磁控溅射高真空抽不下去 - 功能材料 - 磁性材料 - 第2页小木虫论坛-学术科研互动平台

登录注册

24小时热门版块排行榜

新虫 (初入文坛)

★ ★
蒋青松: 金币+2, 恭喜问题已经绝，欢迎以后继续光顾本版。 2012-10-11 07:56:20

感谢各位的支持与帮助，现在已经抽下去了，不是漏气原因，是我们新换的靶材的问题

11楼2012-10-10 20:24:46

银虫 (小有名气)

引用回帖:

10楼: Originally posted by wcl871234 at 2012-10-09 20:53:17
恩！...

你的设备精抽用的是啥泵啊？如果是扩散泵的话，我估计是扩散泵油用的时间太长啦！应该适时的全面换下油！

我就是我，颜色不一样的烟火

12楼2014-03-13 22:09:12

新虫 (初入文坛)

引用回帖:

11楼: Originally posted by wcl871234 at 2012-10-10 20:24:46
感谢各位的支持与帮助，现在已经抽下去了，不是漏气原因，是我们新换的靶材的问题

楼主您好，因为我们现在真空也抽不下去，看到你说是新换的靶材的问题，所以想问下为什么靶材影响了真空，我也看看是不是我刚换的靶也有问题，谢谢楼主！

13楼2015-08-05 08:51:55

相关版块跳转我要订阅楼主 wcl871234 的主题更新