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陈勇跃

金虫 (正式写手)

[交流] 【求助】关于磁控溅射SiO2的问题

我们在溅射SiO2的时候用的是射频溅射，60w，感觉沉积不出来。后来看网上说Ar离子浓度高的辉光是蓝色的，我们的是粉红色的，这对SiO2溅射有影响吗？如果有，如何消除呢？

[ Last edited by 陈勇跃 on 2010-9-29 at 14:30 ]
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1楼2010-09-29 14:29:02
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回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

leongoall

专家顾问 (知名作家)

P-M-I之初生牛犊
★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
陈勇跃: 金币+1, 谢谢应助 2012-05-02 13:33:43
纯氩气的辉光是蓝色，但是你不是溅射SiO2吗？O参与了等离子体可能改变发射光谱。射频磁控溅射可以起辉但不能沉积就需要看看自偏压的大小了，如果自偏压过低，那么就无法溅射。楼主先查一查Ar离子轰击Si的溅射阈值，然后可以计算一下需要的最低电压，与目前的自偏压比较一下就知道是否需要增加溅射功率了！
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趁年轻，多折腾！曾年轻，折腾过？！
8楼2012-04-29 02:03:06
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普通回帖

lulinsmann

木虫 (著名写手)

三无小小鸟
陈勇跃(金币+1):靶距没改过，溅射室内基片是在靶上方，应该能接受沉积 2010-10-01 11:29:10
引用回帖:
Originally posted by 陈勇跃 at 2010-09-29 14:29:02:
我们在溅射SiO2的时候用的是射频溅射，60w，感觉沉积不出来。后来看网上说Ar离子浓度高的辉光是蓝色的，我们的是粉红色的，这对SiO2溅射有影响吗？如果有，如何消除呢？

[ Last edited by 陈勇跃 on 2010-9-2 ...

不能提高功率、延长时间试试吗？（我们通常用200 W）
如果不能改变功率，那就改变靶距（靶与衬底之间的距离）试试？
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江湖背影
2楼2010-09-29 15:41:45
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211985:mad:

木虫 (著名写手)

格格
陈勇跃(金币+1):电压有500V左右，氩气是99.999%的 2010-10-01 11:27:53
似乎是功率不够啊！
电压是多少？
另外，您用的是高纯氩气吗？
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文心雕鳳
3楼2010-09-29 15:57:58
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shenyang_c

金虫 (小有名气)
陈勇跃(金币+1):谢谢，高功率也试过，也是不明显，太高怕打坏靶 2010-10-01 11:27:06
引用回帖:
Originally posted by 陈勇跃 at 2010-09-29 14:29:02:
我们在溅射SiO2的时候用的是射频溅射，60w，感觉沉积不出来。后来看网上说Ar离子浓度高的辉光是蓝色的，我们的是粉红色的，这对SiO2溅射有影响吗？如果有，如何消除呢？

[ Last edited by 陈勇跃 on 2010-9-2 ...

沉积不出来， 就换高功率试试吧。粉红色辉光没问题。
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4楼2010-09-29 16:14:21
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chenguang5895

木虫 (著名写手)
陈勇跃(金币+1):power density 我们是用来换算的，靶的直径是60cm，技术指标上没有超过20w/cm2，是不是SiO2对这个有要求？ 2010-10-01 11:26:01
你看一下power density。
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5楼2010-10-01 10:35:36
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floljf

金虫 (正式写手)
陈勇跃(金币+1):谢谢答疑，我们之前就是用胶带在Si上做一个SiO2的台阶，然后用6ja干涉仪判断厚度，主要是条纹没弯曲，认为没SiO2沉积上。 2010-10-02 10:31:08
辉光没有问题啊，我们之前也是这种颜色的。不过你如果要达到不同的颜色，你可以尝试改变氩气的浓度啊！
另外，你所说的感觉沉积不出来是什么意思？个人臆断还是检测结果表明没有沉积啊？
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6楼2010-10-01 22:54:58
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flashxu0119

至尊木虫 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
60W的功率成绩速率太低，时间短的，是可能测试不到厚度
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7楼2012-04-28 23:48:05
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shining1989

新虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
请问一下，你们用的靶材是什么样子的呢？我也想用磁控溅射制备一层氧化硅薄膜呢。。求问
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9楼2012-09-26 08:58:51
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loveyx1129

新虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
我用磁控溅射镀SIO2时，用140W 20min 可是完全镀不上，有没有解决办法啊请问~
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10楼2014-04-16 20:24:11
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