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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 基础研究 » 什么叫偏压溅射？如何对基底加偏压？
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yfang61

禁虫 (初入文坛)
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11楼2013-07-15 18:11:49
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xxk追梦人

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
8楼: Originally posted by wu/chaoyy at 2013-03-09 11:01:28
偏压溅射是在一般溅射装置的基础上，将衬底的电位与接触阳极（即真空室）的电位分开设置， 在衬底与等离子体之间有目的地施加一定大小的 偏置电压，吸引一部分离子流向衬底，用改变入射到衬底表面的带电粒子的数量和 ...

请问如果溅射时靶材上加的负偏压功率在200W左右，那衬底上的偏压加多少合适呢？
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12楼2014-01-09 11:16:42
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