应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 磁性材料 » 磁控溅射高真空抽不下去
52/1返回列表
查看: 2308  |  回复: 12
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

wcl871234

新虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射高真空抽不下去

我用的沈科仪的磁控溅射系统，换靶后刚开始真空抽的挺快，但抽到2-3乘以十的负四时就抽不下去了，我们平常很容易的就能抽到5-6乘以十的负五次的，现在试了几次都抽不下去，各位大侠觉得可能是什么原因？望多多给建议
回复此楼

» 猜你喜欢
1楼 2012-10-08 10:33:06
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

sharpaywang

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
11楼: Originally posted by wcl871234 at 2012-10-10 20:24:46
感谢各位的支持与帮助，现在已经抽下去了，不是漏气原因，是我们新换的靶材的问题

楼主您好，因为我们现在真空也抽不下去，看到你说是新换的靶材的问题，所以想问下为什么靶材影响了真空，我也看看是不是我刚换的靶也有问题，谢谢楼主！
赞一下 回复此楼
13楼2015-08-05 08:51:55
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 13 个回答

nanodot

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-10-09 07:53:42
可能你换靶的时候真空腔有点潮湿，没有烘干。这机器用久了就只能抽到这个程度了。
赞一下 回复此楼
2楼2012-10-08 10:45:44
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wcl871234

新虫 (初入文坛)
感觉很突然，原来很容易能抽下去的，所以我觉得正常的话应该能抽下去，如果是腔潮湿的话自然晾干能行吗？烘不太方便
赞一下 回复此楼
3楼2012-10-08 10:54:34
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zwy198759

新虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-10-09 07:53:13
你能抽到这么高的真空，就绝对不会是漏气的原因。
你换靶材的时候，应该是要对真空腔和靶进行清洗，估计是真空腔里面有水气。
还有就是真空腔暴露在大气环境下的时间太长了，抽的慢是正常的，你可以通点氮气进去。或者你打开真空腔用电吹风吹下。
赞一下 回复此楼
4楼2012-10-08 12:10:11
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 13 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭