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handanfxp银虫 (初入文坛)
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磁控溅射分子泵升不上转问题 已有7人参与
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| 我是做磁控溅射的，采用分子泵对腔室进行抽气，今天早起过来开机进行抽气的时候，先打开机械泵和电磁阀，然后观察真空度，真空度在7Pa。然后我打开分子泵开始升转，在分子泵升到130转的时候，我开始打开高阀抽气，一切正常，我就出去了，就我刚出去，就听到一声很响的怪声，过去一看，正空度开始往上升，并且分子泵报警，显示OL2过流保护。然后我就等了一段时间，重新给分子泵升转，发现，升到172转的时候，分子泵 还是报警OL2.大家帮忙分析一下出什么问题了啊，会不会是分子泵的叶片碎了啊， |
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