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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 基础研究 » 什么叫偏压溅射？如何对基底加偏压？
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regina-xiu

金虫 (小有名气)

[求助] 什么叫偏压溅射？如何对基底加偏压？

刚开始做磁控溅射，很多问题不太明白，望高人指教！
什么叫偏压溅射？有什么好处？如何用射频电源给基底施加偏压？（最好能说详细一些）对仪器有什么要求么？先谢谢各位大虾了~~~
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1楼 2012-10-16 21:14:24
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回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

匿名

用户注销 (小有名气)
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8楼2013-03-09 11:01:28
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spyan581

木虫 (著名写手)

欣星赏月

【答案】应助回帖

为了方便控制相对电压，靶材、衬底和接触阳极（即真空室）的电位分别设置，形成了靶材、衬底、等离子体电位。偏压溅射是在溅射装置上，衬底和接触阳极（即真空室）的电位差。形成衬底与等离子体之间一定大小的 偏置电压，用来吸引控制等离子体中一部分离子，并对离子作用一定的能量冲流向衬底，能较好地根据需要改变入射到衬底表面的带电粒子的数量和能量， 达到改善薄膜微观组织与性能的目。
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与君共学共进
9楼2013-04-12 09:38:08
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普通回帖

regina-xiu

金虫 (小有名气)
木人理我？
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2楼2012-10-17 10:51:16
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famingzi

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-10-18 08:04:59
偏压就是对溅射出的粒子额外加一个电场来把低能量的粒子筛选出去。加了偏压后薄膜结合个更好，密度更大！
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3楼2012-10-17 17:22:35
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regina-xiu

金虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by famingzi at 2012-10-17 17:22:35
偏压就是对溅射出的粒子额外加一个电场来把低能量的粒子筛选出去。加了偏压后薄膜结合个更好，密度更大！

那怎么加偏压呢？我看文献上说可以用射频电源，但我不太知道具体怎么操作。。。
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4楼2012-10-17 17:36:21
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anyupenglilin

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-10-19 07:50:38
偏压是有单独的偏压电源的，你提到的射频电源应该是给靶供电的。这是两个不同的电源。
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» 本帖已获得的红花（最新10朵）

regina-xiu
5楼2012-10-18 08:03:27
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regina-xiu

金虫 (小有名气)
送鲜花一朵
引用回帖:
5楼: Originally posted by anyupenglilin at 2012-10-18 08:03:27
偏压是有单独的偏压电源的，你提到的射频电源应该是给靶供电的。这是两个不同的电源。

哦，这样啊，谢谢你啦~~~
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6楼2012-10-18 08:28:55
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famingzi

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by regina-xiu at 2012-10-17 17:36:21
那怎么加偏压呢？我看文献上说可以用射频电源，但我不太知道具体怎么操作。。。...

在基台接一个与沉积电源方向相反的电压就可以了
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7楼2012-10-18 16:25:08
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spyan581

木虫 (著名写手)

欣星赏月

【答案】应助回帖

有机会到西安理工大学磁控溅射实验室或南京工业大学表面实验室参观一下就明白了。
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与君共学共进
10楼2013-04-12 09:43:05
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