| 查看: 2335 | 回复: 12 | ||
[求助]
磁控溅射高真空抽不下去
|
| 我用的沈科仪的磁控溅射系统，换靶后刚开始真空抽的挺快，但抽到2-3乘以十的负四时就抽不下去了，我们平常很容易的就能抽到5-6乘以十的负五次的，现在试了几次都抽不下去，各位大侠觉得可能是什么原因？望多多给建议 |
回复此楼» 猜你喜欢
考研调剂
已经有5人回复
-
267一志愿南京工业大学0817化工求调剂
已经有6人回复
-
293求调剂
已经有4人回复
-
285化工学硕求调剂（081700）
已经有7人回复
-
302求调剂
已经有8人回复
-
08工科 320总分 求调剂
已经有3人回复
-
290求调剂
已经有9人回复
-
271求调剂
已经有13人回复
-
本人考085602 化学工程 专硕
已经有16人回复
-
304求调剂
已经有7人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 磁控溅射&离子溅射
已经有11人回复
- 磁控溅射 镀铝
已经有54人回复
- 反应磁控溅射自偏压太高是问什么？
已经有5人回复
- 磁控溅射ZnO薄膜 真空室污染严重 壁上和底部有好多红蓝条纹
已经有15人回复
- 磁控溅射镀ZnO，大家真空度一般抽到多少？
已经有18人回复
- 请教一下做磁控溅射镀膜的时候，氩气，氧气，氮气电离得时候分别是什么颜色？
已经有22人回复
- 做磁控溅射的朋友请进
已经有10人回复
- 磁控溅射分子泵升不上转问题
已经有7人回复
- 【求助】请教磁控溅射金属膜问题
已经有23人回复
- 【求助】为什么磁控溅射装备以前能起辉而现在不能起辉
已经有12人回复
- 【求助】磁控溅射偏压为什么加不上
已经有12人回复
2楼2012-10-08 10:45:44
3楼2012-10-08 10:54:34
4楼2012-10-08 12:10:11
王令111
木虫 (正式写手)
- 应助: 8 (幼儿园)
- 金币: 1939.5
- 红花: 1
- 帖子: 954
- 在线: 188.9小时
- 虫号: 854610
- 注册: 2009-09-23
- 性别: GG
- 专业: 金属功能材料
5楼2012-10-08 12:24:39
Smallpeng
木虫 (正式写手)
- 应助: 38 (小学生)
- 金币: 3378.7
- 散金: 303
- 红花: 2
- 帖子: 982
- 在线: 701.7小时
- 虫号: 754345
- 注册: 2009-04-21
- 性别: GG
- 专业: 金属功能材料
6楼2012-10-08 17:07:31
【答案】应助回帖
★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-10-09 07:53:25
wcl871234: 金币+10, ★★★很有帮助 2012-10-09 20:52:20
感谢参与，应助指数 +1
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-10-09 07:53:25
wcl871234: 金币+10, ★★★很有帮助 2012-10-09 20:52:20
| 呵呵～ 我觉得有以下几种可能：1是有潮气导致的真空抽不下去；2是你镀的金属层在镀膜室内沉积过久，镀层厚了容易有孔隙积累气体和潮气，所以需要定期清理；3是有漏气的地方，你可以抽到-4级别然后关闭真空系统和阀门，计算漏率；或者用专门的检测真空漏气的仪器来检测；4是真空设备可能有问题了，如果你用扩散泵的话，是不是扩散泵问题，或者用分子泵的话看是不是分子泵问题。 |
7楼2012-10-08 22:57:57
8楼2012-10-08 23:02:54
9楼2012-10-09 20:50:03
|
恩！ |
10楼2012-10-09 20:53:17
20