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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 磁控溅射台真空度问题
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浅夏8838

金虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射台真空度问题 已有1人参与

我们的磁控溅射台一般都能抽到2×10-4 。可是现在 抽到8.4×10-4 真空度后却开始变低了，最后变为1.0×10-3 稳定不动了。我把分子泵关了，重新开一次，真空度还是抽到8.4×10-4 ，再抽不到10min以后，又变成10-3次方了。

有没有遇到类似情况的呢？是什么问题，怎么解决的？
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1楼 2012-12-07 15:03:16
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回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

almonleng1

铁虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
浅夏8838: 金币+20, ★★★很有帮助, 谢谢 2012-12-08 19:36:02
华丽的飘过: 金币+5, 3q 2012-12-10 08:10:59
感觉是有漏气了，不过还是一步步来。
Turbo pump 应该可以到10^-6. 当然如果真空腔很大而pump又小，那就比较难抽。
首先检查分子泵，前级泵是不是停了,分子泵到了一定程度是不是频率就上不去了，是不是该换油或者风冷水冷停了。如果分子泵始终在最高频率，前级泵也是运转正常，这时就比较不妙了，因为老在10^-3一直运转对分子泵是有损伤的。赶快停了吧。
这时候基本可以判断是有漏气或者有一个会挥发的东西掉进腔里面去了还在不停outgassing。
把腔体里面用吸尘器仔细的吸干净，用大手电去仔细找有没有什么比如油状的东西沾在腔体里面什么地方了。用酒精把所有的密封圈都擦一擦吹干，看看密封圈是不是有划痕，所有只需要简单拧一下的都拆下来重新拧，看看是不是有螺丝滑丝什么的。
开泵到稳定以后在可能漏气的地方涂一点酒精看看气压是不是往回跑。
这些都不行，只能去找氦质谱检漏仪了
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2楼2012-12-08 13:28:50
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qdharry

金虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by almonleng1 at 2012-12-08 06:28:50
感觉是有漏气了，不过还是一步步来。
Turbo pump 应该可以到10^-6. 当然如果真空腔很大而pump又小，那就比较难抽。
首先检查分子泵，前级泵是不是停了,分子泵到了一定程度是不是频率就上不去了，是不是该换油或者 ...

如果他的真空室要這樣清理，那我懷疑他們長不出膜?恚绻恼婵帐倾~圈密封的，不用擦密封圈，買了的都是經過清洗的。如果是O圈，這個真空度不奇怪
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10楼2012-12-11 17:54:21
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普通回帖

zhilihu

木虫 (职业作家)
把分子泵关了，重新开一次，真空度还是抽到8.4×10-4  ？
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3楼2012-12-08 14:39:51
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浅夏8838

金虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by almonleng1 at 2012-12-08 13:28:50
感觉是有漏气了，不过还是一步步来。
Turbo pump 应该可以到10^-6. 当然如果真空腔很大而pump又小，那就比较难抽。
首先检查分子泵，前级泵是不是停了,分子泵到了一定程度是不是频率就上不去了，是不是该换油或者 ...

分子泵频率一直是最高频，前级泵换了一个新的，真空度也还是维持在10-3,。  真空室里面重新清洗了一次。也还是不行。其他的还不确定。唉，纠结中。。。。。。。
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4楼2012-12-08 19:39:13
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浅夏8838

金虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by zhilihu at 2012-12-08 14:39:51
把分子泵关了，重新开一次，真空度还是抽到8.4×10-4  ？

是啊。就是奇怪呢。
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5楼2012-12-08 19:39:56
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ntunano

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
华丽的飘过: 金币+3, 3q 2012-12-10 08:11:13
引用回帖:
4楼: Originally posted by 浅夏8838 at 2012-12-08 19:39:13
分子泵频率一直是最高频，前级泵换了一个新的，真空度也还是维持在10-3,。  真空室里面重新清洗了一次。也还是不行。其他的还不确定。唉，纠结中。。。。。。。...

如果这样的话很有可能是漏气了，要用专业设备检测，找到漏气源才可以。另外一种可能是分子泵有问题了，要请厂家技术人员来检查。
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6楼2012-12-08 21:18:49
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qdharry

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
华丽的飘过: 金币+3, 3q 2012-12-10 08:11:24
用针管打乙醇，检漏吧，你说的是Pa吧。  或者是分子泵改维修换油了，只用分子泵可以抽到E-8 mbar甚至更低
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7楼2012-12-09 07:43:46
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浅夏8838

金虫 (小有名气)
引用回帖:
7楼: Originally posted by qdharry at 2012-12-09 07:43:46
用针管打乙醇，检漏吧，你说的是Pa吧。  或者是分子泵改维修换油了，只用分子泵可以抽到E-8 mbar甚至更低

分子泵是今年4月的时候刚维护过的呀。
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8楼2012-12-11 09:03:22
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qdharry

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

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8?: Originally posted by ???8838 at 2012-12-11 02:03:22
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9楼2012-12-11 17:51:28
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