为我做的本底真空是1.4*10-3Pa，工作压强选的1Pa。可能本底真空度不够。而只是不知道为什么会突然跳零，因为我这已经是强磁靶了，专门对应有磁性的材料镀膜问题...

恩，照你这个本底真空泛红应该是杂质气体，但不应该是氧气，因为氧气也不是泛红的，氮气电离倒是泛红！

请问功率多大？是否预溅射？一起前面电源正常的2分钟内是否出现闪烁现象？
赞一下(1人) 回复此楼

» 本帖已获得的红花（最新10朵）

11lhuang1
趁年轻，多折腾！曾年轻，折腾过？！
4楼2012-11-30 15:16:42
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

11lhuang1

新虫 (初入文坛)
送鲜花一朵
引用回帖:
4楼: Originally posted by leongoall at 2012-11-30 15:16:42
恩，照你这个本底真空泛红应该是杂质气体，但不应该是氧气，因为氧气也不是泛红的，氮气电离倒是泛红！

请问功率多大？是否预溅射？一起前面电源正常的2分钟内是否出现闪烁现象？...

功率100W，预溅射了，光出现微微波动，后期电压电流会不是很稳定会晃动，电流会增加一点，但是电压会减小，功率变化不大
赞一下 回复此楼
5楼2012-12-07 09:43:30
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

leongoall

专家顾问 (知名作家)

P-M-I之初生牛犊
引用回帖:
5楼: Originally posted by 11lhuang1 at 2012-12-07 09:43:30
功率100W，预溅射了，光出现微微波动，后期电压电流会不是很稳定会晃动，电流会增加一点，但是电压会减小，功率变化不大...

后期指的是啥意思，现在2分钟不会灭辉了吗？
赞一下 回复此楼
趁年轻，多折腾！曾年轻，折腾过？！
6楼2012-12-07 14:48:51
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

P3HT:PCBM

木虫 (初入文坛)
请问楼主这个问题的原因查不来了没有，现在我也遇到相似的问题！
赞一下 回复此楼
7楼2014-03-07 10:28:27
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 11lhuang1 的主题更新
71/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 本科南京大学一志愿川大药学327 +3 麦田耕者 2026-03-14 3/150 2026-03-14 20:04 by 外星文明
[考研] 289求调剂 +4 这么名字咋样 2026-03-14 6/300 2026-03-14 18:58 by userper
[考研] 复试调剂 +3 呼呼？~+123456 2026-03-14 3/150 2026-03-14 16:53 by WTUChen
[考研] 293求调剂 +5 上班不着吉 2026-03-09 5/250 2026-03-14 02:37 by JourneyLucky
[考研] 考研材料与化工，求调剂 +8 戏精丹丹丹 2026-03-09 8/400 2026-03-14 01:14 by JourneyLucky
[考研] 26考研调剂 +3 ying123. 2026-03-10 3/150 2026-03-14 00:18 by JourneyLucky
[考研] 材料工程,326分，求调剂 +6 KRSLSR 2026-03-10 6/300 2026-03-13 23:47 by JourneyLucky
[考研] 0805，333求调剂 +3 112253525 2026-03-10 3/150 2026-03-13 23:42 by JourneyLucky
[考研] 一志愿中科院，化学方向，295求调剂 +4 一氧二氮 2026-03-11 4/200 2026-03-13 22:35 by JourneyLucky
[考研] 材料与化工求调剂一志愿 985 总分 295 +8 dream…… 2026-03-12 8/400 2026-03-13 22:17 by 星空星月
[考研] 四川大学085601材料工程专硕 初试294求调剂 +4 祝我们好在冬天 2026-03-11 4/200 2026-03-13 21:39 by peike
[考研] 0703化学求调剂 +7 绿豆芹菜汤 2026-03-12 7/350 2026-03-13 17:25 by njzyff
[考研] 求调剂 +7 18880831720 2026-03-11 7/350 2026-03-13 16:10 by JourneyLucky
[考研] 307求调剂 +5 超级伊昂大王 2026-03-12 5/250 2026-03-13 15:56 by 棒棒球手
[考研] 材料301分求调剂 +5 Liyouyumairs 2026-03-12 5/250 2026-03-13 14:42 by JourneyLucky
[考研] 274求调剂0856材料化工 +12 z2839474511 2026-03-11 13/650 2026-03-13 10:39 by peike
[考研] 工科0856专硕化学工程269能调剂吗 +10 我想读研11 2026-03-10 10/500 2026-03-13 10:14 by Yuyi.
[考研] 研究生招生 +3 徐海涛11 2026-03-10 7/350 2026-03-12 14:26 by 徐海涛11
[考研] 化工0817调剂 +8 灿若星晨 2026-03-10 8/400 2026-03-10 22:44 by 星空星月
[考研] 求调剂材料专硕293 +6 段_(:з」∠)_ 2026-03-10 6/300 2026-03-10 18:22 by ms629
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭