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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 磁控溅射 镀铝
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qitian1

铁虫 (正式写手)
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39楼: Originally posted by xpengpengx at 2012-12-28 12:07:05
做出来了啊  铝的生长速率很快的，一般30-50nm/min的样子   用直流做  压强影响不是太大，本底真空的影响比较大，所以真空尽量抽久点...

基底要加热么？
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41楼2013-01-11 12:20:37
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qitian1

铁虫 (正式写手)
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40楼: Originally posted by weirensi at 2013-01-06 17:15:34
你的参数没问题啊，我用的也是射频源，功率200W左右，时间起辉颜色也类似，投影的区域能看到吗？看不到说明Ar可能确实需要多一些。我用的压强稍微大些，在几Pa左右。你试试增大Ar流量看看吧。
我倒是没有镀不上的情 ...

基底要加热么？
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42楼2013-01-11 12:20:58
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xpengpengx

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

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41楼: Originally posted by qitian1 at 2013-01-11 12:20:37
基底要加热么？...

不需要的 我做的时候没加热，前两天又重新校正了下生长速率，35nm/min左右的样子
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43楼2013-01-12 08:48:18
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qitian1

铁虫 (正式写手)
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43楼: Originally posted by xpengpengx at 2013-01-12 08:48:18
不需要的 我做的时候没加热，前两天又重新校正了下生长速率，35nm/min左右的样子...

多远间隔？我的7~10cm,1Pa,20SCCM,本底5*e-4,300W半小时没反应啊？紫红辉光.什么情况啊？
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44楼2013-01-12 14:48:26
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xpengpengx

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

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44楼: Originally posted by qitian1 at 2013-01-12 14:48:26
多远间隔？我的7~10cm,1Pa,20SCCM,本底5*e-4,300W半小时没反应啊？紫红辉光.什么情况啊？...

根据你的描述，间隔没问题，辉光颜色不正常，你用的直流还是射频？紫红光可能还是腔体里氧含量过高，可以将真空再抽低点功率加到350W 400W的样子试试，如果辉光还是紫红就很可能是设备漏气（当然是微量漏气，否则你真空度是抽不下去的）
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45楼2013-01-13 08:45:03
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qitian1

铁虫 (正式写手)
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45楼: Originally posted by xpengpengx at 2013-01-13 08:45:03
根据你的描述，间隔没问题，辉光颜色不正常，你用的直流还是射频？紫红光可能还是腔体里氧含量过高，可以将真空再抽低点功率加到350W 400W的样子试试，如果辉光还是紫红就很可能是设备漏气（当然是微量漏气，否则你 ...

微量氧存在就意味着镀不上去啊？你的本底一般是多少啊？另外正常辉光是什么颜色呢？（铝，Ar）
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46楼2013-01-13 13:40:39
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qitian1

铁虫 (正式写手)
引用回帖:
45楼: Originally posted by xpengpengx at 2013-01-13 08:45:03
根据你的描述，间隔没问题，辉光颜色不正常，你用的直流还是射频？紫红光可能还是腔体里氧含量过高，可以将真空再抽低点功率加到350W 400W的样子试试，如果辉光还是紫红就很可能是设备漏气（当然是微量漏气，否则你 ...

用的是射频的，直流也用过，貌似颜色都那样啊
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47楼2013-01-13 13:42:03
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xpengpengx

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

引用回帖:
47楼: Originally posted by qitian1 at 2013-01-13 13:42:03
用的是射频的，直流也用过，貌似颜色都那样啊...

我用直流做的。本底真空要求至少在5*10-4Pa,但实际上做的时候一般是4*10-4Pa,在抽真空的前期过程中会对腔体内进行热烘…… ，辉光放电颜色比较白（和日光灯的颜色差不多） 另外，有微量氧存在不会说镀不上去，只是说生长速率很慢，镀的是氧化铝罢了    Q:675211197   还有问题加我Q一起讨论
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48楼2013-01-14 08:39:05
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zvs1988

铁杆木虫 (著名写手)

BOSS

【答案】应助回帖

你确定要在玻璃上镀膜吗？请把玻璃洗干净  如果溅射不上就先镀层金属膜  可以换衬底试试   另外溅射气压选5mtorr就行
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何必看破
49楼2013-01-17 16:52:23
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yj656

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

楼主，我遇到过和你一样的情况，怎么加功率都镀不上铝，镀其他金属正常，后来发现是磁钢退磁了，重新更换磁钢问题解决。
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50楼2013-01-17 17:02:42
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