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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 磁性材料 » 磁控溅射高真空抽不下去
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wcl871234

新虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射高真空抽不下去

我用的沈科仪的磁控溅射系统，换靶后刚开始真空抽的挺快，但抽到2-3乘以十的负四时就抽不下去了，我们平常很容易的就能抽到5-6乘以十的负五次的，现在试了几次都抽不下去，各位大侠觉得可能是什么原因？望多多给建议
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1楼 2012-10-08 10:33:06
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nanodot

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-10-09 07:53:42
可能你换靶的时候真空腔有点潮湿，没有烘干。这机器用久了就只能抽到这个程度了。
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2楼2012-10-08 10:45:44
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wcl871234

新虫 (初入文坛)
感觉很突然，原来很容易能抽下去的，所以我觉得正常的话应该能抽下去，如果是腔潮湿的话自然晾干能行吗？烘不太方便
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3楼2012-10-08 10:54:34
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zwy198759

新虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-10-09 07:53:13
你能抽到这么高的真空，就绝对不会是漏气的原因。
你换靶材的时候，应该是要对真空腔和靶进行清洗，估计是真空腔里面有水气。
还有就是真空腔暴露在大气环境下的时间太长了，抽的慢是正常的，你可以通点氮气进去。或者你打开真空腔用电吹风吹下。
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4楼2012-10-08 12:10:11
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王令111

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流,可以给些建议哈，或是一些措施 2012-10-09 07:54:13
十的负4，很高了，，负-5的话可能需要很长时间，可能也与机子老化了有关
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活着的意义
5楼2012-10-08 12:24:39
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Smallpeng

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-10-09 07:54:21
负4已经很好了，可能就是腔体进水分了，按上面说的烘下试试
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勇敢自信踏实，科研其实和生活是一样一样的
6楼2012-10-08 17:07:31
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sunny_911

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-10-09 07:53:25
wcl871234: 金币+10, ★★★很有帮助 2012-10-09 20:52:20
呵呵～ 我觉得有以下几种可能：1是有潮气导致的真空抽不下去；2是你镀的金属层在镀膜室内沉积过久，镀层厚了容易有孔隙积累气体和潮气，所以需要定期清理；3是有漏气的地方，你可以抽到-4级别然后关闭真空系统和阀门，计算漏率；或者用专门的检测真空漏气的仪器来检测；4是真空设备可能有问题了，如果你用扩散泵的话，是不是扩散泵问题，或者用分子泵的话看是不是分子泵问题。
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7楼2012-10-08 22:57:57
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sunny_911

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-10-10 07:49:36
还有啊，平时你用完之后是否都抽真空将真空室保护起来？？
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8楼2012-10-08 23:02:54
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wcl871234

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
8楼: Originally posted by sunny_911 at 2012-10-08 23:02:54
还有啊，平时你用完之后是否都抽真空将真空室保护起来？？

恩！都抽呢！
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9楼2012-10-09 20:50:03
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wcl871234

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
6楼: Originally posted by Smallpeng at 2012-10-08 17:07:31
负4已经很好了，可能就是腔体进水分了，按上面说的烘下试试

恩！
10楼2012-10-09 20:53:17
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