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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 磁控溅射 镀铝
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lcycomcn

铁杆木虫 (著名写手)

千年虫

[求助] 磁控溅射 镀铝

请问高手，我用射频、直流两种磁控溅射的方法在载玻片上镀铝，溅射的压强为1.5pa或0.5pa，溅射的功率从50w、100w、150w、200w，靶和基片的距离5cm。溅射时间40分钟以上。分别做了近10次试验，每次都能正常起辉，颜色为紫色，偏红。可就是镀不上，载玻片上只能可能到很薄的蓝色的膜，铝膜应该是银色的吧？请问高手有什么解决办法？各位有什么经验传授一下啊！万分感激!
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宁静以致远
1楼 2012-03-29 16:13:59
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ying0413

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
lcycomcn: 金币+5, ★有帮助 2012-03-30 09:44:21
腔室一定要干净，有很大的关系
赞一下 回复此楼
4楼2012-03-30 08:26:03
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查看全部 55 个回答

dreamchinaster

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
lcycomcn: 金币+5, ★有帮助, 谢谢 2012-03-30 09:39:13
你用抽真空么？
真空度是多少？
你选用的靶材是什么
你选用的铝丝纯度是多少？
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2楼2012-03-29 21:12:01
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qiqiqiqi

至尊木虫 (知名作家)

小木虫发型设计师

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
蒋青松: 金币+3, 鼓励参与 2012-03-30 08:11:23
lcycomcn: 金币+10, ★★★很有帮助, 谢谢！ 2012-03-30 09:40:56
楼主 我也镀过Al 也失败了 镀完之后就是不导电
后来分析了下可能有以下的原因：
1 条件不成熟，因为是第一次做，所以在条件上没有把握好，不知楼主何条件？
2 真空度不够：我们就抽到10的负4次方，里面有大量的O，致使镀的不是Al 而是AlO
3 也可能是镀完后马上停实验，使Al马上被氧化
希望以上可以帮助到楼主
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http://edu.emuch.net/attachment/b0/a6/664055_1294967861_445.gif
3楼2012-03-29 21:17:55
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lcycomcn

铁杆木虫 (著名写手)

千年虫
引用回帖:
2楼: Originally posted by dreamchinaster at 2012-03-29 21:12:01:
你用抽真空么？
真空度是多少？
你选用的靶材是什么
你选用的铝丝纯度是多少？

用的99.99%的铝靶，本体真空10-4，工作真空1.5pa。
赞一下 回复此楼
宁静以致远
5楼2012-03-30 09:40:15
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