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cdutnjut1

银虫 (小有名气)

引用回帖:
11楼: Originally posted by foxs2 at 2012-03-30 21:24:32
我实验室经常用溅射镀铝,一分钟就可以镀40nm。

什么参数啊?
31楼2012-12-26 22:21:49
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cdutnjut1

银虫 (小有名气)

引用回帖:
16楼: Originally posted by foxs2 at 2012-04-01 21:41:58
800w都镀过,不会伤靶材。平时最常用的是500W和700W,镀出来的膜很结实。...

不会吧,你那靶材面积很大吧?有介绍金属的溅射功率不超过25w/cm2,实验室小型的靶材,应该用不到那么大的功率吧
32楼2012-12-26 22:23:58
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cdutnjut1

银虫 (小有名气)

引用回帖:
23楼: Originally posted by xpengpengx at 2012-12-15 22:05:09
据你所说镀上去应该的是氧化铝,其实铝的生长速率是很快的, 一般是一分钟30~50nm的样子。我看了下本帖的回复,差不多原因都说出来了。最关键的就是两点:一、真空至少要抽到5*10-4Pa;二、功率要大,超过350W(很多 ...

那是靶材面积很大吧?有介绍金属的溅射功率不超过25w/cm2,实验室小型的靶材,应该用不到那么大的功率吧
33楼2012-12-26 22:26:36
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xpengpengx

铜虫 (小有名气)

引用回帖:
33楼: Originally posted by cdutnjut1 at 2012-12-26 22:26:36
那是靶材面积很大吧?有介绍金属的溅射功率不超过25w/cm2,实验室小型的靶材,应该用不到那么大的功率吧...

我也是实验在做  功率350W的样子   你做出来了没?那你就用功率25w/cm2试试
欢迎MO-TFT的虫友一起交流
34楼2012-12-27 17:50:57
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cdutnjut1

银虫 (小有名气)

引用回帖:
34楼: Originally posted by xpengpengx at 2012-12-27 17:50:57
我也是实验在做  功率350W的样子   你做出来了没?那你就用功率25w/cm2试试...

你350W做出来了么?用的什么参数啊?我用的小功率,小压强的都没做出来
35楼2012-12-27 22:16:05
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qitian1

捐助贵宾 (正式写手)

引用回帖:
10楼: Originally posted by foxs2 at 2012-03-30 21:20:55
功率太小了,把功率加到400-500W再说。

这是工业上的做法吧,这么高,针对大靶材?有介绍说靶材最高不超过25w/cm2,忘了是直流还是射频了。直流应该更合适吧?
36楼2012-12-27 23:45:40
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qitian1

捐助贵宾 (正式写手)

引用回帖:
11楼: Originally posted by foxs2 at 2012-03-30 21:24:32
我实验室经常用溅射镀铝,一分钟就可以镀40nm。

什么参数呀?
37楼2012-12-27 23:46:06
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qitian1

捐助贵宾 (正式写手)

引用回帖:
16楼: Originally posted by foxs2 at 2012-04-01 21:41:58
800w都镀过,不会伤靶材。平时最常用的是500W和700W,镀出来的膜很结实。...

直流吧?靶材很大吧,
38楼2012-12-27 23:47:48
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xpengpengx

铜虫 (小有名气)

引用回帖:
35楼: Originally posted by cdutnjut1 at 2012-12-27 22:16:05
你350W做出来了么?用的什么参数啊?我用的小功率,小压强的都没做出来...

做出来了啊  铝的生长速率很快的,一般30-50nm/min的样子   用直流做  压强影响不是太大,本底真空的影响比较大,所以真空尽量抽久点
欢迎MO-TFT的虫友一起交流
39楼2012-12-28 12:07:05
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weirensi

至尊木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

你的参数没问题啊,我用的也是射频源,功率200W左右,时间起辉颜色也类似,投影的区域能看到吗?看不到说明Ar可能确实需要多一些。我用的压强稍微大些,在几Pa左右。你试试增大Ar流量看看吧。
我倒是没有镀不上的情况,不过,高温下镀铝确实发现过表面氧化发蓝的情况,室温下则是正常的银色。
40楼2013-01-06 17:15:34
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