应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 基础研究 » 什么叫偏压溅射？如何对基底加偏压？
51/1返回列表
查看: 4270  |  回复: 11
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

regina-xiu

金虫 (小有名气)

[求助] 什么叫偏压溅射？如何对基底加偏压？

刚开始做磁控溅射，很多问题不太明白，望高人指教！
什么叫偏压溅射？有什么好处？如何用射频电源给基底施加偏压？（最好能说详细一些）对仪器有什么要求么？先谢谢各位大虾了~~~
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

研究生

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
1楼 2012-10-16 21:14:24
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

spyan581

木虫 (著名写手)

欣星赏月

【答案】应助回帖

为了方便控制相对电压，靶材、衬底和接触阳极（即真空室）的电位分别设置，形成了靶材、衬底、等离子体电位。偏压溅射是在溅射装置上，衬底和接触阳极（即真空室）的电位差。形成衬底与等离子体之间一定大小的 偏置电压，用来吸引控制等离子体中一部分离子，并对离子作用一定的能量冲流向衬底，能较好地根据需要改变入射到衬底表面的带电粒子的数量和能量， 达到改善薄膜微观组织与性能的目。
赞一下(1人) 回复此楼
与君共学共进
9楼2013-04-12 09:38:08
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 12 个回答

famingzi

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-10-18 08:04:59
偏压就是对溅射出的粒子额外加一个电场来把低能量的粒子筛选出去。加了偏压后薄膜结合个更好，密度更大！
赞一下 回复此楼
3楼2012-10-17 17:22:35
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

regina-xiu

金虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by famingzi at 2012-10-17 17:22:35
偏压就是对溅射出的粒子额外加一个电场来把低能量的粒子筛选出去。加了偏压后薄膜结合个更好，密度更大！

那怎么加偏压呢？我看文献上说可以用射频电源，但我不太知道具体怎么操作。。。
赞一下 回复此楼
4楼2012-10-17 17:36:21
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

anyupenglilin

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-10-19 07:50:38
偏压是有单独的偏压电源的，你提到的射频电源应该是给靶供电的。这是两个不同的电源。
赞一下 回复此楼

» 本帖已获得的红花（最新10朵）

regina-xiu
5楼2012-10-18 08:03:27
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 12 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[硕博家园] 极限拉扯，如何抉择 +11 Isak0320 2026-10-12 15/750 2026-10-14 21:55 by 猫鱼不是鱼
[基金申请] 申请科研项目纯靠实力能成功吗？ 200+5 David1982 2026-10-13 8/400 2026-10-14 21:38 by lhw_GPA4.0
[硕博家园] 中科院海洋所招收海洋材料相关领域博士研究生及研究助理 +3 sujiner 2026-10-08 4/200 2026-10-14 20:40 by qicaiyun
[职场人生] 40+中年人失业后，还能找到好工作吗？ +3 xqy2009 2026-10-13 3/150 2026-10-14 20:17 by 43358052
[论文投稿] 二审4个多月了还是Awaiting Reviewer Scores 10+3 纳斯达克ML 2026-10-11 4/200 2026-10-14 17:30 by babero
[有机交流] OpenAI又攻克数学难题了，离AI做有机合成还有多远？ +8 wangyl_123 2026-10-10 13/650 2026-10-14 15:12 by zuesli
[教师之家] 课题组会帮你通过考核么？ +4 好运来～9527 2026-10-10 7/350 2026-10-13 08:41 by xli1984
[基金申请] 入职后第一次管课题组的专利缴费，对账才发现官费比别人多掏了一倍 +6 13108017953 2026-10-08 6/300 2026-10-12 20:07 by w3w3y3
[公派出国] 售一区SCI文章T0P，我:8O.551.O54,科目全,可十急 +5 qR2AdCWTVtkw 2026-10-09 9/450 2026-10-11 22:34 by XQNyDCa1Tk5n
[找工作] 售SCI一区T0P文章，我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急 +5 qR2AdCWTVtkw 2026-10-09 8/400 2026-10-11 22:26 by XQNyDCa1Tk5n
[考博] 售SCI一区T0P文章，我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急 +5 qR2AdCWTVtkw 2026-10-09 9/450 2026-10-11 22:15 by XQNyDCa1Tk5n
[考博] 售SCI一区文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可伽急 +3 qR2AdCWTVtkw 2026-10-09 7/350 2026-10-11 22:11 by XQNyDCa1Tk5n
[教师之家] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急 (EPI+-1)(金币-50) +5 qR2AdCWTVtkw 2026-10-09 10/500 2026-10-11 14:25 by VOMexwnDzOFZ
[教师之家] 售SCI文章，我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急 (EPI+-1)(金币-50) +4 qR2AdCWTVtkw 2026-10-09 7/350 2026-10-11 14:05 by VOMexwnDzOFZ
[硕博家园] 售SCI-T0P文章，我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +5 qR2AdCWTVtkw 2026-10-09 8/400 2026-10-11 13:45 by VOMexwnDzOFZ
[找工作] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +3 qR2AdCWTVtkw 2026-10-09 7/350 2026-10-11 10:54 by VOMexwnDzOFZ
[找工作] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +4 qR2AdCWTVtkw 2026-10-09 7/350 2026-10-11 10:34 by VOMexwnDzOFZ
[考博] 招收博士生一名 +3 mandolin 2026-10-10 3/150 2026-10-11 10:21 by 不是山谷！
[公派出国] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.54,科目全,可伽急 +4 qR2AdCWTVtkw 2026-10-09 4/200 2026-10-11 03:14 by M0zrYVSAnxpE
[有机交流] 各位大佬，路线设计求助 +6 zapen 2026-10-08 8/400 2026-10-10 15:59 by zapen
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭