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caiyazhi

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

铝靶材表面有很厚的氧化层,在小功率范围内是无法击穿表层获得新鲜的铝表面的,所以溅射出来基本上是类氧化铝,解决办法:关闭射频,直接用/中频/直流强电流(10A~20A)击穿起辉后再开挡板,开射频镀膜
单纯增加射频功率没有用的.    或者在靶接上高容电容,放电击穿也可以(较危险不建议)
浮躁的社会更需要冷静
51楼2013-01-29 10:18:20
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ccmasyz

新虫 (初入文坛)

我们也做抽真空 你是不是炉腔不干净啊
52楼2013-10-24 10:05:05
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心情且留住

金虫 (正式写手)

引用回帖:
11楼: Originally posted by foxs2 at 2012-03-30 21:24:32
我实验室经常用溅射镀铝,一分钟就可以镀40nm。

不知道大神的溅射条件是多少?(比如真空度,溅射功率等)
53楼2013-10-30 16:48:03
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研诺信诚

新虫 (初入文坛)

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54楼2015-07-02 11:41:33
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强大狮子座

新虫 (初入文坛)

应该可以啊,我和你的工艺参数几乎一样,起辉也很不错,镀出来是银色的,就只有点薄,在微米级
55楼2015-07-15 09:44:24
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