| 查看: 2914 | 回复: 7 | |||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | |||
handanfxp银虫 (初入文坛)
|
[交流]
磁控溅射分子泵升不上转问题 已有7人参与
|
||
| 我是做磁控溅射的，采用分子泵对腔室进行抽气，今天早起过来开机进行抽气的时候，先打开机械泵和电磁阀，然后观察真空度，真空度在7Pa。然后我打开分子泵开始升转，在分子泵升到130转的时候，我开始打开高阀抽气，一切正常，我就出去了，就我刚出去，就听到一声很响的怪声，过去一看，正空度开始往上升，并且分子泵报警，显示OL2过流保护。然后我就等了一段时间，重新给分子泵升转，发现，升到172转的时候，分子泵 还是报警OL2.大家帮忙分析一下出什么问题了啊，会不会是分子泵的叶片碎了啊， |
回复此楼» 本帖已获得的红花（最新10朵）
2008100266» 猜你喜欢
307分材料专业求调剂
已经有6人回复
-
材料专硕283求调剂
已经有14人回复
-
327求调剂
已经有3人回复
-
计算机11408，286分求调剂
已经有6人回复
-
材料调剂
已经有14人回复
-
一志愿南昌大学，085600，344分求调剂
已经有3人回复
-
考研调剂生寻找导师
已经有3人回复
-
材料0856 英一数二 323 求调剂
已经有14人回复
-
308求调剂
已经有5人回复
-
化学0703-一志愿211-338分求调剂
已经有7人回复
» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 磁控溅射做薄膜失败了吗
已经有21人回复
- 求助：磁控溅射镀金属膜，镀不上去
已经有4人回复
- 【请教】请教，关于Ar磁控溅射的溅射效率问题
已经有4人回复
- 【求助】请教磁控溅射金属膜问题
已经有23人回复
- 磁控溅射射频功率源的问题
已经有4人回复
- 【求助】磁控溅射时的基板问题
已经有4人回复
- 【求助】求助：磁控溅射问题
已经有20人回复
huangjiangta
银虫 (小有名气)
- 应助: 2 (幼儿园)
- 金币: 132.3
- 散金: 24
- 红花: 3
- 帖子: 248
- 在线: 68.1小时
- 虫号: 916260
- 注册: 2009-11-29
- 专业: 金属材料表面科学与工程
3楼2011-05-22 12:07:38
68377605
木虫 (正式写手)
- 应助: 1 (幼儿园)
- 金币: 1813.8
- 散金: 100
- 红花: 1
- 帖子: 550
- 在线: 136.7小时
- 虫号: 728039
- 注册: 2009-03-21
- 性别: GG
- 专业: 凝聚态物性 II ：电子结构
2楼2011-05-14 19:48:16
zhilihu
木虫 (职业作家)
- 应助: 40 (小学生)
- 金币: 2492.7
- 散金: 1485
- 红花: 7
- 帖子: 3700
- 在线: 463.1小时
- 虫号: 1228410
- 注册: 2011-03-10
- 性别: GG
- 专业: 机械结构强度学
4楼2011-08-02 10:51:44
flashxu0119
至尊木虫 (著名写手)
- 应助: 10 (幼儿园)
- 金币: 15161.3
- 散金: 168
- 红花: 2
- 帖子: 2969
- 在线: 342.2小时
- 虫号: 465080
- 注册: 2007-11-22
- 性别: GG
- 专业: 凝聚态物性 II ：电子结构
5楼2012-04-18 15:02:42
