| 查看: 2800 | 回复: 7 | |||
handanfxp银虫 (初入文坛)
|
[交流]
磁控溅射分子泵升不上转问题 已有7人参与
|
| 我是做磁控溅射的，采用分子泵对腔室进行抽气，今天早起过来开机进行抽气的时候，先打开机械泵和电磁阀，然后观察真空度，真空度在7Pa。然后我打开分子泵开始升转，在分子泵升到130转的时候，我开始打开高阀抽气，一切正常，我就出去了，就我刚出去，就听到一声很响的怪声，过去一看，正空度开始往上升，并且分子泵报警，显示OL2过流保护。然后我就等了一段时间，重新给分子泵升转，发现，升到172转的时候，分子泵 还是报警OL2.大家帮忙分析一下出什么问题了啊，会不会是分子泵的叶片碎了啊， |
回复此楼» 本帖已获得的红花（最新10朵）
2008100266» 猜你喜欢
论文终于录用啦！满足毕业条件了
已经有21人回复
-
不自信的我
已经有5人回复
-
磺酰氟产物，毕不了业了！
已经有4人回复
-
投稿Elsevier的杂志（返修），总是在选择OA和subscription界面被踢皮球
已经有8人回复
» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 磁控溅射做薄膜失败了吗
已经有21人回复
- 求助：磁控溅射镀金属膜，镀不上去
已经有4人回复
- 【请教】请教，关于Ar磁控溅射的溅射效率问题
已经有4人回复
- 【求助】请教磁控溅射金属膜问题
已经有23人回复
- 磁控溅射射频功率源的问题
已经有4人回复
- 【求助】磁控溅射时的基板问题
已经有4人回复
- 【求助】求助：磁控溅射问题
已经有20人回复
68377605
木虫 (正式写手)
- 应助: 1 (幼儿园)
- 金币: 1813.8
- 散金: 100
- 红花: 1
- 帖子: 550
- 在线: 136.7小时
- 虫号: 728039
- 注册: 2009-03-21
- 性别: GG
- 专业: 凝聚态物性 II ：电子结构
2楼2011-05-14 19:48:16
huangjiangta
银虫 (小有名气)
- 应助: 2 (幼儿园)
- 金币: 132.3
- 散金: 24
- 红花: 3
- 帖子: 248
- 在线: 68.1小时
- 虫号: 916260
- 注册: 2009-11-29
- 专业: 金属材料表面科学与工程
3楼2011-05-22 12:07:38
zhilihu
木虫 (职业作家)
- 应助: 40 (小学生)
- 金币: 2492.7
- 散金: 1485
- 红花: 7
- 帖子: 3700
- 在线: 463.1小时
- 虫号: 1228410
- 注册: 2011-03-10
- 性别: GG
- 专业: 机械结构强度学
4楼2011-08-02 10:51:44
flashxu0119
至尊木虫 (著名写手)
- 应助: 10 (幼儿园)
- 金币: 15161.3
- 散金: 168
- 红花: 2
- 帖子: 2969
- 在线: 342.2小时
- 虫号: 465080
- 注册: 2007-11-22
- 性别: GG
- 专业: 凝聚态物性 II ：电子结构
5楼2012-04-18 15:02:42
2008100266
木虫 (正式写手)
- 应助: 4 (幼儿园)
- 金币: 4286
- 散金: 33
- 红花: 25
- 帖子: 786
- 在线: 191.3小时
- 虫号: 761478
- 注册: 2009-05-01
- 性别: GG
- 专业: 金属结构材料
6楼2012-11-14 18:25:01
gxbaimaomao
铜虫 (初入文坛)
- 应助: 1 (幼儿园)
- 金币: 15.8
- 帖子: 46
- 在线: 133.4小时
- 虫号: 2227211
- 注册: 2013-01-07
- 性别: GG
- 专业: 凝聚态物性 II ：电子结构
7楼2014-09-30 16:36:07
metaliium
银虫 (正式写手)
- 应助: 69 (初中生)
- 金币: 2368.1
- 散金: 25
- 红花: 12
- 帖子: 439
- 在线: 118.4小时
- 虫号: 1916175
- 注册: 2012-07-30
- 专业: 凝聚态物性 II ：电子结构
8楼2014-10-01 06:57:41