| 查看: 3423 | 回复: 11 | ||
[求助]
磁控溅射台真空度问题 已有1人参与
|
||
|
我们的磁控溅射台一般都能抽到2×10-4 。可是现在 抽到8.4×10-4 真空度后却开始变低了，最后变为1.0×10-3 稳定不动了。我把分子泵关了，重新开一次，真空度还是抽到8.4×10-4 ，再抽不到10min以后，又变成10-3次方了。 有没有遇到类似情况的呢？是什么问题，怎么解决的？ |
回复此楼» 猜你喜欢
281求调剂（0805）
已经有8人回复
-
环境领域全国重点实验室招收博士1-2名
已经有3人回复
-
材料专硕306英一数二
已经有10人回复
-
301求调剂
已经有6人回复
-
一志愿天津大学化学工艺专业（081702）315分求调剂
已经有7人回复
-
302求调剂
已经有6人回复
-
26博士申请
已经有3人回复
-
268求调剂
已经有3人回复
-
311求调剂
已经有10人回复
-
被我言中：新模板不强调格式了，假专家开始管格式了
已经有4人回复
» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 磁控溅射&离子溅射
已经有11人回复
- 射频磁控溅射ZAO陶瓷靶时遇到的一些问题
已经有10人回复
- 新手求助，磁控溅射，在银上溅射SiO2二氧化硅
已经有15人回复
- 磁控溅射 镀铝
已经有54人回复
- 磁控溅射做薄膜失败了吗
已经有21人回复
- 求助关于磁控溅射的问题
已经有29人回复
- 磁控溅射镀ZnO，大家真空度一般抽到多少？
已经有18人回复
- 求助：磁控溅射镀金属膜，镀不上去
已经有4人回复
- 磁控溅射与反应磁控溅射
已经有18人回复
- 直流磁控溅射镀膜总是被氧化
已经有42人回复
- 做磁控溅射的朋友请进
已经有10人回复
- 磁控溅射分子泵升不上转问题
已经有7人回复
- 【请教】请教，关于Ar磁控溅射的溅射效率问题
已经有4人回复
- 【求助】磁控溅射 ZnO镀膜
已经有16人回复
- 【求助】请教磁控溅射金属膜问题
已经有23人回复
- 磁控溅射射频功率源的问题
已经有4人回复
- 【求助】关于磁控溅射SiO2的问题
已经有14人回复
- 【求助】为什么磁控溅射装备以前能起辉而现在不能起辉
已经有12人回复
almonleng1
铁虫 (初入文坛)
- 应助: 7 (幼儿园)
- 金币: 232.4
- 帖子: 17
- 在线: 12.1小时
- 虫号: 1952789
- 注册: 2012-08-23
- 专业: 凝聚态物性 II ：电子结构
【答案】应助回帖
★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
浅夏8838: 金币+20, ★★★很有帮助, 谢谢 2012-12-08 19:36:02
华丽的飘过: 金币+5, 3q 2012-12-10 08:10:59
感谢参与，应助指数 +1
浅夏8838: 金币+20, ★★★很有帮助, 谢谢 2012-12-08 19:36:02
华丽的飘过: 金币+5, 3q 2012-12-10 08:10:59
|
感觉是有漏气了，不过还是一步步来。 Turbo pump 应该可以到10^-6. 当然如果真空腔很大而pump又小，那就比较难抽。 首先检查分子泵，前级泵是不是停了,分子泵到了一定程度是不是频率就上不去了，是不是该换油或者风冷水冷停了。如果分子泵始终在最高频率，前级泵也是运转正常，这时就比较不妙了，因为老在10^-3一直运转对分子泵是有损伤的。赶快停了吧。 这时候基本可以判断是有漏气或者有一个会挥发的东西掉进腔里面去了还在不停outgassing。 把腔体里面用吸尘器仔细的吸干净，用大手电去仔细找有没有什么比如油状的东西沾在腔体里面什么地方了。用酒精把所有的密封圈都擦一擦吹干，看看密封圈是不是有划痕，所有只需要简单拧一下的都拆下来重新拧，看看是不是有螺丝滑丝什么的。 开泵到稳定以后在可能漏气的地方涂一点酒精看看气压是不是往回跑。 这些都不行，只能去找氦质谱检漏仪了 |
2楼2012-12-08 13:28:50
qdharry
金虫 (小有名气)
- 应助: 4 (幼儿园)
- 金币: 1371.8
- 帖子: 89
- 在线: 16.5小时
- 虫号: 192219
- 注册: 2006-02-21
- 性别: GG
- 专业: 凝聚态物性 II ：电子结构
10楼2012-12-11 17:54:21
zhilihu
木虫 (职业作家)
- 应助: 40 (小学生)
- 金币: 2492.7
- 散金: 1485
- 红花: 7
- 帖子: 3700
- 在线: 463.1小时
- 虫号: 1228410
- 注册: 2011-03-10
- 性别: GG
- 专业: 机械结构强度学
3楼2012-12-08 14:39:51
4楼2012-12-08 19:39:13
5楼2012-12-08 19:39:56
ntunano
木虫 (正式写手)
- 应助: 1 (幼儿园)
- 金币: 2596.9
- 散金: 130
- 红花: 1
- 帖子: 815
- 在线: 85.4小时
- 虫号: 988937
- 注册: 2010-04-04
- 专业: 光学
6楼2012-12-08 21:18:49
qdharry
金虫 (小有名气)
- 应助: 4 (幼儿园)
- 金币: 1371.8
- 帖子: 89
- 在线: 16.5小时
- 虫号: 192219
- 注册: 2006-02-21
- 性别: GG
- 专业: 凝聚态物性 II ：电子结构
7楼2012-12-09 07:43:46
8楼2012-12-11 09:03:22
qdharry
金虫 (小有名气)
- 应助: 4 (幼儿园)
- 金币: 1371.8
- 帖子: 89
- 在线: 16.5小时
- 虫号: 192219
- 注册: 2006-02-21
- 性别: GG
- 专业: 凝聚态物性 II ：电子结构
9楼2012-12-11 17:51:28
50