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yshit

木虫 (小有名气)


[交流] 在反应磁控溅射中,如何计算混合气体中的气体偏压?

在反应磁控溅射中,靶材为金属锌靶材,溅射气体为氧气和氩气。已知氧气和氩气的通入流量分别为a和b (sccm),溅射过程中总气压为1Pa,那么溅射过程中氧偏压是多少,如何计算。
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我是一笼包子

金虫 (正式写手)



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一定要考虑氧偏压么?我们一般是考虑氧气的含量 用百分比表示
2楼2013-06-26 15:18:32
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yshit

木虫 (小有名气)


引用回帖:
2楼: Originally posted by 我是一笼包子 at 2013-06-26 15:18:32
一定要考虑氧偏压么?我们一般是考虑氧气的含量 用百分比表示

那怎么计算反应过程中的百分比?
3楼2013-06-26 19:47:59
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我是一笼包子

金虫 (正式写手)



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引用回帖:
3楼: Originally posted by yshit at 2013-06-26 19:47:59
那怎么计算反应过程中的百分比?...

你的意思是通入气体能从SCCM比例中得到,但是溅射反应之后是比例是什么样的结果不知道 ,想要求这个结果, 是么?
4楼2013-06-26 20:54:38
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yshit

木虫 (小有名气)


引用回帖:
4楼: Originally posted by 我是一笼包子 at 2013-06-26 20:54:38
你的意思是通入气体能从SCCM比例中得到,但是溅射反应之后是比例是什么样的结果不知道 ,想要求这个结果, 是么?...

对,就是求溅射反应之后的比例。
5楼2013-06-27 10:26:53
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我是一笼包子

金虫 (正式写手)


★ ★ ★ ★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
yshit: 金币+5, 谢谢你的建议。 2013-06-27 14:17:56
引用回帖:
5楼: Originally posted by yshit at 2013-06-27 10:26:53
对,就是求溅射反应之后的比例。...

我感觉难度比较大,除非你收集抽出来的空气,然后区测试成分,也许可以
6楼2013-06-27 13:05:16
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wswsjz

木虫 (职业作家)


★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
yshit: 金币+1 2013-06-27 14:19:27
Happy everyday
7楼2013-06-27 14:15:12
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简单回复
2013-06-27 14:17   回复  
yshit: 金币+1 2013-06-27 14:19:36
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