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心在飘

木虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射与反应磁控溅射 已有1人参与

有做磁控溅射或反应磁控溅射镀氧化铝薄膜的吗？怎么镀上去的呀？有什么关键控制吗？我怎么镀不上去呀
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反应磁控溅射

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1楼 2011-10-25 11:08:40
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大鲨鱼邓肯

木虫 (著名写手)

大鲨鱼邓肯
★
wbcui(金币+1): 鼓励一下，多谢参与！ 2011-10-26 20:22:22
基底是什么呀？可能是膜基结合力的问题！
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Neverlosemybearings,justbemyself!
2楼2011-10-25 14:25:58
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dwysd

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★
心在飘(金币+1): 真有那么容易我就不问了，氧气通的量已经很小了，但连铝都溅射不上，更别说是反应溅射氧化铝了 2011-10-25 15:45:18
wbcui(金币+1): 鼓励一下，多谢参与！ 2011-10-26 20:22:06
Al 靶加Ar/O2混合气体溅射，很容易溅射沉积的。
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3楼2011-10-25 14:56:09
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心在飘

木虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 大鲨鱼邓肯 at 2011-10-25 14:25:58:
基底是什么呀？可能是膜基结合力的问题！

基地用的玻璃，溅射得到的铜膜，还有铝膜，三种都试过，都溅射不上
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4楼2011-10-25 15:46:31
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xjtu-sunhl

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★
wbcui(金币+1): 鼓励一下，多谢参与！ 2011-10-26 20:22:45
氧化物薄膜沉积速率比较低，是不是镀的时间太短啊。
可以镀时间长一些或者调溅射功率，试试看。
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5楼2011-10-25 16:33:07
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大鲨鱼邓肯

木虫 (著名写手)

大鲨鱼邓肯
★
wbcui(金币+1): 鼓励一下，多谢参与！ 2011-10-26 20:23:03
引用回帖:
4楼: Originally posted by 心在飘 at 2011-10-25 15:46:31:
基地用的玻璃，溅射得到的铜膜，还有铝膜，三种都试过，都溅射不上

我们镀膜但是跟你的膜不一样，但是镀不上膜一般是膜材料与基底的结合本身很弱，举例说，c膜镀在Si上比Cu容易得多，要是基底没有影响，可以考虑使用金属基底！
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Neverlosemybearings,justbemyself!
6楼2011-10-25 19:02:39
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心在飘

木虫 (初入文坛)
引用回帖:
6楼: Originally posted by 大鲨鱼邓肯 at 2011-10-25 19:02:39:
我们镀膜但是跟你的膜不一样，但是镀不上膜一般是膜材料与基底的结合本身很弱，举例说，c膜镀在Si上比Cu容易得多，要是基底没有影响，可以考虑使用金属基底！

但是在铝膜基底和铜膜基底上都试过，也没镀上去，你们镀过氧化铝吗？
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7楼2011-10-25 19:42:14
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心在飘

木虫 (初入文坛)
引用回帖:
5楼: Originally posted by xjtu-sunhl at 2011-10-25 16:33:07:
氧化物薄膜沉积速率比较低，是不是镀的时间太短啊。
可以镀时间长一些或者调溅射功率，试试看。

时间有的都达到四个多小时了，功率250W左右，也是镀不上去
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8楼2011-10-25 19:43:58
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xjtu-sunhl

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★
wbcui(金币+1): 挺专业啊 2011-10-26 20:23:33
我没镀过氧化铝，同学镀过很多氧化锆。
看来不是时间和规律的问题。是不是靶材的问题啊，将靶材重新清洗一下。
后者你的Ａｒ：Ｏ２比是否合适啊，你可以参考文献变化一下。
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9楼2011-10-25 21:18:54
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大鲨鱼邓肯

木虫 (著名写手)

大鲨鱼邓肯
引用回帖:
7楼: Originally posted by 心在飘 at 2011-10-25 19:42:14:
但是在铝膜基底和铜膜基底上都试过，也没镀上去，你们镀过氧化铝吗？

没有，对氧化铝性能不了解！
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Neverlosemybearings,justbemyself!
10楼2011-10-26 08:48:29
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