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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 凝聚态物理 » 【求助】关于磁控溅射SiO2的问题
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陈勇跃

金虫 (正式写手)

[交流] 【求助】关于磁控溅射SiO2的问题

我们在溅射SiO2的时候用的是射频溅射，60w，感觉沉积不出来。后来看网上说Ar离子浓度高的辉光是蓝色的，我们的是粉红色的，这对SiO2溅射有影响吗？如果有，如何消除呢？

[ Last edited by 陈勇跃 on 2010-9-29 at 14:30 ]
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1楼 2010-09-29 14:29:02
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leongoall

专家顾问 (知名作家)

P-M-I之初生牛犊
★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
陈勇跃: 金币+1, 谢谢应助 2012-05-02 13:33:43
纯氩气的辉光是蓝色，但是你不是溅射SiO2吗？O参与了等离子体可能改变发射光谱。射频磁控溅射可以起辉但不能沉积就需要看看自偏压的大小了，如果自偏压过低，那么就无法溅射。楼主先查一查Ar离子轰击Si的溅射阈值，然后可以计算一下需要的最低电压，与目前的自偏压比较一下就知道是否需要增加溅射功率了！
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趁年轻，多折腾！曾年轻，折腾过？！
8楼2012-04-29 02:03:06
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lulinsmann

木虫 (著名写手)

三无小小鸟
陈勇跃(金币+1):靶距没改过，溅射室内基片是在靶上方，应该能接受沉积 2010-10-01 11:29:10
引用回帖:
Originally posted by 陈勇跃 at 2010-09-29 14:29:02:
我们在溅射SiO2的时候用的是射频溅射，60w，感觉沉积不出来。后来看网上说Ar离子浓度高的辉光是蓝色的，我们的是粉红色的，这对SiO2溅射有影响吗？如果有，如何消除呢？

[ Last edited by 陈勇跃 on 2010-9-2 ...

不能提高功率、延长时间试试吗？（我们通常用200 W）
如果不能改变功率，那就改变靶距（靶与衬底之间的距离）试试？
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江湖背影
2楼2010-09-29 15:41:45
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211985:mad:

木虫 (著名写手)

格格
陈勇跃(金币+1):电压有500V左右，氩气是99.999%的 2010-10-01 11:27:53
似乎是功率不够啊！
电压是多少？
另外，您用的是高纯氩气吗？
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文心雕鳳
3楼2010-09-29 15:57:58
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shenyang_c

金虫 (小有名气)
陈勇跃(金币+1):谢谢，高功率也试过，也是不明显，太高怕打坏靶 2010-10-01 11:27:06
引用回帖:
Originally posted by 陈勇跃 at 2010-09-29 14:29:02:
我们在溅射SiO2的时候用的是射频溅射，60w，感觉沉积不出来。后来看网上说Ar离子浓度高的辉光是蓝色的，我们的是粉红色的，这对SiO2溅射有影响吗？如果有，如何消除呢？

[ Last edited by 陈勇跃 on 2010-9-2 ...

沉积不出来， 就换高功率试试吧。粉红色辉光没问题。
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4楼2010-09-29 16:14:21
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