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lzg919530615金虫 (正式写手)
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溅射系统真空度抽不上去 已有7人参与
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系统放在超净室里面，泵是机械泵和分子泵，平时只溅射氧化物材料，之前抽真空还行，用3个小时大概可以抽到5E-4，其间有一个星期没用设备了（离开的时候设备压强大概是10Pa左右），回来后真空抽的很慢，5个多小时才抽到6E-4，有可能是什么原因呢？谢谢啦！ PS（把机械泵、分子泵停了，设备放置12小时压强从0.5Pa变为2Pa，密封性应该还不错吧） |
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| 除了楼上所说的，我还遇到过一种情况。控制阀门的开关旋钮长期使用后出现滑失，实际位置与指示位置有偏差，这种情况要么将旋钮卸开调整下，要么就在抽真空的过程中，一旦发现真空度停滞不下，则在可允许范围内来回扭动旋钮，然后我发现真空度一下子就开始下去了。 |
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4楼2013-12-11 20:43:45
wiseroy
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6楼2013-12-12 21:03:12
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2楼2013-12-11 19:37:59
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| 开个腔用酒精擦拭下内壁和密封圈，有必要的话砂纸打磨下靶罩和挡板；真空抽到负3开烘烤几个小时，这样应该会达到理想真空度吧。 |
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3楼2013-12-11 20:33:48
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