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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 磁控溅射 镀铝
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anyupenglilin

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

挡板没打开也是可能的
我想应该是工作气压不对，1.5Pa太高了，我的工作电压都在0.3-0.7pa之间，另外就是和靶的距离太近了，调远3cm试试。
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21楼2012-09-07 09:51:30
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xlys-forever

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

不一定是溅射功率的问题。
我觉得你的溅射压力有些高了，可以试试把溅射气压调低一些看看。
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22楼2012-09-14 17:08:13
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xpengpengx

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

据你所说镀上去应该的是氧化铝，其实铝的生长速率是很快的， 一般是一分钟30~50nm的样子。我看了下本帖的回复，差不多原因都说出来了。最关键的就是两点：一、真空至少要抽到5*10-4Pa；二、功率要大，超过350W（很多厂家用500W甚至更高），功率低了不行。你再试试看，做到上面两点应该就能镀上去了。
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欢迎MO-TFT的虫友一起交流
23楼2012-12-15 22:05:09
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螃蟹LP

铜虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

靶材表面氧化层去除了没？可以连续镀几片看看。
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24楼2012-12-17 14:17:32
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lilongyuok

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

看样子是被氧化了
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do your best
25楼2012-12-19 16:44:09
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wajn2012

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

我的钛铝硅靶材也镀不上，愁死了
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26楼2012-12-20 09:09:04
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wtwang0817

新虫 (小有名气)
这个应该是功率太小了吧，建议将功率调到400w左右，再试试，我们实验室一般使用的参数和你的差不过，溅射后只要几分钟就可以看见金属色了。祝你好运。
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27楼2012-12-24 13:44:48
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钦点木瓜

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

和功率没什么关系，我认为应该是和溅射腔室太脏了有关。还有，溅射气压在1.5可能偏高了。本底真空可以再低点。
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用绳命来搞科研
28楼2012-12-24 16:48:20
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wwnjit

铁杆木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

出现蓝色膜和我之前做的氧化铝的膜较为接近，本底真空一定要到10的-4次方，要检查一下看看磁控溅射是不是漏气。
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29楼2012-12-25 20:49:59
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cdutnjut1

银虫 (小有名气)
引用回帖:
10楼: Originally posted by foxs2 at 2012-03-30 21:20:55
功率太小了，把功率加到400-500W再说。

你那是工业上的做法吧，实验室一般几百纳米就够了，功率那么大（相对而言），膜的均匀性等怎么样啊？
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30楼2012-12-26 22:21:06
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