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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 金属 » 基础研究 » 【交流】咨询磁控溅射负偏压问题
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zhl028

铁杆木虫 (小有名气)

[交流] 【交流】咨询磁控溅射负偏压问题 已有5人参与

关于镀膜电源的疑惑：
磁控溅射靶电源正极接地，负极接靶材，而工件负偏压也是正极接地。这两种负偏压之间是否产生场强？两者之间有什么相互联系？

[ Last edited by xucz on 2011-4-23 at 23:21 ]
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呵呵

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1楼 2010-09-15 19:00:29
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tutudou99

木虫 (正式写手)
能在你那儿做溅射吗？
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2楼2010-10-04 22:17:57
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chuhanqi

新虫 (小有名气)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
这个还真没想过，我们实验室也有台磁控溅射设备，你那什么型号的？
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3楼2010-10-08 18:18:04
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zhl028

铁杆木虫 (小有名气)
引用回帖:
Originally posted by tutudou99 at 2010-10-04 22:17:57:
能在你那儿做溅射吗？

可以啊，但是这边要收费的。两三千一炉
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4楼2010-10-10 12:36:24
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陈银

木虫 (著名写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
电源电压是为了是使通入Ar电离产生Ar离子。靶材的是为了辉光放电。两负电压也使Ar离子得到很高的速度。。。。呵呵。。。猜的哈。仅供参考
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5楼2010-12-11 22:42:51
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wydmhy

至尊木虫 (职业作家)

这个问题问得好

★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
这个问题问得好，以前还真没认真想过
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6楼2010-12-16 15:50:12
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