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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 磁控溅射 镀铝
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lcycomcn

铁杆木虫 (著名写手)

千年虫

[求助] 磁控溅射 镀铝

请问高手，我用射频、直流两种磁控溅射的方法在载玻片上镀铝，溅射的压强为1.5pa或0.5pa，溅射的功率从50w、100w、150w、200w，靶和基片的距离5cm。溅射时间40分钟以上。分别做了近10次试验，每次都能正常起辉，颜色为紫色，偏红。可就是镀不上，载玻片上只能可能到很薄的蓝色的膜，铝膜应该是银色的吧？请问高手有什么解决办法？各位有什么经验传授一下啊！万分感激!
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宁静以致远
1楼 2012-03-29 16:13:59
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回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

caiyazhi

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

铝靶材表面有很厚的氧化层，在小功率范围内是无法击穿表层获得新鲜的铝表面的，所以溅射出来基本上是类氧化铝，解决办法：关闭射频，直接用/中频/直流强电流（10A~20A)击穿起辉后再开挡板，开射频镀膜
单纯增加射频功率没有用的.    或者在靶接上高容电容，放电击穿也可以（较危险不建议）
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浮躁的社会更需要冷静
51楼2013-01-29 10:18:20
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dreamchinaster

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
lcycomcn: 金币+5, ★有帮助, 谢谢 2012-03-30 09:39:13
你用抽真空么？
真空度是多少？
你选用的靶材是什么
你选用的铝丝纯度是多少？
赞一下(1人) 回复此楼
2楼2012-03-29 21:12:01
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foxs2

木虫 (文坛精英)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
lcycomcn: 金币+5, ★★★很有帮助, 200就加不上去了。。。 2012-04-01 14:21:54
qiqiqiqi: 金币+1, 鼓励小新虫交流 希望继续支持功能材料 2012-04-01 16:16:39
功率太小了，把功率加到400-500W再说。
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10楼2012-03-30 21:20:55
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普通回帖

qiqiqiqi

至尊木虫 (知名作家)

小木虫发型设计师

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
蒋青松: 金币+3, 鼓励参与 2012-03-30 08:11:23
lcycomcn: 金币+10, ★★★很有帮助, 谢谢！ 2012-03-30 09:40:56
楼主 我也镀过Al 也失败了 镀完之后就是不导电
后来分析了下可能有以下的原因：
1 条件不成熟，因为是第一次做，所以在条件上没有把握好，不知楼主何条件？
2 真空度不够：我们就抽到10的负4次方，里面有大量的O，致使镀的不是Al 而是AlO
3 也可能是镀完后马上停实验，使Al马上被氧化
希望以上可以帮助到楼主
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http://edu.emuch.net/attachment/b0/a6/664055_1294967861_445.gif
3楼2012-03-29 21:17:55
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ying0413

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
lcycomcn: 金币+5, ★有帮助 2012-03-30 09:44:21
腔室一定要干净，有很大的关系
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4楼2012-03-30 08:26:03
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lcycomcn

铁杆木虫 (著名写手)

千年虫
引用回帖:
2楼: Originally posted by dreamchinaster at 2012-03-29 21:12:01:
你用抽真空么？
真空度是多少？
你选用的靶材是什么
你选用的铝丝纯度是多少？

用的99.99%的铝靶，本体真空10-4，工作真空1.5pa。
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宁静以致远
5楼2012-03-30 09:40:15
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lcycomcn

铁杆木虫 (著名写手)

千年虫
引用回帖:
3楼: Originally posted by qiqiqiqi at 2012-03-29 21:17:55:
楼主 我也镀过Al 也失败了 镀完之后就是不导电
后来分析了下可能有以下的原因：
1 条件不成熟，因为是第一次做，所以在条件上没有把握好，不知楼主何条件？
2 真空度不够：我们就抽到10的负4次方，里面有大量 ...

这个同行告诉我是很成熟的工艺。。。起辉明显。但是镀不上去，镀4小时，只能看到蓝色的膜，很薄。
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宁静以致远
6楼2012-03-30 09:44:09
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qiqiqiqi

至尊木虫 (知名作家)

小木虫发型设计师

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
lcycomcn: 金币+5, ★★★很有帮助 2012-04-01 14:20:47
引用回帖:
6楼: Originally posted by lcycomcn at 2012-03-30 09:44:09:
这个同行告诉我是很成熟的工艺。。。起辉明显。但是镀不上去，镀4小时，只能看到蓝色的膜，很薄。

可测厚度了没？看下镀的速率是多少
4个小时应该长挺厚的啊，我的镀了半个小时就很明显了
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http://edu.emuch.net/attachment/b0/a6/664055_1294967861_445.gif
7楼2012-03-30 09:54:31
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lcycomcn

铁杆木虫 (著名写手)

千年虫
引用回帖:
7楼: Originally posted by qiqiqiqi at 2012-03-30 09:54:31:
可测厚度了没？看下镀的速率是多少
4个小时应该长挺厚的啊，我的镀了半个小时就很明显了

还是和没镀的玻璃一样透明。厚度没测
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宁静以致远
8楼2012-03-30 14:27:15
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zhulihong

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
lcycomcn: 金币+5 2012-04-01 14:21:05
qiqiqiqi: , 鼓励积极回贴 2012-04-01 16:16:22
qiqiqiqi: 金币+1, 鼓励新虫积极回贴 希望继续在此版交流 2012-04-01 16:16:54
应该没问题啊，我真空抽到10的负4次方，压强0.5，氩气13sccm，功率60瓦，溅射一个小时都可以。是银色的。是不是基片不干净啊
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9楼2012-03-30 21:16:52
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