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陈勇跃金虫 (正式写手)
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[交流]
【求助】关于磁控溅射SiO2的问题
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我们在溅射SiO2的时候用的是射频溅射，60w，感觉沉积不出来。后来看网上说Ar离子浓度高的辉光是蓝色的，我们的是粉红色的，这对SiO2溅射有影响吗？如果有，如何消除呢？ [ Last edited by 陈勇跃 on 2010-9-29 at 14:30 ] |
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