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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 磁控溅射 镀铝
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foxs2

木虫 (文坛精英)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
lcycomcn: 金币+5 2012-04-01 14:22:07
我实验室经常用溅射镀铝，一分钟就可以镀40nm。
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11楼2012-03-30 21:24:32
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dreamchinaster

木虫 (著名写手)
★
qiqiqiqi: 金币+1, 回答的很充分 鼓励积极回贴 希望继续支持此版 2012-04-02 09:51:50
引用回帖:
5楼: Originally posted by lcycomcn at 2012-03-30 09:40:15:
用的99.99%的铝靶，本体真空10-4，工作真空1.5pa。

铝的纯度可以

真空的偏大，但刚刚能镀，要想出镜面银的效果建议再多抽真空

我们正常生产10 -5

一般抽真空时间较长，另外放真空时间也比较长

真正溅射或蒸镀时间很短的
正常生产过程大约500-1000m/min
国内部分设备在40-100m/min

技术较好的是日本真空
你可以查查他们的资料，或咨询他们相关技术人员，因为日本真空主要以卖设备赚钱
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» 本帖已获得的红花（最新10朵）

lcycomcn
12楼2012-03-30 22:36:58
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huhuhuhu

铁杆木虫 (著名写手)

大师兄

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
lcycomcn: 金币+5, ★有帮助, 功率小会被氧化吗？ 2012-04-01 14:23:25
看样子被是被氧化掉了，可能是功率不够的原因吧
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13楼2012-03-31 09:10:30
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matt_josie

银虫 (小有名气)
引用回帖:
10楼: Originally posted by foxs2 at 2012-03-30 21:20:55:
功率太小了，把功率加到400-500W再说。

400w不会把靶材打穿嘛？
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14楼2012-03-31 10:13:11
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lcycomcn

铁杆木虫 (著名写手)

千年虫
送鲜花一朵
引用回帖:
12楼: Originally posted by dreamchinaster at 2012-03-30 22:36:58:
铝的纯度可以

真空的偏大，但刚刚能镀，要想出镜面银的效果建议再多抽真空

我们正常生产10 -5

一般抽真空时间较长，另外放真空时间也比较长

真正溅射或蒸镀时间很短的
正常生产过程大约500-1000m/ ...

谢谢！
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宁静以致远
15楼2012-04-01 14:23:01
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foxs2

木虫 (文坛精英)

【答案】应助回帖

引用回帖:
14楼: Originally posted by matt_josie at 2012-03-31 10:13:11:
400w不会把靶材打穿嘛？

800w都镀过，不会伤靶材。平时最常用的是500W和700W，镀出来的膜很结实。
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16楼2012-04-01 21:41:58
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小-四川

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

我觉得蓝色可能是由于膜厚不均匀或铝被氧化造成的
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17楼2012-06-25 11:24:02
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caiyazhi

金虫 (小有名气)
4H时间够长了，跟功率没有关系，建议测量厚度后再分析，如果没有厚度，这个蓝色只是光学效果而已，不然就是杂气的氧化，还有出炉之前降温的保护.
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浮躁的社会更需要冷静
18楼2012-09-06 10:34:03
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99xiaohong

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

注意一下你的铝掺杂的浓度，还有溅射过程中的氧氩比，这对成膜有一定的影响。
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每一天都进步一些；对待生活再从容、淡定一些！！
19楼2012-09-06 16:04:08
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HHBWF

禁虫 (小有名气)
本帖内容被屏蔽
20楼2012-09-06 21:27:38
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