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陈勇跃

金虫 (正式写手)

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[交流] 【求助】关于磁控溅射SiO2的问题

我们在溅射SiO2的时候用的是射频溅射，60w，感觉沉积不出来。后来看网上说Ar离子浓度高的辉光是蓝色的，我们的是粉红色的，这对SiO2溅射有影响吗？如果有，如何消除呢？

[ Last edited by 陈勇跃 on 2010-9-29 at 14:30 ]

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1楼2010-09-29 14:29:02

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木虫 (著名写手)

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陈勇跃(金币+1):电压有500V左右，氩气是99.999%的 2010-10-01 11:27:53

似乎是功率不够啊！
电压是多少？
另外，您用的是高纯氩气吗？

文心雕鳳

3楼2010-09-29 15:57:58

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