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rulerskp金虫 (小有名气)
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| 跪求高手赐教，磁控溅射过程中入射离子能量是如何计算的？比如采用Ar作为工作气体，此时Ar+到达靶材表面的能量是如何计算？ |
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2楼2011-07-17 12:08:19
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【答案】应助回帖
rulerskp(金币+5): 谢谢，我看看 2011-07-20 08:14:20
|
如果硬要说的很具体的话，能量跟基体的电压和沉积过程中的等离子体的电势有关系（差值），不介意的话，我给你看一下我的一篇文章。 http://www.sciencedirect.com/sci ... i/S0040609009008633 |
6楼2011-07-19 10:02:29
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