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磁控溅射高真空抽不下去
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| 我用的沈科仪的磁控溅射系统，换靶后刚开始真空抽的挺快，但抽到2-3乘以十的负四时就抽不下去了，我们平常很容易的就能抽到5-6乘以十的负五次的，现在试了几次都抽不下去，各位大侠觉得可能是什么原因？望多多给建议 |
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【答案】应助回帖
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感谢参与，应助指数 +1
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-10-09 07:53:25
wcl871234: 金币+10, ★★★很有帮助 2012-10-09 20:52:20
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| 呵呵～ 我觉得有以下几种可能：1是有潮气导致的真空抽不下去；2是你镀的金属层在镀膜室内沉积过久，镀层厚了容易有孔隙积累气体和潮气，所以需要定期清理；3是有漏气的地方，你可以抽到-4级别然后关闭真空系统和阀门，计算漏率；或者用专门的检测真空漏气的仪器来检测；4是真空设备可能有问题了，如果你用扩散泵的话，是不是扩散泵问题，或者用分子泵的话看是不是分子泵问题。 |
7楼2012-10-08 22:57:57
2楼2012-10-08 10:45:44
3楼2012-10-08 10:54:34
4楼2012-10-08 12:10:11
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