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zhl028

铁杆木虫 (小有名气)

[交流] 【交流】咨询磁控溅射负偏压问题 已有5人参与

关于镀膜电源的疑惑:
磁控溅射靶电源正极接地,负极接靶材,而工件负偏压也是正极接地。这两种负偏压之间是否产生场强?两者之间有什么相互联系?

[ Last edited by xucz on 2011-4-23 at 23:21 ]
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tutudou99

木虫 (正式写手)

能在你那儿做溅射吗?
2楼2010-10-04 22:17:57
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chuhanqi

新虫 (小有名气)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
这个还真没想过,我们实验室也有台磁控溅射设备,你那什么型号的?
3楼2010-10-08 18:18:04
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zhl028

铁杆木虫 (小有名气)

引用回帖:
Originally posted by tutudou99 at 2010-10-04 22:17:57:
能在你那儿做溅射吗?

可以啊,但是这边要收费的。两三千一炉
4楼2010-10-10 12:36:24
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陈银

木虫 (著名写手)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
电源电压是为了是使通入Ar电离产生Ar离子。靶材的是为了辉光放电。两负电压也使Ar离子得到很高的速度。。。。呵呵。。。猜的哈。仅供参考
5楼2010-12-11 22:42:51
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wydmhy

至尊木虫 (职业作家)

这个问题问得好


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
这个问题问得好,以前还真没认真想过
6楼2010-12-16 15:50:12
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