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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 在反应磁控溅射中，如何计算混合气体中的气体偏压？
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yshit

木虫 (小有名气)

[交流] 在反应磁控溅射中，如何计算混合气体中的气体偏压？

在反应磁控溅射中，靶材为金属锌靶材，溅射气体为氧气和氩气。已知氧气和氩气的通入流量分别为a和b （sccm），溅射过程中总气压为1Pa，那么溅射过程中氧偏压是多少，如何计算。
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1楼 2013-06-24 15:48:01
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yshit

木虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by 我是一笼包子 at 2013-06-26 20:54:38
你的意思是通入气体能从SCCM比例中得到，但是溅射反应之后是比例是什么样的结果不知道 ，想要求这个结果， 是么？...

对，就是求溅射反应之后的比例。
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5楼2013-06-27 10:26:53
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我是一笼包子

金虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
一定要考虑氧偏压么？我们一般是考虑氧气的含量 用百分比表示
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2楼2013-06-26 15:18:32
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yshit

木虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 我是一笼包子 at 2013-06-26 15:18:32
一定要考虑氧偏压么？我们一般是考虑氧气的含量 用百分比表示

那怎么计算反应过程中的百分比？
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3楼2013-06-26 19:47:59
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我是一笼包子

金虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
3楼: Originally posted by yshit at 2013-06-26 19:47:59
那怎么计算反应过程中的百分比？...

你的意思是通入气体能从SCCM比例中得到，但是溅射反应之后是比例是什么样的结果不知道 ，想要求这个结果， 是么？
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4楼2013-06-26 20:54:38
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