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磁控溅射 镀铝
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| 请问高手，我用射频、直流两种磁控溅射的方法在载玻片上镀铝，溅射的压强为1.5pa或0.5pa，溅射的功率从50w、100w、150w、200w，靶和基片的距离5cm。溅射时间40分钟以上。分别做了近10次试验，每次都能正常起辉，颜色为紫色，偏红。可就是镀不上，载玻片上只能可能到很薄的蓝色的膜，铝膜应该是银色的吧？请问高手有什么解决办法？各位有什么经验传授一下啊！万分感激! |
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4楼2012-03-30 08:26:03
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