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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 磁控溅射 镀铝
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caiyazhi

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

铝靶材表面有很厚的氧化层，在小功率范围内是无法击穿表层获得新鲜的铝表面的，所以溅射出来基本上是类氧化铝，解决办法：关闭射频，直接用/中频/直流强电流（10A~20A)击穿起辉后再开挡板，开射频镀膜
单纯增加射频功率没有用的.    或者在靶接上高容电容，放电击穿也可以（较危险不建议）
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浮躁的社会更需要冷静
51楼2013-01-29 10:18:20
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ccmasyz

新虫 (初入文坛)
我们也做抽真空 你是不是炉腔不干净啊
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52楼2013-10-24 10:05:05
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心情且留住

金虫 (正式写手)
引用回帖:
11楼: Originally posted by foxs2 at 2012-03-30 21:24:32
我实验室经常用溅射镀铝，一分钟就可以镀40nm。

不知道大神的溅射条件是多少？（比如真空度，溅射功率等）
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53楼2013-10-30 16:48:03
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研诺信诚

新虫 (初入文坛)
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54楼2015-07-02 11:41:33
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强大狮子座

新虫 (初入文坛)
应该可以啊，我和你的工艺参数几乎一样，起辉也很不错，镀出来是银色的，就只有点薄，在微米级
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55楼2015-07-15 09:44:24
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