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磁控溅射台真空度问题 已有1人参与
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我们的磁控溅射台一般都能抽到2×10-4 。可是现在 抽到8.4×10-4 真空度后却开始变低了，最后变为1.0×10-3 稳定不动了。我把分子泵关了，重新开一次，真空度还是抽到8.4×10-4 ，再抽不到10min以后，又变成10-3次方了。 有没有遇到类似情况的呢？是什么问题，怎么解决的？ |
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浅夏8838: 金币+20, ★★★很有帮助, 谢谢 2012-12-08 19:36:02
华丽的飘过: 金币+5, 3q 2012-12-10 08:10:59
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感觉是有漏气了，不过还是一步步来。 Turbo pump 应该可以到10^-6. 当然如果真空腔很大而pump又小，那就比较难抽。 首先检查分子泵，前级泵是不是停了,分子泵到了一定程度是不是频率就上不去了，是不是该换油或者风冷水冷停了。如果分子泵始终在最高频率，前级泵也是运转正常，这时就比较不妙了，因为老在10^-3一直运转对分子泵是有损伤的。赶快停了吧。 这时候基本可以判断是有漏气或者有一个会挥发的东西掉进腔里面去了还在不停outgassing。 把腔体里面用吸尘器仔细的吸干净，用大手电去仔细找有没有什么比如油状的东西沾在腔体里面什么地方了。用酒精把所有的密封圈都擦一擦吹干，看看密封圈是不是有划痕，所有只需要简单拧一下的都拆下来重新拧，看看是不是有螺丝滑丝什么的。 开泵到稳定以后在可能漏气的地方涂一点酒精看看气压是不是往回跑。 这些都不行，只能去找氦质谱检漏仪了 |
2楼2012-12-08 13:28:50
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