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[交流]
在反应磁控溅射中，如何计算混合气体中的气体偏压？
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| 在反应磁控溅射中，靶材为金属锌靶材，溅射气体为氧气和氩气。已知氧气和氩气的通入流量分别为a和b （sccm），溅射过程中总气压为1Pa，那么溅射过程中氧偏压是多少，如何计算。 |
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烦躁
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2楼2013-06-26 15:18:32
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