应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 磁控溅射 镀铝
552/6返回列表上一页123456下一页
查看: 5690  |  回复: 54
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

foxs2

木虫 (文坛精英)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
lcycomcn: 金币+5 2012-04-01 14:22:07
我实验室经常用溅射镀铝，一分钟就可以镀40nm。
赞一下 回复此楼
11楼2012-03-30 21:24:32
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

dreamchinaster

木虫 (著名写手)
★
qiqiqiqi: 金币+1, 回答的很充分 鼓励积极回贴 希望继续支持此版 2012-04-02 09:51:50
引用回帖:
5楼: Originally posted by lcycomcn at 2012-03-30 09:40:15:
用的99.99%的铝靶，本体真空10-4，工作真空1.5pa。

铝的纯度可以

真空的偏大，但刚刚能镀，要想出镜面银的效果建议再多抽真空

我们正常生产10 -5

一般抽真空时间较长，另外放真空时间也比较长

真正溅射或蒸镀时间很短的
正常生产过程大约500-1000m/min
国内部分设备在40-100m/min

技术较好的是日本真空
你可以查查他们的资料，或咨询他们相关技术人员，因为日本真空主要以卖设备赚钱
赞一下 回复此楼

» 本帖已获得的红花（最新10朵）

lcycomcn
12楼2012-03-30 22:36:58
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

huhuhuhu

铁杆木虫 (著名写手)

大师兄

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
lcycomcn: 金币+5, ★有帮助, 功率小会被氧化吗？ 2012-04-01 14:23:25
看样子被是被氧化掉了，可能是功率不够的原因吧
赞一下 回复此楼
13楼2012-03-31 09:10:30
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

matt_josie

银虫 (小有名气)
引用回帖:
10楼: Originally posted by foxs2 at 2012-03-30 21:20:55:
功率太小了，把功率加到400-500W再说。

400w不会把靶材打穿嘛？
赞一下 回复此楼
14楼2012-03-31 10:13:11
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

lcycomcn

铁杆木虫 (著名写手)

千年虫
送鲜花一朵
引用回帖:
12楼: Originally posted by dreamchinaster at 2012-03-30 22:36:58:
铝的纯度可以

真空的偏大，但刚刚能镀，要想出镜面银的效果建议再多抽真空

我们正常生产10 -5

一般抽真空时间较长，另外放真空时间也比较长

真正溅射或蒸镀时间很短的
正常生产过程大约500-1000m/ ...

谢谢！
回复此楼
宁静以致远
15楼2012-04-01 14:23:01
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

foxs2

木虫 (文坛精英)

【答案】应助回帖

引用回帖:
14楼: Originally posted by matt_josie at 2012-03-31 10:13:11:
400w不会把靶材打穿嘛？

800w都镀过，不会伤靶材。平时最常用的是500W和700W，镀出来的膜很结实。
赞一下 回复此楼
16楼2012-04-01 21:41:58
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

小-四川

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

我觉得蓝色可能是由于膜厚不均匀或铝被氧化造成的
赞一下 回复此楼
17楼2012-06-25 11:24:02
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

caiyazhi

金虫 (小有名气)
4H时间够长了，跟功率没有关系，建议测量厚度后再分析，如果没有厚度，这个蓝色只是光学效果而已，不然就是杂气的氧化，还有出炉之前降温的保护.
赞一下 回复此楼
浮躁的社会更需要冷静
18楼2012-09-06 10:34:03
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

99xiaohong

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

注意一下你的铝掺杂的浓度，还有溅射过程中的氧氩比，这对成膜有一定的影响。
赞一下 回复此楼
每一天都进步一些；对待生活再从容、淡定一些！！
19楼2012-09-06 16:04:08
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

HHBWF

禁虫 (小有名气)
本帖内容被屏蔽
20楼2012-09-06 21:27:38
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 lcycomcn 的主题更新
552/6返回列表上一页123456下一页
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.54,科目全,可伽急 +4 23jxep3nCNZb 2026-09-14 4/200 2026-09-16 20:50 by MHf40yA0Uhyb
[考研] 售SCI一区文章，我:8O5.5.1.O5.4,科目全,可伽急 +3 23jxep3nCNZb 2026-09-14 3/150 2026-09-16 20:50 by MHf40yA0Uhyb
[博后之家] 售SCI文章，我:8O5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +5 s3fFTmArrBt6 2026-09-14 7/350 2026-09-16 19:27 by rRvxEj3zorCy
[公派出国] 售SCI一区T0P文章，我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急 +8 QUjhNVAcOSff 2026-09-13 11/550 2026-09-16 18:37 by rRvxEj3zorCy
[博后之家] 售SCI一区文章，我:8O5.5.1.O5.4,科目全,可伽急 +4 s3fFTmArrBt6 2026-09-13 5/250 2026-09-16 16:12 by i3KBRD19ERkG
[找工作] 售SCI一区文章，我:8O5.5.1.O5.4,科目全,可伽急 +7 3n8v2C8RimXI 2026-09-13 7/350 2026-09-16 15:12 by i3KBRD19ERkG
[考博] 售SCI文章，我:8O5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +7 QUjhNVAcOSff 2026-09-13 7/350 2026-09-16 14:36 by i3KBRD19ERkG
[考博] 上海工程技术大学激光智能制造课题组招收博士研究生 +8 两三岁ss 2026-09-14 8/400 2026-09-16 09:46 by 水士口
[博后之家] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急 +3 vZfe6xYu34yj 2026-09-14 3/150 2026-09-16 08:51 by SjQobnC04j06
[找工作] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 Aj1rhIDL5ixY 2026-09-14 3/150 2026-09-16 07:12 by LH5NkK5Ud4bh
[硕博家园] 售一区SCI文章T0P，我:8O.551.O54,科目全,可十急 +3 0pYnUiPDfdnk 2026-09-14 3/150 2026-09-16 06:51 by LH5NkK5Ud4bh
[找工作] 售SCI一区文章，我:8.O.551.O.5.4,科目全,可伽急 +3 6F5UbRU2I5hL 2026-09-14 3/150 2026-09-16 05:15 by LH5NkK5Ud4bh
[硕博家园] 售SCI一区文章，我:8O5.5.1.O5.4,科目全,可伽急 +5 s3fFTmArrBt6 2026-09-13 7/350 2026-09-16 03:26 by DgNGHc3h5tPl
[找工作] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可+急 +4 LwdutQ8HoqWP 2026-09-13 4/200 2026-09-16 03:23 by DgNGHc3h5tPl
[考研] 售SCI一区T0P文章，我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急 +3 Aj1rhIDL5ixY 2026-09-14 3/150 2026-09-15 20:14 by zNcEhTcH7ihq
[考研] 售SCI一区文章，我:8O5.5.1.O5.4,科目全,可伽急 +3 0pYnUiPDfdnk 2026-09-14 3/150 2026-09-15 19:35 by CgyNCDVNhGVg
[找工作] 售SCI一区文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可伽急 +3 23jxep3nCNZb 2026-09-14 3/150 2026-09-15 18:47 by CgyNCDVNhGVg
[教师之家] 售SCI-T0P文章，我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 6F5UbRU2I5hL 2026-09-14 3/150 2026-09-15 08:26 by C79jjtjAKjEn
[教师之家] 售SCI一区文章，我:8.O.551.O.5.4,科目全,可伽急 +4 s3fFTmArrBt6 2026-09-13 4/200 2026-09-15 07:02 by 5BDX0d0WFp7t
[教师之家] 售SCI一区文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可伽急 +4 s3fFTmArrBt6 2026-09-13 4/200 2026-09-15 06:50 by 5BDX0d0WFp7t
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭