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wcl871234

新虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射高真空抽不下去

我用的沈科仪的磁控溅射系统,换靶后刚开始真空抽的挺快,但抽到2-3乘以十的负四时就抽不下去了,我们平常很容易的就能抽到5-6乘以十的负五次的,现在试了几次都抽不下去,各位大侠觉得可能是什么原因?望多多给建议
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wcl871234

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
6楼: Originally posted by Smallpeng at 2012-10-08 17:07:31
负4已经很好了,可能就是腔体进水分了,按上面说的烘下试试

恩!
10楼2012-10-09 20:53:17
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查看全部 13 个回答

nanodot

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖


感谢参与,应助指数 +1
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-10-09 07:53:42
可能你换靶的时候真空腔有点潮湿,没有烘干。这机器用久了就只能抽到这个程度了。
2楼2012-10-08 10:45:44
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wcl871234

新虫 (初入文坛)

感觉很突然,原来很容易能抽下去的,所以我觉得正常的话应该能抽下去,如果是腔潮湿的话自然晾干能行吗?烘不太方便
3楼2012-10-08 10:54:34
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zwy198759

新虫 (正式写手)

【答案】应助回帖


感谢参与,应助指数 +1
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-10-09 07:53:13
你能抽到这么高的真空,就绝对不会是漏气的原因。
你换靶材的时候,应该是要对真空腔和靶进行清洗,估计是真空腔里面有水气。
还有就是真空腔暴露在大气环境下的时间太长了,抽的慢是正常的,你可以通点氮气进去。或者你打开真空腔用电吹风吹下。
4楼2012-10-08 12:10:11
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