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qitian1

捐助贵宾 (正式写手)

引用回帖:
39楼: Originally posted by xpengpengx at 2012-12-28 12:07:05
做出来了啊  铝的生长速率很快的,一般30-50nm/min的样子   用直流做  压强影响不是太大,本底真空的影响比较大,所以真空尽量抽久点...

基底要加热么?
41楼2013-01-11 12:20:37
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qitian1

捐助贵宾 (正式写手)

引用回帖:
40楼: Originally posted by weirensi at 2013-01-06 17:15:34
你的参数没问题啊,我用的也是射频源,功率200W左右,时间起辉颜色也类似,投影的区域能看到吗?看不到说明Ar可能确实需要多一些。我用的压强稍微大些,在几Pa左右。你试试增大Ar流量看看吧。
我倒是没有镀不上的情 ...

基底要加热么?
42楼2013-01-11 12:20:58
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xpengpengx

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

引用回帖:
41楼: Originally posted by qitian1 at 2013-01-11 12:20:37
基底要加热么?...

不需要的 我做的时候没加热,前两天又重新校正了下生长速率,35nm/min左右的样子
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43楼2013-01-12 08:48:18
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qitian1

捐助贵宾 (正式写手)

引用回帖:
43楼: Originally posted by xpengpengx at 2013-01-12 08:48:18
不需要的 我做的时候没加热,前两天又重新校正了下生长速率,35nm/min左右的样子...

多远间隔?我的7~10cm,1Pa,20SCCM,本底5*e-4,300W半小时没反应啊?紫红辉光.什么情况啊?
44楼2013-01-12 14:48:26
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xpengpengx

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

引用回帖:
44楼: Originally posted by qitian1 at 2013-01-12 14:48:26
多远间隔?我的7~10cm,1Pa,20SCCM,本底5*e-4,300W半小时没反应啊?紫红辉光.什么情况啊?...

根据你的描述,间隔没问题,辉光颜色不正常,你用的直流还是射频?紫红光可能还是腔体里氧含量过高,可以将真空再抽低点功率加到350W 400W的样子试试,如果辉光还是紫红就很可能是设备漏气(当然是微量漏气,否则你真空度是抽不下去的)
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45楼2013-01-13 08:45:03
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qitian1

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45楼: Originally posted by xpengpengx at 2013-01-13 08:45:03
根据你的描述,间隔没问题,辉光颜色不正常,你用的直流还是射频?紫红光可能还是腔体里氧含量过高,可以将真空再抽低点功率加到350W 400W的样子试试,如果辉光还是紫红就很可能是设备漏气(当然是微量漏气,否则你 ...

微量氧存在就意味着镀不上去啊?你的本底一般是多少啊?另外正常辉光是什么颜色呢?(铝,Ar)
46楼2013-01-13 13:40:39
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qitian1

捐助贵宾 (正式写手)

引用回帖:
45楼: Originally posted by xpengpengx at 2013-01-13 08:45:03
根据你的描述,间隔没问题,辉光颜色不正常,你用的直流还是射频?紫红光可能还是腔体里氧含量过高,可以将真空再抽低点功率加到350W 400W的样子试试,如果辉光还是紫红就很可能是设备漏气(当然是微量漏气,否则你 ...

用的是射频的,直流也用过,貌似颜色都那样啊
47楼2013-01-13 13:42:03
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xpengpengx

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

引用回帖:
47楼: Originally posted by qitian1 at 2013-01-13 13:42:03
用的是射频的,直流也用过,貌似颜色都那样啊...

我用直流做的。本底真空要求至少在5*10-4Pa,但实际上做的时候一般是4*10-4Pa,在抽真空的前期过程中会对腔体内进行热烘…… ,辉光放电颜色比较白(和日光灯的颜色差不多) 另外,有微量氧存在不会说镀不上去,只是说生长速率很慢,镀的是氧化铝罢了    Q:675211197   还有问题加我Q一起讨论
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48楼2013-01-14 08:39:05
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zvs1988

铁杆木虫 (著名写手)

BOSS

【答案】应助回帖

你确定要在玻璃上镀膜吗?请把玻璃洗干净  如果溅射不上就先镀层金属膜  可以换衬底试试   另外溅射气压选5mtorr就行
何必看破
49楼2013-01-17 16:52:23
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yj656

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

楼主,我遇到过和你一样的情况,怎么加功率都镀不上铝,镀其他金属正常,后来发现是磁钢退磁了,重新更换磁钢问题解决。
50楼2013-01-17 17:02:42
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