应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 在反应磁控溅射中，如何计算混合气体中的气体偏压？
51/1返回列表
查看: 1515  |  回复: 7
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

yshit

木虫 (小有名气)

[交流] 在反应磁控溅射中，如何计算混合气体中的气体偏压？

在反应磁控溅射中，靶材为金属锌靶材，溅射气体为氧气和氩气。已知氧气和氩气的通入流量分别为a和b （sccm），溅射过程中总气压为1Pa，那么溅射过程中氧偏压是多少，如何计算。
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:

» 抢金币啦！回帖就可以得到:

查看全部散金贴
1楼 2013-06-24 15:48:01
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yshit

木虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by 我是一笼包子 at 2013-06-26 20:54:38
你的意思是通入气体能从SCCM比例中得到，但是溅射反应之后是比例是什么样的结果不知道 ，想要求这个结果， 是么？...

对，就是求溅射反应之后的比例。
赞一下 回复此楼
5楼2013-06-27 10:26:53
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 8 个回答

我是一笼包子

金虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
一定要考虑氧偏压么？我们一般是考虑氧气的含量 用百分比表示
赞一下 回复此楼
2楼2013-06-26 15:18:32
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yshit

木虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 我是一笼包子 at 2013-06-26 15:18:32
一定要考虑氧偏压么？我们一般是考虑氧气的含量 用百分比表示

那怎么计算反应过程中的百分比？
赞一下 回复此楼
3楼2013-06-26 19:47:59
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

我是一笼包子

金虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
3楼: Originally posted by yshit at 2013-06-26 19:47:59
那怎么计算反应过程中的百分比？...

你的意思是通入气体能从SCCM比例中得到，但是溅射反应之后是比例是什么样的结果不知道 ，想要求这个结果， 是么？
赞一下 回复此楼
4楼2013-06-26 20:54:38
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 8 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭