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xingmeig

新虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射&离子溅射

各位前辈好!
我想在我的碳基体上溅射一层铂,本来想用磁控溅射,但是学校的设备要排队,偶然间发现学校的扫描电镜室的喷金设备也可以喷铂,他们有铂靶。查了一下那个设备是小型离子溅射仪。不知道用这种离子溅射上去的铂和磁控溅射的铂有什么不同吗?比如和基体的结合力啥的。
如果没啥区别的话我以后就用离子溅射也可以吗?

由于是新虫,只有两个半金币,都悬赏了哈~不要嫌弃呀
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xingmeig

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by qiqiqiqi at 2012-05-08 19:34:19:
如果是扫描电镜的话 用小型离子溅射仪就可以
磁控溅射一般是做具体研究镀膜的性质,楼主不必大仪小用

其实我就是研究镀膜的性质呢。可不可以用离子溅射来研究啊?应该是“小材大用”?呵呵
4楼2012-05-08 19:46:59
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qiqiqiqi

至尊木虫 (知名作家)

小木虫发型设计师

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与,应助指数 +1
xingmeig: 金币+1, 有帮助, 强烈欢迎继续指导,小白在这里先谢谢啦 2012-05-08 19:48:34
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-05-09 12:47:48
如果是扫描电镜的话 用小型离子溅射仪就可以
磁控溅射一般是做具体研究镀膜的性质,楼主不必大仪小用
http://edu.emuch.net/attachment/b0/a6/664055_1294967861_445.gif
2楼2012-05-08 19:34:19
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xingmeig

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by qiqiqiqi at 2012-05-08 19:34:19:
如果是扫描电镜的话 用小型离子溅射仪就可以
磁控溅射一般是做具体研究镀膜的性质,楼主不必大仪小用

我镀铂不是看电镜的,是想用小型离子溅射仪代替磁控溅射来溅射铂,不知道可不可以。
3楼2012-05-08 19:45:21
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powerfulgxs

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
对于你来说没有区别,都可以。溅射本身的原理都差不多,虽然溅射的微过程有不同,但本质上大同小异。你可以选择两者任何一个镀铂。
5楼2012-05-09 08:17:41
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