查看: 5461  |  回复: 54

cdutnjut1

银虫 (小有名气)

引用回帖:
11楼: Originally posted by foxs2 at 2012-03-30 21:24:32
我实验室经常用溅射镀铝,一分钟就可以镀40nm。

什么参数啊?
31楼2012-12-26 22:21:49
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

cdutnjut1

银虫 (小有名气)

引用回帖:
16楼: Originally posted by foxs2 at 2012-04-01 21:41:58
800w都镀过,不会伤靶材。平时最常用的是500W和700W,镀出来的膜很结实。...

不会吧,你那靶材面积很大吧?有介绍金属的溅射功率不超过25w/cm2,实验室小型的靶材,应该用不到那么大的功率吧
32楼2012-12-26 22:23:58
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

cdutnjut1

银虫 (小有名气)

引用回帖:
23楼: Originally posted by xpengpengx at 2012-12-15 22:05:09
据你所说镀上去应该的是氧化铝,其实铝的生长速率是很快的, 一般是一分钟30~50nm的样子。我看了下本帖的回复,差不多原因都说出来了。最关键的就是两点:一、真空至少要抽到5*10-4Pa;二、功率要大,超过350W(很多 ...

那是靶材面积很大吧?有介绍金属的溅射功率不超过25w/cm2,实验室小型的靶材,应该用不到那么大的功率吧
33楼2012-12-26 22:26:36
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

xpengpengx

铜虫 (小有名气)

引用回帖:
33楼: Originally posted by cdutnjut1 at 2012-12-26 22:26:36
那是靶材面积很大吧?有介绍金属的溅射功率不超过25w/cm2,实验室小型的靶材,应该用不到那么大的功率吧...

我也是实验在做  功率350W的样子   你做出来了没?那你就用功率25w/cm2试试
欢迎MO-TFT的虫友一起交流
34楼2012-12-27 17:50:57
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

cdutnjut1

银虫 (小有名气)

引用回帖:
34楼: Originally posted by xpengpengx at 2012-12-27 17:50:57
我也是实验在做  功率350W的样子   你做出来了没?那你就用功率25w/cm2试试...

你350W做出来了么?用的什么参数啊?我用的小功率,小压强的都没做出来
35楼2012-12-27 22:16:05
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

qitian1

捐助贵宾 (正式写手)

引用回帖:
10楼: Originally posted by foxs2 at 2012-03-30 21:20:55
功率太小了,把功率加到400-500W再说。

这是工业上的做法吧,这么高,针对大靶材?有介绍说靶材最高不超过25w/cm2,忘了是直流还是射频了。直流应该更合适吧?
36楼2012-12-27 23:45:40
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

qitian1

捐助贵宾 (正式写手)

引用回帖:
11楼: Originally posted by foxs2 at 2012-03-30 21:24:32
我实验室经常用溅射镀铝,一分钟就可以镀40nm。

什么参数呀?
37楼2012-12-27 23:46:06
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

qitian1

捐助贵宾 (正式写手)

引用回帖:
16楼: Originally posted by foxs2 at 2012-04-01 21:41:58
800w都镀过,不会伤靶材。平时最常用的是500W和700W,镀出来的膜很结实。...

直流吧?靶材很大吧,
38楼2012-12-27 23:47:48
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

xpengpengx

铜虫 (小有名气)

引用回帖:
35楼: Originally posted by cdutnjut1 at 2012-12-27 22:16:05
你350W做出来了么?用的什么参数啊?我用的小功率,小压强的都没做出来...

做出来了啊  铝的生长速率很快的,一般30-50nm/min的样子   用直流做  压强影响不是太大,本底真空的影响比较大,所以真空尽量抽久点
欢迎MO-TFT的虫友一起交流
39楼2012-12-28 12:07:05
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

weirensi

至尊木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

你的参数没问题啊,我用的也是射频源,功率200W左右,时间起辉颜色也类似,投影的区域能看到吗?看不到说明Ar可能确实需要多一些。我用的压强稍微大些,在几Pa左右。你试试增大Ar流量看看吧。
我倒是没有镀不上的情况,不过,高温下镀铝确实发现过表面氧化发蓝的情况,室温下则是正常的银色。
40楼2013-01-06 17:15:34
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 lcycomcn 的主题更新
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[基金申请] 听说今天filecode变了 +19 布布和一二 2026-08-06 33/1650 2026-08-07 01:25 by 云上清扬
[基金申请] 基金中了 +6 laoda193707 2026-08-06 6/300 2026-08-06 23:34 by dragonxp
[基金申请] filecode +10 等待解的谜 2026-08-06 14/700 2026-08-06 21:16 by zhanghaozhu
[基金申请] 固定端突然变了,今天 +3 archvillain 2026-08-06 7/350 2026-08-06 21:05 by archvillain
[基金申请] filecode +8 布布和一二 2026-08-06 11/550 2026-08-06 20:41 by tangpu318
[基金申请] 大家散了吧,后缀研究没有意义,别浪费时间了,过好目前的每一天,不要焦虑 +5 Tide man 2026-08-06 6/300 2026-08-06 20:19 by 苏知砚
[有机交流] 一个有机合成实验室都需要哪些设备? 50+3 kf2781974 2026-07-31 12/600 2026-08-06 15:11 by eddyin
[基金申请] 求各位大神看下 100+6 hpkpkpkp 2026-08-05 33/1650 2026-08-06 14:49 by zhiyanjiang
[教师之家] 咨询面上基金 +4 李长云 2026-07-31 7/350 2026-08-06 11:20 by 李长云
[基金申请] 影响面上的因素 +8 布布和一二 2026-08-05 11/550 2026-08-06 10:41 by 宝贝虫子
[基金申请] 8月时间戳变的,举个手。玩一下,释放压力 +9 archvillain 2026-08-04 11/550 2026-08-05 20:06 by wlwhappy
[基金申请] 面上再次挂了,太难了,躺也躺不了,倦也卷不过,小学校之殇! +22 低垂的野花 2026-07-31 30/1500 2026-08-05 18:03 by 低垂的野花
[基金申请] 好消息?这个有何含义??? +8 Tide man 2026-08-05 10/500 2026-08-05 16:14 by xmuxiaoyu
[考博] 【2027博士申请】纳米药物递送方向 20+3 13586093586 2026-08-03 4/200 2026-08-05 09:59 by lfy8008
[基金申请] 有没有H口的?有收到消息的吗? +3 超级海虾 2026-08-04 3/150 2026-08-04 17:26 by 学教育滴
[论文投稿] 十年后又回来了,论文投稿求助 +3 哈哈114477 2026-08-01 3/150 2026-08-04 15:40 by tegsgjy20
[基金申请] 纯娱乐,不喜欢勿喷 +7 Tide man 2026-08-04 10/500 2026-08-04 15:10 by loufangrui
[基金申请] 面上提前没消息,有中的吗 +14 archvillain 2026-08-02 18/900 2026-08-04 14:42 by archvillain
[基金申请] 娱乐 +4 Tide man 2026-08-03 4/200 2026-08-04 11:51 by wgch518
[基金申请] 什么时候能放榜呀? +3 Jacob678 2026-08-03 3/150 2026-08-03 16:14 by gltch
信息提示
请填处理意见