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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 磁性材料 » 磁控溅射高真空抽不下去
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wcl871234

新虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射高真空抽不下去

我用的沈科仪的磁控溅射系统，换靶后刚开始真空抽的挺快，但抽到2-3乘以十的负四时就抽不下去了，我们平常很容易的就能抽到5-6乘以十的负五次的，现在试了几次都抽不下去，各位大侠觉得可能是什么原因？望多多给建议
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1楼 2012-10-08 10:33:06
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sharpaywang

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
11楼: Originally posted by wcl871234 at 2012-10-10 20:24:46
感谢各位的支持与帮助，现在已经抽下去了，不是漏气原因，是我们新换的靶材的问题

楼主您好，因为我们现在真空也抽不下去，看到你说是新换的靶材的问题，所以想问下为什么靶材影响了真空，我也看看是不是我刚换的靶也有问题，谢谢楼主！
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13楼2015-08-05 08:51:55
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nanodot

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-10-09 07:53:42
可能你换靶的时候真空腔有点潮湿，没有烘干。这机器用久了就只能抽到这个程度了。
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2楼2012-10-08 10:45:44
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wcl871234

新虫 (初入文坛)
感觉很突然，原来很容易能抽下去的，所以我觉得正常的话应该能抽下去，如果是腔潮湿的话自然晾干能行吗？烘不太方便
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3楼2012-10-08 10:54:34
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zwy198759

新虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-10-09 07:53:13
你能抽到这么高的真空，就绝对不会是漏气的原因。
你换靶材的时候，应该是要对真空腔和靶进行清洗，估计是真空腔里面有水气。
还有就是真空腔暴露在大气环境下的时间太长了，抽的慢是正常的，你可以通点氮气进去。或者你打开真空腔用电吹风吹下。
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4楼2012-10-08 12:10:11
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