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zhl028铁杆木虫 (小有名气)
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[交流]
【交流】咨询磁控溅射负偏压问题 已有5人参与
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关于镀膜电源的疑惑： 磁控溅射靶电源正极接地，负极接靶材，而工件负偏压也是正极接地。这两种负偏压之间是否产生场强？两者之间有什么相互联系？ [ Last edited by xucz on 2011-4-23 at 23:21 ] |
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