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rulerskp金虫 (小有名气)
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做磁控溅射的朋友请进
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| 跪求高手赐教，磁控溅射过程中入射离子能量是如何计算的？比如采用Ar作为工作气体，此时Ar+到达靶材表面的能量是如何计算？ |
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spyan581
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5楼2011-07-17 15:12:56
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