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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 磁控溅射 镀铝
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cdutnjut1

银虫 (小有名气)
引用回帖:
11楼: Originally posted by foxs2 at 2012-03-30 21:24:32
我实验室经常用溅射镀铝，一分钟就可以镀40nm。

什么参数啊？
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31楼2012-12-26 22:21:49
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cdutnjut1

银虫 (小有名气)
引用回帖:
16楼: Originally posted by foxs2 at 2012-04-01 21:41:58
800w都镀过，不会伤靶材。平时最常用的是500W和700W，镀出来的膜很结实。...

不会吧，你那靶材面积很大吧?有介绍金属的溅射功率不超过25w/cm2，实验室小型的靶材，应该用不到那么大的功率吧
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32楼2012-12-26 22:23:58
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cdutnjut1

银虫 (小有名气)
引用回帖:
23楼: Originally posted by xpengpengx at 2012-12-15 22:05:09
据你所说镀上去应该的是氧化铝，其实铝的生长速率是很快的， 一般是一分钟30~50nm的样子。我看了下本帖的回复，差不多原因都说出来了。最关键的就是两点：一、真空至少要抽到5*10-4Pa；二、功率要大，超过350W（很多 ...

那是靶材面积很大吧?有介绍金属的溅射功率不超过25w/cm2，实验室小型的靶材，应该用不到那么大的功率吧
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33楼2012-12-26 22:26:36
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xpengpengx

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
33楼: Originally posted by cdutnjut1 at 2012-12-26 22:26:36
那是靶材面积很大吧?有介绍金属的溅射功率不超过25w/cm2，实验室小型的靶材，应该用不到那么大的功率吧...

我也是实验在做  功率350W的样子   你做出来了没？那你就用功率25w/cm2试试
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34楼2012-12-27 17:50:57
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cdutnjut1

银虫 (小有名气)
引用回帖:
34楼: Originally posted by xpengpengx at 2012-12-27 17:50:57
我也是实验在做  功率350W的样子   你做出来了没？那你就用功率25w/cm2试试...

你350W做出来了么？用的什么参数啊？我用的小功率，小压强的都没做出来
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35楼2012-12-27 22:16:05
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qitian1

捐助贵宾 (正式写手)
引用回帖:
10楼: Originally posted by foxs2 at 2012-03-30 21:20:55
功率太小了，把功率加到400-500W再说。

这是工业上的做法吧，这么高，针对大靶材？有介绍说靶材最高不超过25w/cm2,忘了是直流还是射频了。直流应该更合适吧？
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36楼2012-12-27 23:45:40
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qitian1

捐助贵宾 (正式写手)
引用回帖:
11楼: Originally posted by foxs2 at 2012-03-30 21:24:32
我实验室经常用溅射镀铝，一分钟就可以镀40nm。

什么参数呀？
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37楼2012-12-27 23:46:06
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qitian1

捐助贵宾 (正式写手)
引用回帖:
16楼: Originally posted by foxs2 at 2012-04-01 21:41:58
800w都镀过，不会伤靶材。平时最常用的是500W和700W，镀出来的膜很结实。...

直流吧？靶材很大吧，
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38楼2012-12-27 23:47:48
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xpengpengx

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
35楼: Originally posted by cdutnjut1 at 2012-12-27 22:16:05
你350W做出来了么？用的什么参数啊？我用的小功率，小压强的都没做出来...

做出来了啊  铝的生长速率很快的，一般30-50nm/min的样子   用直流做  压强影响不是太大，本底真空的影响比较大，所以真空尽量抽久点
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39楼2012-12-28 12:07:05
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weirensi

至尊木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

你的参数没问题啊，我用的也是射频源，功率200W左右，时间起辉颜色也类似，投影的区域能看到吗？看不到说明Ar可能确实需要多一些。我用的压强稍微大些，在几Pa左右。你试试增大Ar流量看看吧。
我倒是没有镀不上的情况，不过，高温下镀铝确实发现过表面氧化发蓝的情况，室温下则是正常的银色。
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40楼2013-01-06 17:15:34
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