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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 磁控溅射Fe靶的溅射电压范围
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极地寒光

铜虫 (正式写手)

[求助] 磁控溅射Fe靶的溅射电压范围 已有3人参与

各位虫友，我目前做的是Fe-si-Al吸波材料，采用的是磁控溅射的方法，但是问现在这方面的讲述比较少，我采用的是Fe靶和Si-Al靶，想问一下Fe靶和Si-Al靶的溅射电压和电流是多少？我目前在Fe靶和Si-Al靶上施加的电压最多不超过400V，这时候的电流已经很大了，为2A左右，想继续增大电压机器就会响，所以400V以下的电压能够溅射出来东西吗？请各位大神帮助，急用，不甚感激！
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做最好的自己
1楼 2014-07-29 17:16:39
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坏老老头

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
电压估计是加不上去的了吧

[ 发自小木虫客户端 ]
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4楼2014-07-30 16:23:22
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甲子湖

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
极地寒光: 金币+1, ★有帮助 2014-07-30 19:36:15
你铁做的多厚，一般100w多就可以
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2楼2014-07-29 17:28:21
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极地寒光

铜虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 甲子湖 at 2014-07-29 17:28:21
你铁做的多厚，一般100w多就可以

你好，我的铁耙是3mm，我想问下功率怎么算，是不是溅射电压乘于溅射电流
谢谢了
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做最好的自己
3楼2014-07-30 11:17:47
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lsx2121

捐助贵宾 (小有名气)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
极地寒光: 金币+1 2014-07-30 19:36:38
因为Fe 是磁控材料，

你做的磁控溅射阴极，必须为强磁场结构的，才能溅射出来。 功率加的多一点，少一点，不是主要的影响，是否能溅射出。最主要是你的磁控溅射阴极磁场设计。
你可以问一下，你的溅射阴极厂家， 一般纯铁靶材，厚度在1.5mm 左右，铁合金，好看你的磁场有多少少，厚度可以增加一些。

溅射阴极， 一般是功率/靶材的面积= 靶的功率密度。
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5楼2014-07-30 17:18:34
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