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磁控溅射高真空抽不下去
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| 我用的沈科仪的磁控溅射系统,换靶后刚开始真空抽的挺快,但抽到2-3乘以十的负四时就抽不下去了,我们平常很容易的就能抽到5-6乘以十的负五次的,现在试了几次都抽不下去,各位大侠觉得可能是什么原因?望多多给建议 |
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王令111
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