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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 磁控溅射&离子溅射
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xingmeig

新虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射&离子溅射

各位前辈好！
我想在我的碳基体上溅射一层铂，本来想用磁控溅射，但是学校的设备要排队，偶然间发现学校的扫描电镜室的喷金设备也可以喷铂，他们有铂靶。查了一下那个设备是小型离子溅射仪。不知道用这种离子溅射上去的铂和磁控溅射的铂有什么不同吗？比如和基体的结合力啥的。
如果没啥区别的话我以后就用离子溅射也可以吗？

由于是新虫，只有两个半金币，都悬赏了哈～不要嫌弃呀
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1楼2012-05-08 19:11:31
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回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

powerfulgxs

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
对于你来说没有区别，都可以。溅射本身的原理都差不多，虽然溅射的微过程有不同，但本质上大同小异。你可以选择两者任何一个镀铂。
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5楼2012-05-09 08:17:41
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fcd406

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-05-09 12:48:05
xingmeig: 金币+1, ★★★很有帮助 2012-05-09 16:02:40
磁控膜层颗粒细，满足良好外观要求，沉积时间长，膜层耐磨性不如离子。
离子能量高，沉积速度高，膜层改密性高，单固性好。
以上不知道能否帮你。
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好好学习，天天向上。
6楼2012-05-09 11:58:18
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普通回帖

qiqiqiqi

至尊木虫 (知名作家)

小木虫发型设计师

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
xingmeig: 金币+1, ★有帮助, 强烈欢迎继续指导，小白在这里先谢谢啦 2012-05-08 19:48:34
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-05-09 12:47:48
如果是扫描电镜的话 用小型离子溅射仪就可以
磁控溅射一般是做具体研究镀膜的性质，楼主不必大仪小用
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http://edu.emuch.net/attachment/b0/a6/664055_1294967861_445.gif
2楼2012-05-08 19:34:19
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xingmeig

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by qiqiqiqi at 2012-05-08 19:34:19:
如果是扫描电镜的话 用小型离子溅射仪就可以
磁控溅射一般是做具体研究镀膜的性质，楼主不必大仪小用

我镀铂不是看电镜的，是想用小型离子溅射仪代替磁控溅射来溅射铂，不知道可不可以。
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3楼2012-05-08 19:45:21
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xingmeig

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by qiqiqiqi at 2012-05-08 19:34:19:
如果是扫描电镜的话 用小型离子溅射仪就可以
磁控溅射一般是做具体研究镀膜的性质，楼主不必大仪小用

其实我就是研究镀膜的性质呢。可不可以用离子溅射来研究啊？应该是“小材大用”？呵呵
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4楼2012-05-08 19:46:59
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qiqiqiqi

至尊木虫 (知名作家)

小木虫发型设计师

【答案】应助回帖

引用回帖:
3楼: Originally posted by xingmeig at 2012-05-08 19:45:21:
我镀铂不是看电镜的，是想用小型离子溅射仪代替磁控溅射来溅射铂，不知道可不可以。

如果只是想镀一层铂膜是可以的
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http://edu.emuch.net/attachment/b0/a6/664055_1294967861_445.gif
7楼2012-05-09 13:46:24
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xingmeig

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
7楼: Originally posted by qiqiqiqi at 2012-05-09 13:46:24:
如果只是想镀一层铂膜是可以的

Hi,您好！我刚刚又发了个贴，觉得您是高手，嘻嘻，所以想特意请教一下，粘帖内容如下，不知道您对这个了解不啊？嘻嘻，先感谢了！

我之前一直以为用蒸碳仪蒸碳，是将石墨蒸发了，石墨整个悬浮着然后慢慢的沉积到基体上，比如说像那种多层的结构（层与层之间是有间距的），层的下面和上面都能够沉积上碳。但是今天有人告诉我不是这样的，蒸碳就像溅射一样只能镀最外表面看到的地方，下面阴影处的结构镀不到，是这样吗？
各位帮忙解答一下好吗？这牵涉到我下一步的实验方案，在此先谢谢啦～
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8楼2012-05-09 16:21:32
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xingmeig

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
5楼: Originally posted by powerfulgxs at 2012-05-09 08:17:41:
对于你来说没有区别，都可以。溅射本身的原理都差不多，虽然溅射的微过程有不同，但本质上大同小异。你可以选择两者任何一个镀铂。

Many thanks！ 我又发了个贴，帮忙顶一下啊，内容如下：
我之前一直以为用蒸碳仪蒸碳，是将石墨蒸发了，石墨整个悬浮着然后慢慢的沉积到基体上，比如说像那种多层的结构（层与层之间是有间距的），层的下面和上面都能够沉积上碳。但是今天有人告诉我不是这样的，蒸碳就像溅射一样只能镀最外表面看到的地方，下面阴影处的结构镀不到，是这样吗？
各位帮忙解答一下好吗？这牵涉到我下一步的实验方案，在此先谢谢啦～
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9楼2012-05-09 16:38:34
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xlys-forever

木虫 (著名写手)
扫描电镜用的喷金或者铂金，结合强度没有磁控溅射高吧。另外，那个溅射真空度也比较低，如果你对膜的质量及微观结构要求不高的话，可以。
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10楼2012-05-09 16:48:25
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