24小时热门版块排行榜    

查看: 3045  |  回复: 18
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

心在飘

木虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射与反应磁控溅射 已有1人参与

有做磁控溅射或反应磁控溅射镀氧化铝薄膜的吗?怎么镀上去的呀?有什么关键控制吗?我怎么镀不上去呀
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

反应磁控溅射

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐,对您同样有帮助:

已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

xjtu-sunhl

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖


wbcui(金币+1): 挺专业啊 2011-10-26 20:23:33
我没镀过氧化铝,同学镀过很多氧化锆。
看来不是时间和规律的问题。是不是靶材的问题啊,将靶材重新清洗一下。
后者你的Ar:O2比是否合适啊,你可以参考文献变化一下。
9楼2011-10-25 21:18:54
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 19 个回答

大鲨鱼邓肯

木虫 (著名写手)

大鲨鱼邓肯


wbcui(金币+1): 鼓励一下,多谢参与! 2011-10-26 20:22:22
基底是什么呀?可能是膜基结合力的问题!
Neverlosemybearings,justbemyself!
2楼2011-10-25 14:25:58
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

dwysd

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖


心在飘(金币+1): 真有那么容易我就不问了,氧气通的量已经很小了,但连铝都溅射不上,更别说是反应溅射氧化铝了 2011-10-25 15:45:18
wbcui(金币+1): 鼓励一下,多谢参与! 2011-10-26 20:22:06
Al 靶加Ar/O2混合气体溅射,很容易溅射沉积的。
3楼2011-10-25 14:56:09
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

心在飘

木虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by 大鲨鱼邓肯 at 2011-10-25 14:25:58:
基底是什么呀?可能是膜基结合力的问题!

基地用的玻璃,溅射得到的铜膜,还有铝膜,三种都试过,都溅射不上
4楼2011-10-25 15:46:31
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 268求调剂 +7 一定有学上- 2026-03-14 8/400 2026-03-17 13:10 by zz820
[考研] 一志愿南京大学,080500材料科学与工程,调剂 +4 Jy? 2026-03-16 4/200 2026-03-17 11:02 by gaoqiong
[考研] 268求调剂 +5 好运连绵不绝 2026-03-12 5/250 2026-03-17 10:12 by Sammy2
[考研] 267一志愿南京工业大学0817化工求调剂 +6 SUICHILD 2026-03-12 6/300 2026-03-17 09:24 by 雾散后相遇lc
[基金申请] 今年的国基金是打分制吗? 50+3 zhanghaozhu 2026-03-14 3/150 2026-03-16 17:07 by 北京莱茵润色
[考研] 0703化学调剂 +6 妮妮ninicgb 2026-03-15 9/450 2026-03-16 16:40 by houyaoxu
[考研] 材料与化工求调剂 +3 为学666 2026-03-16 3/150 2026-03-16 15:09 by 加号+
[考研] 中科大材料与化工319求调剂 +3 孟鑫材料 2026-03-14 3/150 2026-03-14 20:10 by ms629
[基金申请] 现在如何回避去年的某一个专家,不知道名字 +3 zk200107 2026-03-12 6/300 2026-03-14 17:13 by zk200107
[考研] 复试调剂 +4 z1z2z3879 2026-03-14 5/250 2026-03-14 16:30 by JourneyLucky
[考研] 297求调剂 +4 学海漂泊 2026-03-13 4/200 2026-03-14 11:51 by 热情沙漠
[考研] 复试调剂 +9 Copy267 2026-03-10 9/450 2026-03-13 23:45 by userper
[考研] 341求调剂 +4 番茄头--- 2026-03-10 4/200 2026-03-13 23:12 by JourneyLucky
[考研] 279求调剂 +3 Dizzy123@ 2026-03-10 3/150 2026-03-13 23:02 by JourneyLucky
[考研] 一志愿西南交大,材料专硕317求调剂 +5 lx8568 2026-03-11 5/250 2026-03-13 21:43 by peike
[考研] 304求调剂 +7 7712b 2026-03-13 7/350 2026-03-13 21:42 by peike
[考研] 工科,求调剂 +3 我887 2026-03-11 3/150 2026-03-13 21:39 by JourneyLucky
[考研] 考研调剂 +4 芬达46 2026-03-12 4/200 2026-03-13 16:04 by ruiyingmiao
[考研] 工科材料085601 279求调剂 +8 困于星晨 2026-03-12 10/500 2026-03-13 15:42 by ms629
[考研] 333求调剂 +3 152697 2026-03-12 4/200 2026-03-13 07:08 by Iveryant
信息提示
请填处理意见