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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 磁控溅射分子泵升不上转问题
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handanfxp

银虫 (初入文坛)

[交流] 磁控溅射分子泵升不上转问题 已有7人参与

我是做磁控溅射的，采用分子泵对腔室进行抽气，今天早起过来开机进行抽气的时候，先打开机械泵和电磁阀，然后观察真空度，真空度在7Pa。然后我打开分子泵开始升转，在分子泵升到130转的时候，我开始打开高阀抽气，一切正常，我就出去了，就我刚出去，就听到一声很响的怪声，过去一看，正空度开始往上升，并且分子泵报警，显示OL2过流保护。然后我就等了一段时间，重新给分子泵升转，发现，升到172转的时候，分子泵 还是报警OL2.大家帮忙分析一下出什么问题了啊，会不会是分子泵的叶片碎了啊，
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2008100266

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一定会成功的
1楼 2011-05-13 12:37:32
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68377605

木虫 (正式写手)
★
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其实像这种问题是拿不出台面在这里公开讨论的，除非你的镀膜机是大工厂（莱宝，光驰，新科隆，依维柯等等）的，有固定的型号和系统的配置。
建议楼主联系厂家，或者自己拿出镀膜机的设计图纸和操作说明，认真阅读，仔细思考，找出问题所在。
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2楼2011-05-14 19:48:16
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huangjiangta

银虫 (小有名气)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
Originally posted by handanfxp at 2011-05-13 12:37:32:
我是做磁控溅射的，采用分子泵对腔室进行抽气，今天早起过来开机进行抽气的时候，先打开机械泵和电磁阀，然后观察真空度，真空度在7Pa。然后我打开分子泵开始升转，在分子泵升到130转的时候，我开始打开高阀抽气， ...

你是数控装置吗？   会不会漏气
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3楼2011-05-22 12:07:38
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zhilihu

木虫 (职业作家)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
“在分子泵升到130转的时候，我开始打开高阀抽气……”和我的不一样，我是先打开你所谓的高阀接着开分子泵……你确定你的操作没错吧？
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4楼2011-08-02 10:51:44
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flashxu0119

至尊木虫 (著名写手)
★
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可能是分子泵叶片卡住了。
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5楼2012-04-18 15:02:42
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2008100266

木虫 (正式写手)
★
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送鲜花一朵
你好，问一下，分子泵的问题解决没？我也遇到了这种情况，想请教一下，请大侠帮忙，谢谢
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6楼2012-11-14 18:25:01
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gxbaimaomao

铜虫 (初入文坛)
★
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你好，你的分子泵的问题解决没？我们实验室下午也出了这种情况，想请教一下，请大侠帮忙，谢谢
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2013，势不可挡
7楼2014-09-30 16:36:07
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metaliium

银虫 (正式写手)
★
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你自己的仪器你自己应该清楚，什么“OL2过流保护”旁人怎么知道是什么意思，你去翻手册啊，上面肯定写着的。。。

笼统的来说，分子泵上不了速，真空问题可能性比较大。。。分子泵可能有自我保护，抽的比预计慢它会自动减速、关闭。。。但是你那个什么很响的怪声，不是正常现象。如果实在担心叶片坏了，拆开来看看就知道了
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8楼2014-10-01 06:57:41
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