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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 凝聚态物理 » 磁控溅射镀镍，出现起辉两分钟后，自动电压、电流跳零，这是为什么？
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11lhuang1

新虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射镀镍，出现起辉两分钟后，自动电压、电流跳零，这是为什么？

运用Ar气进行磁控溅射Ni靶，Ni靶放在强磁靶上，打开电源，成功起辉，辉光呈现一点点泛红，辉光微微波动，基本稳定，但是过了两分钟左右，电源的电压和电流自动跳零，辉光消失，和电源关闭相同效果。等待几秒重启电源也是相同的情况。不知道这是为什么会发生这种情况？之前没有注意时间的时候试镀过1分钟，没有什么问题，可以在衬底上镀上Ni膜。
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1楼 2012-11-28 19:18:10
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leongoall

专家顾问 (知名作家)

P-M-I之初生牛犊

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
11lhuang1: 金币+1, ★有帮助 2012-11-30 13:12:26
Ar溅射Ni靶，如果没有估计错误应该使用的是直流源，但是不太明白开始一点泛红是什么原因，因为氩的颜色应该是蓝色发白的颜色，不知道Ni的光谱是否泛红。

2分钟就灭辉是否是因为Ni靶本身对磁场位型的影响呢？没做过磁性材料的靶，不清楚！
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11lhuang1
趁年轻，多折腾！曾年轻，折腾过？！
2楼2012-11-30 03:05:38
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11lhuang1

新虫 (初入文坛)
送鲜花一朵
引用回帖:
2楼: Originally posted by leongoall at 2012-11-30 03:05:38
Ar溅射Ni靶，如果没有估计错误应该使用的是直流源，但是不太明白开始一点泛红是什么原因，因为氩的颜色应该是蓝色发白的颜色，不知道Ni的光谱是否泛红。

2分钟就灭辉是否是因为Ni靶本身对磁场位型的影响呢？没做 ...

泛红，可能是腔体内还有少量的氧气。因为我做的本底真空是1.4*10-3Pa，工作压强选的1Pa。可能本底真空度不够。而只是不知道为什么会突然跳零，因为我这已经是强磁靶了，专门对应有磁性的材料镀膜问题
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3楼2012-11-30 13:11:58
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leongoall

专家顾问 (知名作家)

P-M-I之初生牛犊
引用回帖:
3楼: Originally posted by 11lhuang1 at 2012-11-30 13:11:58
泛红，可能是腔体内还有少量的氧气。因为我做的本底真空是1.4*10-3Pa，工作压强选的1Pa。可能本底真空度不够。而只是不知道为什么会突然跳零，因为我这已经是强磁靶了，专门对应有磁性的材料镀膜问题...

恩，照你这个本底真空泛红应该是杂质气体，但不应该是氧气，因为氧气也不是泛红的，氮气电离倒是泛红！

请问功率多大？是否预溅射？一起前面电源正常的2分钟内是否出现闪烁现象？
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11lhuang1
趁年轻，多折腾！曾年轻，折腾过？！
4楼2012-11-30 15:16:42
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11lhuang1

新虫 (初入文坛)
送鲜花一朵
引用回帖:
4楼: Originally posted by leongoall at 2012-11-30 15:16:42
恩，照你这个本底真空泛红应该是杂质气体，但不应该是氧气，因为氧气也不是泛红的，氮气电离倒是泛红！

请问功率多大？是否预溅射？一起前面电源正常的2分钟内是否出现闪烁现象？...

功率100W，预溅射了，光出现微微波动，后期电压电流会不是很稳定会晃动，电流会增加一点，但是电压会减小，功率变化不大
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5楼2012-12-07 09:43:30
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leongoall

专家顾问 (知名作家)

P-M-I之初生牛犊
引用回帖:
5楼: Originally posted by 11lhuang1 at 2012-12-07 09:43:30
功率100W，预溅射了，光出现微微波动，后期电压电流会不是很稳定会晃动，电流会增加一点，但是电压会减小，功率变化不大...

后期指的是啥意思，现在2分钟不会灭辉了吗？
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趁年轻，多折腾！曾年轻，折腾过？！
6楼2012-12-07 14:48:51
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P3HT:PCBM

木虫 (初入文坛)
请问楼主这个问题的原因查不来了没有，现在我也遇到相似的问题！
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7楼2014-03-07 10:28:27
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