24小时热门版块排行榜

返回列表

当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

wcl871234

新虫 (初入文坛)

应助: 0 (幼儿园)
金币: 1298
帖子: 42
在线: 20.5小时
虫号: 1148446
注册: 2010-11-16
专业: 金属功能材料

[求助] 磁控溅射高真空抽不下去

我用的沈科仪的磁控溅射系统，换靶后刚开始真空抽的挺快，但抽到2-3乘以十的负四时就抽不下去了，我们平常很容易的就能抽到5-6乘以十的负五次的，现在试了几次都抽不下去，各位大侠觉得可能是什么原因？望多多给建议

回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:

磁控溅射&离子溅射已经有11人回复
磁控溅射镀铝已经有54人回复
反应磁控溅射自偏压太高是问什么？已经有5人回复
磁控溅射ZnO薄膜真空室污染严重壁上和底部有好多红蓝条纹已经有15人回复
磁控溅射镀ZnO，大家真空度一般抽到多少？已经有18人回复
请教一下做磁控溅射镀膜的时候，氩气，氧气，氮气电离得时候分别是什么颜色？已经有22人回复
做磁控溅射的朋友请进已经有10人回复
磁控溅射分子泵升不上转问题已经有7人回复
【求助】请教磁控溅射金属膜问题已经有23人回复
【求助】为什么磁控溅射装备以前能起辉而现在不能起辉已经有12人回复
【求助】磁控溅射偏压为什么加不上已经有12人回复

1楼 2012-10-08 10:33:06

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

sunny_911

新虫 (初入文坛)

应助: 1 (幼儿园)
金币: 2.5
帖子: 16
在线: 7.2小时
虫号: 1900738
注册: 2012-07-19
性别: GG
专业: 金属功能材料

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-10-09 07:53:25
wcl871234: 金币+10, ★★★很有帮助 2012-10-09 20:52:20

呵呵～我觉得有以下几种可能：1是有潮气导致的真空抽不下去；2是你镀的金属层在镀膜室内沉积过久，镀层厚了容易有孔隙积累气体和潮气，所以需要定期清理；3是有漏气的地方，你可以抽到-4级别然后关闭真空系统和阀门，计算漏率；或者用专门的检测真空漏气的仪器来检测；4是真空设备可能有问题了，如果你用扩散泵的话，是不是扩散泵问题，或者用分子泵的话看是不是分子泵问题。