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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 磁性材料 » 磁控溅射高真空抽不下去
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wcl871234

新虫 (初入文坛)
★ ★
蒋青松: 金币+2, 恭喜问题已经绝，欢迎以后继续光顾本版。 2012-10-11 07:56:20
感谢各位的支持与帮助，现在已经抽下去了，不是漏气原因，是我们新换的靶材的问题
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11楼2012-10-10 20:24:46
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迫不得已

银虫 (小有名气)
引用回帖:
10楼: Originally posted by wcl871234 at 2012-10-09 20:53:17
恩！...

你的设备精抽用的是啥泵啊？如果是扩散泵的话，我估计是扩散泵油用的时间太长啦！应该适时的全面换下油！
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我就是我，颜色不一样的烟火
12楼2014-03-13 22:09:12
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sharpaywang

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
11楼: Originally posted by wcl871234 at 2012-10-10 20:24:46
感谢各位的支持与帮助，现在已经抽下去了，不是漏气原因，是我们新换的靶材的问题

楼主您好，因为我们现在真空也抽不下去，看到你说是新换的靶材的问题，所以想问下为什么靶材影响了真空，我也看看是不是我刚换的靶也有问题，谢谢楼主！
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13楼2015-08-05 08:51:55
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