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regina-xiu金虫 (小有名气)
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什么叫偏压溅射？如何对基底加偏压？
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刚开始做磁控溅射，很多问题不太明白，望高人指教！ 什么叫偏压溅射？有什么好处？如何用射频电源给基底施加偏压？（最好能说详细一些）对仪器有什么要求么？先谢谢各位大虾了~~~  |
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spyan581
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【答案】应助回帖
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| 偏压是有单独的偏压电源的，你提到的射频电源应该是给靶供电的。这是两个不同的电源。 |
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regina-xiu5楼2012-10-18 08:03:27